中文名 | 超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術(shù)及應(yīng)用 | 項(xiàng)目編號(hào) | F-309-2-08 |
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獲得獎(jiǎng)項(xiàng) | 國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng) [1]? |
2020年度國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)項(xiàng)目。
主要完成人:
姚力軍(寧波江豐電子材料股份有限公司)
劉慶(重慶大學(xué))
王學(xué)澤(寧波江豐電子材料股份有限公司)
周友平(寧波江豐電子材料股份有限公司)
袁海軍(寧波江豐電子材料股份有限公司)
邊逸軍(寧波江豐電子材料股份有限公司)
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異...
完全可以做平板電容的電極和介質(zhì),濺射鍍膜是很可控的薄膜,多以可以做高檔電容
濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。 分類 根據(jù)形狀可分為長靶,...
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金屬鈦的制備新工藝 摘要:本文主要介紹了關(guān)于鈦的應(yīng)用現(xiàn)狀,并對(duì)高純鈦的主要生產(chǎn)方法——克勞 爾法、Hunter法、鈣熱還原法、熔鹽電解法進(jìn)行了綜述,指出了只有幾種方法結(jié) 合才能獲得純度要求非常高的純鈦。研究新的制備方法,克服傳統(tǒng)制備工藝的復(fù) 雜性,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,是高純鈦制備研究的發(fā)展方向。 關(guān)鍵詞:Kroll ; Hunter ; 鈣熱還原法; 熔鹽電解法 Abstract: In this paper, titanium production processes of thermo-reduction including Kroll process, Hunter process ,Calcium thermal reduction process,Molten-salt Electrolysis . Study on the new production method
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純度達(dá)到99.90%的高品質(zhì)原鋁被稱為“三九鋁”,因其品質(zhì)比普通原鋁“更勝一籌”,主要用于工業(yè)化生產(chǎn)更高純度鋁。2017年,“高品質(zhì)Al99.90產(chǎn)品開發(fā)”成為酒鋼重大科技專項(xiàng),東興鋁業(yè)研究所以技術(shù)攻關(guān)帶動(dòng)原鋁品質(zhì)“節(jié)節(jié)攀升”,部分電解槽成功生產(chǎn)出高品質(zhì)Al99.90原鋁產(chǎn)品。“三九鋁”的誕生,標(biāo)志著酒鋼電解鋁生產(chǎn)技術(shù)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。
鉬是一種金屬元素,主要用于鋼鐵工業(yè),其中的大部分是以工業(yè)氧化鉬壓塊后直接用于煉鋼或鑄鐵,少部分熔煉成鉬鐵,鉬箔片后再用于煉鋼。
它可增強(qiáng)合金的強(qiáng)度、硬度、可焊性及韌性,還可增強(qiáng)其耐高溫強(qiáng)度及耐腐蝕性能。
四豐靶材專家指出,鉬濺射靶材可在各類基材上形成薄膜這種射膜廣泛用作電子部件和電子產(chǎn)品如目前廣泛應(yīng)用的TFT-LCD(Thin Filmtransitor- Liquidcrystaldis- plays薄膜半導(dǎo)體管-液品顯示器)、等離子顯示屏、無機(jī)光發(fā)射二極管顯示器、場(chǎng)發(fā)射顯示器、薄膜太陽能電池、傳感器、半導(dǎo)體裝置以及具有可調(diào)諧功函數(shù)CMOS[互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)的場(chǎng)效應(yīng)晶體管柵極等。
鉬濺射靶材的應(yīng)用
在電子行業(yè)中鉬濺射靶材主要用于平面顯示器、薄膜太陽能電池的電極和配線材料以及半導(dǎo)體的阻擋層材料。這些是基于鉬的高熔點(diǎn)、高電導(dǎo)率、較低的比阻抗、較好的耐腐蝕性以及良好的環(huán)保性能。
鉬具有比阻抗和膜應(yīng)力僅為鉻的1/2的優(yōu)勢(shì)而且不存在環(huán)境污染問題因此成為了平面顯示器濺射靶材的首選材料之一。此外鋁使用在LCD的元器件中可使液晶顯示器在亮度、對(duì)比度、色彩以及壽命方面的性能大大提升。
