申請(qǐng)日 |
2017.08.25 |
專利權(quán)人 |
應(yīng)用材料公司 |
地址 |
美國(guó)加利福尼亞州 |
發(fā)明人 |
M·T·尼科爾斯;?I·尤瑟夫;?J·A·奧馬利三世;?S·E·巴巴揚(yáng) |
Int. Cl. |
C23C14/56(2006.01)I;?C23C14/54(2006.01)I;?C23C14/50(2006.01)I;?C23C16/458(2006.01)I;?C23C16/44(2006.01)I;?C23C16/52(2006.01)I;?H01J37/32(2006.01)I |
專利代理機(jī)構(gòu) |
上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100 |
代理人 |
侯穎媖;?錢慰民 |
優(yōu)先權(quán) |
62/380,084 2016.08.26 US |
PCT進(jìn)入國(guó)家階段日 |
2019.01.30 |
PCT申請(qǐng)數(shù)據(jù) |
PCT/US2017/048642 2017.08.25 |
PCT公布數(shù)據(jù) |
WO2018/039578 EN 2018.03.01 |
對(duì)比文件 |
US 2009020227 A1,2009.01.22;? CN 103035469 A,2013.04.10 |
本文公開的實(shí)施例總的來說涉及用于等離子體處理設(shè)備的泵送系統(tǒng)。所述泵送系統(tǒng)包括:第一泵路徑、第二泵路徑、第一閥和第二閥。第一泵路徑將處理腔室的基板支撐組件的開口耦接至處理腔室的排氣口。第二泵路徑將基板支撐組件的開口耦接至處理腔室的抽氣區(qū)域。第一閥位于第一泵路徑中。第一閥可在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間配置。第二閥位于第二泵路徑中。第二閥可在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間配置。2100433B
很簡(jiǎn)單的,我在廠里天天看師傅們安裝,把椅子放倒,拿著底盤的升降桿,用垂子敲底盤腳和氣桿就下來了,再在腳上敲下氣桿就行了
作女進(jìn)行合理的破解就可以了,因?yàn)檫@個(gè)地庫(kù)升價(jià)班的話,有時(shí)候這游戲里面是比較難破解的,需要一定的
升降桿的設(shè)計(jì)是倒錐形的,也就是安裝的時(shí)候是直接插上去的,不需要螺絲,焊接等手段。所以拆的時(shí)候,直接將氣桿升到最高(方便下手)、拿錘子沿著升降桿周圍敲底盤,就會(huì)自動(dòng)掉下來了(切勿一直敲一個(gè)點(diǎn),質(zhì)量不好的...
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電動(dòng)升降桿的設(shè)計(jì)與加工方案 編輯:鄭州萬佳防雷有限公司 1 產(chǎn)品現(xiàn)狀 經(jīng)過市場(chǎng)調(diào)研,發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的產(chǎn)品有以下幾大問題。 1)多為手動(dòng)控制升降,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)大都采用齒輪齒條、同步帶和鏈等。 這些結(jié)構(gòu)較復(fù)雜, 人工手動(dòng)升降,定位精度和穩(wěn)定性較差。 2)有效行程多在 400 mm 以下,無法滿足大行程工作的需要。 3)一般只有兩個(gè)固定的硬限位,不能靈活的控制檢測(cè)裝置與被測(cè)物品的安全距離,一 旦損壞到被測(cè)物品,后果將不堪設(shè)想。 2 問題解決方案 經(jīng)過市場(chǎng)的前期調(diào)查和客戶的實(shí)際需要, 我們從以下幾方面對(duì)該部件進(jìn)行升級(jí)改造, 解 決存在的問題。 1)將原有人力驅(qū)動(dòng)升級(jí)為電力驅(qū)動(dòng)。選用 42 加強(qiáng)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)作為原動(dòng)力,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 重量輕,結(jié)合采用滾珠絲杠副傳動(dòng),可以精確的移動(dòng)與定位。 2)根據(jù)客戶的需要,將升降桿有效行程由 400 mm,增加到 700 mm,增加了設(shè)備的 適用范圍。 3)設(shè)計(jì)加裝一個(gè)可移動(dòng)的光電
