電感耦合等離子刻蝕機技術(shù)指標

TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵信號， Q1是震蕩管，Q4是推動管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

目的建立電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)檢測尿鉛同位素比值的測定方法。方法取10 ml尿樣用濃硝酸及30%過氧化氫消解趕酸后用1%硝酸定容至5 ml測定;利用鉛同位素標準物質(zhì)(GBW04426)測定鉛同位素比值校正系數(shù),將鉛同位素標準參考物NIST SRM981同樣品一起經(jīng)ICP-MS檢測。結(jié)果優(yōu)化檢測方法后進行尿鉛同位素檢測,NIST SRM981同位素測定精密度RSD(204Pb/206Pb)<2%、RSD(207Pb/206Pb)<1%、RSD(208Pb/206Pb)<1%,NIST SRM981檢測結(jié)果與證書值接近。結(jié)論該方法方便簡捷、數(shù)據(jù)可靠,可滿足尿鉛同位素的測定。