中文名 | 電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕機 | 產(chǎn)????地 | 中國 |
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學(xué)科領(lǐng)域 | 材料科學(xué) | 啟用日期 | 2009年6月15日 |
所屬類別 | 工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設(shè)備 > 半導(dǎo)體集成電路工藝實驗設(shè)備 |
進(jìn)行GaNg,GaAs,InP等材料的蝕刻。
蝕刻反應(yīng)室抽氣速率:真空度5.0×10^-5Torr(15分鐘內(nèi));蝕刻反應(yīng)室極限真空:8.0×10^-6Torr;裝載室抽氣速率:真空度5.0×10^-2Torr(5分鐘內(nèi));蝕刻速率280nm/min;非均勻性≤±5%。
等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同,它能形成含有活性基團的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),從而具有良好的均勻性及對基質(zhì)的附著性[1,2].有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報道不多[3,4],本室已...
等離子體又叫做“電漿”,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中,氣體放電法比加熱的辦法更加簡便高效,如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...
低溫等離子體:適合的應(yīng)用材料的表面清洗活化焊接,油漆,打印,密封,起泡,涂覆及硅化前表面活化處理。氣體裂解和高效滅菌加速化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)品特點:突破低氣壓限制,可在大氣壓下引發(fā)等離子體;可對材料連續(xù)在線處理...
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評分: 4.6
食品樣品使用微波消解處理后,選用質(zhì)量數(shù)相近的鈧(Sc)作為內(nèi)標(biāo),使用電感耦合等離子體-質(zhì)譜儀測定總鉻含量。在0—150μg/L范圍內(nèi),儀器響應(yīng)值與總鉻含量呈線性關(guān)系,線性方程為I=0.0429C,相關(guān)系數(shù)r=0.9998,檢出限為0.022mg/kg,相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=6)為4.58%,加標(biāo)回收率在97.6%—104%之間。
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評分: 4.4
目的建立電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)檢測尿鉛同位素比值的測定方法。方法取10 ml尿樣用濃硝酸及30%過氧化氫消解趕酸后用1%硝酸定容至5 ml測定;利用鉛同位素標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(GBW04426)測定鉛同位素比值校正系數(shù),將鉛同位素標(biāo)準(zhǔn)參考物NIST SRM981同樣品一起經(jīng)ICP-MS檢測。結(jié)果優(yōu)化檢測方法后進(jìn)行尿鉛同位素檢測,NIST SRM981同位素測定精密度RSD(204Pb/206Pb)<2%、RSD(207Pb/206Pb)<1%、RSD(208Pb/206Pb)<1%,NIST SRM981檢測結(jié)果與證書值接近。結(jié)論該方法方便簡捷、數(shù)據(jù)可靠,可滿足尿鉛同位素的測定。
ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer)電感耦合等離子光譜發(fā)生儀,電感耦合等離子體(ICP)是用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點,用它做激發(fā)光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學(xué)干擾少、準(zhǔn)確度和精密度高等分析性能。
ICP還可以作為原子化器,如以空心陰極燈為光源,ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器,以ICP為中心,在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).ICP作為原子化器最大的優(yōu)點在于原子化器具有很高的溫度,多種元素都可得到很好地原子化,散射問題也得到克服.由計算機控制,燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測,光電轉(zhuǎn)換后的電信號在放大后由計算機處理,并報出各元素的分析結(jié)果.不過,值得提出的是,以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難溶元素的測定靈敏度不高.2100433B
電感耦合等離子體質(zhì)譜法是擁有極高的分析靈敏度和動態(tài)范圍。
電感耦合等離子體質(zhì)譜法(英語:Inductively coupled plasma mass spectrometry,簡稱ICP-MS),可以分析同位素組成,從Li到U(Ar除外,一般電感耦合等離子體都用Ar做載氣)。
以電感耦合等離子體光源代替經(jīng)典的激發(fā)光源(電弧、火花等),使試樣離子化的過程。