平面顯示器行業(yè)中濺射靶材的主要市場(chǎng)應(yīng)用之一是TLCD領(lǐng)域。市場(chǎng)研究表明未來幾年是LCD發(fā)展的高峰期年增長率達(dá)30%左右。隨著CD的發(fā)展LCD濺射靶材的消費(fèi)量也快速增長年增長率約為20%。2006年全球鉬濺射靶材的需求量約700t,2007年則為900左右。
除平面顯示器行業(yè)外隨著新能源行業(yè)的發(fā)展鉬濺射靶在薄膜太陽能光伏電池上的應(yīng)用也日益增加。鉬濺射靶材主要通過濺鍍形成CIGS(銅錮鎵西薄膜電池電極層。圖2是CGS太陽能電池的結(jié)構(gòu)示意圖,其中Mo處于太陽能電池的最底層作為太陽能電池的背接觸其對(duì)CGS薄膜皛體的成核、生長、形貌有著非常重要的作用。
【總結(jié)】關(guān)于“鉬濺射靶材的應(yīng)用”就為您講解到這里,對(duì)國內(nèi)的銀生產(chǎn)加工企業(yè)來說當(dāng)務(wù)之急是抓住市場(chǎng)機(jī)遇提升工裝水平和科研技術(shù)水平制備出高質(zhì)量的鉬濺射靶材產(chǎn)品。若您對(duì)上述內(nèi)容還有疑問,或是相關(guān)了解產(chǎn)品相關(guān)及價(jià)格,歡迎點(diǎn)擊【在線詢價(jià)】服務(wù),客服會(huì)在第一時(shí)間回復(fù)您。
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鉭所具有的特性,使它的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣闊。在制取各種無機(jī)酸的設(shè)備中,鉭可用來替代不銹鋼,壽命可比不銹鋼提高幾十倍。此外,在化工、電子、電氣等工業(yè)中,鉭可以取代過去需要由貴重金屬鉑承擔(dān)的任務(wù),使所需費(fèi)用大大降低。 鉭被制造成了電容裝備到軍用設(shè)備中。美國的軍事工業(yè)異常發(fā)達(dá),是世界最大軍火出口商。世界上鉭金屬的產(chǎn)量一半被用在鉭電容的生產(chǎn)上,美國國防部后勤署則是鉭金屬最大的擁有者,曾一度買斷了世界上三分之一的鉭粉。
主要吸收線及其主要參數(shù):
λ/nm | f | W | F | S* | CL | G |
271.5 | 0.055 | 0.2 | N-A | 30 | 1.0 | |
260.9(D) | 0.2 | N-A | 23 | 2.1 | ||
265.7 | 0.2 | N-A | 2.5 | |||
293.4 | 0.2 | N-A | 2.5 | |||
255.9 | 0.2 | N-A | 2.5 | |||
264.8 | 0.2 | N-A | x | |||
265.3 | 0.2 | N-A | 2.7 | |||
269.8 | 0.2 | N-A | 2.7 | |||
275.8 | 0.2 | N-A | 3.1 | |||
277.6 | 0.2 | N-A | 58 |
λ:波長
f:振子強(qiáng)度
W:單色器光譜通帶
N-A(氧化亞氮-乙炔焰)
S*:元素的特征濃度(1%吸收靈敏度)
CL:元素的檢測(cè)極限
R·S:同一元素主要吸收線間的相對(duì)靈敏度
F:火焰類型
基本介紹
項(xiàng)目編號(hào)Plan Name in Chinese 20110426-T-610
中文項(xiàng)目名稱Plan Name in Chinese 電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材
英文項(xiàng)目名稱Plan Name in English High Purity Aluminum and Aluminum Alloy Sputtering Targets for Electronic Thin Film Application
制\修訂Plan Name in English 制定
被修訂標(biāo)準(zhǔn)號(hào)Replaced Standard
采用國際標(biāo)準(zhǔn)Adopted International Standard 無
采用國際標(biāo)準(zhǔn)號(hào)Adopted International Standard No
采用程度Application Degree
采標(biāo)名稱Adopted International Standard Name
標(biāo)準(zhǔn)類別Plan Name in English 產(chǎn)品
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS)
計(jì)劃完成年限Suppose to Be Finished Year 2012年
完成時(shí)間Achievement Time
所處階段Plan Phase 起草階段
國家標(biāo)準(zhǔn)號(hào)Standard No.
備注Remark 國標(biāo)委綜合[2011]57號(hào)
起草單位Drafting Committee 有研億金新材料股份有限公司
主管部門Governor 中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)
歸口單位Technical Committees 243 全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)