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建筑物基本信息 參數(shù)名 必填 描述 項(xiàng)目實(shí)際情況 建筑代碼 數(shù)據(jù)中心代碼 建筑名稱 必填 最多24個(gè)漢字 建筑字母別名 必填 建筑首字母大寫 建筑業(yè)主 必填 有多位業(yè)主時(shí)存主要業(yè)主名稱,外加 “等××位” 建筑監(jiān)測(cè)狀態(tài) 狀態(tài) 1- 啟用監(jiān)測(cè) 0- 停用監(jiān)測(cè) 所屬行政區(qū)劃 必填 6位行政區(qū)劃代碼 建筑地址 必填 最多40個(gè)漢字 建筑坐標(biāo) -經(jīng)度 建筑坐標(biāo) -緯度 建設(shè)年代 必填 4位數(shù)字年份 地上建筑層數(shù) 必填 整數(shù) 地下建筑層數(shù) 整數(shù) 建筑功能 必填 A- 辦公建筑 B- 商場(chǎng)建筑 C- 賓 館飯店建筑 D- 文化教育建筑 E- 醫(yī)療衛(wèi)生建筑 F- 體育建筑 G- 綜 合建筑 H- 其它建筑 建筑總面積 必填 空調(diào)面積 必填 采暖面積 必填 建筑空調(diào)系統(tǒng)形式 必填 A- 集中式全空氣系統(tǒng) B- 風(fēng)機(jī)盤管 +新風(fēng)系統(tǒng) C- 分體式空調(diào)或 VRV的 局部式機(jī)組系統(tǒng) Z
渦旋壓縮機(jī)工作原理
渦旋壓縮機(jī)是一種容積式壓縮的壓縮機(jī),壓縮部件由動(dòng)渦旋盤和靜渦旋組成。其工作原理是利用動(dòng)、靜渦旋盤的相對(duì)公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)形成封閉容積的連續(xù)變化,實(shí)現(xiàn)壓縮氣體的目的。
壓縮機(jī)上部的兩個(gè)渦旋盤進(jìn)行氣體壓縮,壓縮機(jī)回氣通過吸氣口進(jìn)入壓縮機(jī)。因?yàn)樗械臍怏w都流過電機(jī),這樣保證電機(jī)在所有應(yīng)用下都能完全冷卻,油分離并滴回油池。在離開電機(jī)后,氣體進(jìn)入渦旋盤壓縮。最后,壓縮排氣從排氣口離開壓縮機(jī)。
由于渦旋壓縮的高效、低噪音、體積小等眾多優(yōu)勢(shì)性,主流中央空調(diào)生產(chǎn)廠家在風(fēng)冷熱泵、變頻多聯(lián)機(jī)、戶式冷水機(jī)、風(fēng)管機(jī)、空氣源熱泵等機(jī)組都廣泛的應(yīng)用,可在很大范圍內(nèi)取代傳統(tǒng)的中、小型往復(fù)式壓縮機(jī)。
高壓縮腔與低壓縮腔壓縮機(jī)
渦旋式壓縮可以分為高壓縮腔與低壓縮腔兩種形式,下面將對(duì)兩種壓縮機(jī)進(jìn)行對(duì)比,希望對(duì)大家有所幫助。
壓縮機(jī)結(jié)構(gòu)原理
1、低壓腔壓縮機(jī)從系統(tǒng)中吸取低溫低壓氣態(tài)冷媒后,直接進(jìn)入到渦旋盤以下封閉的腔體內(nèi),然后進(jìn)入渦旋盤壓縮。
高溫高壓冷媒從渦旋盤上方排氣管直接排出壓縮機(jī)。表現(xiàn)為整個(gè)外殼都是低溫的,殼腔內(nèi)(除排氣口及排氣腔)都是低壓的。
2、高壓腔壓縮機(jī)從系統(tǒng)中吸取低溫低壓氣態(tài)冷媒后直接進(jìn)入渦旋盤壓縮,高溫高壓冷媒進(jìn)入到渦旋盤以下封閉的腔體內(nèi),然后再?gòu)臍さ哪骋怀隹谂懦?。表現(xiàn)為整個(gè)外殼都是高溫的,殼腔內(nèi)(除吸氣口及吸氣腔)都是高壓的。
低壓腔壓縮機(jī)的優(yōu)勢(shì)
1、電機(jī)壽命長(zhǎng)
高壓腔壓縮機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)始終處于高溫80~100℃的環(huán)境中,高溫環(huán)境加劇漆包線老化及冷凍油碳化,電機(jī)易疲勞,壽命短,故障率高。
低壓腔壓縮機(jī)為低壓外殼,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)處于低溫10~30℃的環(huán)境下,低溫環(huán)境減緩漆包線老化,冷凍油不易碳化,電機(jī)不易疲勞,能高效運(yùn)轉(zhuǎn),壽命長(zhǎng),故障率極低。
2、容量大,安全高
高壓腔壓縮機(jī)的外殼承受系統(tǒng)高壓,而低壓腔壓縮機(jī)的外殼承受系統(tǒng)低壓。隨著壓縮機(jī)功率的增加,體積也會(huì)變大,壓縮機(jī)外殼所受的壓力也隨之變大。因?yàn)閴嚎s機(jī)腔體總是處于高壓環(huán)境,因此安全性低壓縮腔更好一些。
高壓縮腔壓機(jī)鑄鐵外殼所能承受的壓力極限限制了壓縮機(jī)的體積,低壓腔壓縮機(jī)可以做得比較大,而高壓腔壓縮機(jī)只能做得小點(diǎn),所以能做到20HP,而其它高壓腔品牌的壓縮機(jī)只能做到10HP。
3、供油更可靠
高壓腔壓縮機(jī)依靠壓縮機(jī)內(nèi)高低壓差向軸承及渦旋盤供冷凍油。但在壓縮機(jī)起動(dòng)之初,壓力差不足以將潤(rùn)滑油壓到上部軸承,不能充分供油。存在潤(rùn)滑滯后的問題,影響設(shè)備壽命和可靠性。
并且高壓腔壓縮機(jī)運(yùn)行頻率不能過低,否則壓差不夠無法正常供油。低壓腔壓縮機(jī)由于利用油泵進(jìn)行強(qiáng)制供油,因此可在起動(dòng)后及時(shí)對(duì)潤(rùn)滑部分快速供油,不受壓力差影響,最低頻率可以到20Hz,在低負(fù)荷時(shí)比較節(jié)能。
高壓腔壓縮機(jī)的優(yōu)勢(shì)
1、耗電量稍小
相對(duì)于高壓腔壓縮機(jī),低壓腔壓縮機(jī)吸入冷媒后先對(duì)電機(jī)冷卻,同時(shí)冷媒的溫度提高,在同樣的壓縮條件下,由于溫度的上升,帶來負(fù)載增加,需要消耗的能源自然更多,因此耗電量相對(duì)也比較大,能效比也就相對(duì)較差。
2、壓差供油,不需要油泵
高壓腔壓縮機(jī)采用壓差供油,低壓腔壓縮機(jī)多了一個(gè)油泵,提高了壓縮機(jī)的成本,增加了一些耗電量。但是與上文所講,實(shí)際是有利有弊。
總結(jié):低壓腔壓縮機(jī)的開發(fā)理念是穩(wěn)定、可靠、安全;這一結(jié)構(gòu)雖然犧牲了一點(diǎn)工作效率,但卻極大的提升了壓縮機(jī)的耐久性、穩(wěn)定性,是專為商用空間和高端住宅用空調(diào)而設(shè)計(jì)開發(fā)的。
電磁諧振腔類型
常用的電磁諧振腔有同軸腔、重入式同軸腔、矩形波導(dǎo)腔、圓柱形波導(dǎo)腔、微帶腔、介質(zhì)腔和開放腔等類型。
同軸腔 由一段同軸線構(gòu)成,常用作波長(zhǎng)計(jì)和振蕩回路,腔內(nèi)的最低模式是TEM模,常用的有圖2中的三種形式。
電磁諧振腔
重入式同軸腔 又名凹形腔(圖3)。其外形與電容加載式同軸腔相似,所不同的是:后者的高度L、半徑ρ1、ρ2 都與工作波長(zhǎng)λ0屬同一數(shù)量級(jí);而前者的ρ1 和ρ2 均遠(yuǎn)小于λ0。從電磁場(chǎng)分布的觀點(diǎn)看,電場(chǎng)主要集中在圖中的B區(qū),可等效為一個(gè)電容;而磁場(chǎng)主要集中在A區(qū),可等效為一個(gè)電感。因此,這種諧振腔可等效為并聯(lián)諧振電路。
矩形波導(dǎo)腔 在矩形波導(dǎo)兩端用導(dǎo)電壁短路而構(gòu)成,其諧振頻率為
式中c為光速,m、n、l為整數(shù)(對(duì)于TE模,其中之一可為零,對(duì)于TM模,三者均不能為零)。
圓柱形波導(dǎo)腔 在圓波導(dǎo)兩端用導(dǎo)電壁短路而構(gòu)成。在圓柱形波導(dǎo)腔中,與圓波導(dǎo)主模TE11相應(yīng)的最低諧振模式是TE111。由于圓波導(dǎo)中TE01模的損耗小,相應(yīng)的諧振腔模式為TE011,它沒有縱向電流,管壁損耗小,其Q值可比TE111模高2~3倍,是圓柱形諧振波長(zhǎng)計(jì)的工作腔中最有用的模式,但它不是最低模, 而且與TM111模簡(jiǎn)并,須特別注意耦合結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。林為干在1950年發(fā)現(xiàn)圓柱形波導(dǎo)腔中至少存在五個(gè)簡(jiǎn)并模,此外,還發(fā)現(xiàn)了球形腔中的簡(jiǎn)并模。
介質(zhì)腔 由低耗高介電常數(shù)的介質(zhì)構(gòu)成。利用電磁波在介質(zhì)分界面上的全反射現(xiàn)象,使能量限制在介質(zhì)內(nèi)而不向外輻射。這種腔的Q值可高達(dá)10000。介質(zhì)腔的外形可以做成角柱形、圓柱形和球形等。
開放式諧振腔 由兩塊線度遠(yuǎn)大于工作波長(zhǎng)的金屬板對(duì)置而成,金屬板的形狀可以是平面鏡、球面鏡或拋物面鏡,通過端板上的小孔與波導(dǎo)耦合。這種腔的Q值可高達(dá)數(shù)萬。
閘閥的閘板隨閥桿一起作直線運(yùn)動(dòng)的,叫升降桿閘閥(亦叫明桿閘閥)。通常在升降桿上有梯形螺紋,通過閥門頂端的螺母以及閥體上的導(dǎo)槽,將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變?yōu)橹本€運(yùn)動(dòng),也就是將操作轉(zhuǎn)矩變?yōu)椴僮魍屏Α?/p>