光刻工藝工程師簡介

從集成電路制造中各部門的分工來說，光刻是為工藝集成（process intergration）服務的。最直接支持工藝集成的是光刻工藝工程師（lithography process engineer），又被稱為“l(fā)ayer owner”。一個完整的集成電路制造流程有幾十個光刻層，這些光刻層按技術的類似程度分配給光刻工藝工程師，使得他們分別負責一個或者幾個光刻層。

光刻工藝工程師對所負責的光刻層做工藝參數(shù)的設置、優(yōu)化；對工藝穩(wěn)定性做日常監(jiān)測，并及時解決出現(xiàn)的技術問題。2100433B

一、合格的工藝工程師必須非常熟悉產(chǎn)品的設計、制作工藝、包裝、運輸及產(chǎn)品的配套使用功能；在本行業(yè)屬通才，了解所有工序工藝；

二、編制工藝流程，下生產(chǎn)指令單之前對產(chǎn)品制程工藝的核定；

三、規(guī)范與公司產(chǎn)品配套使用的采購產(chǎn)品工藝、使用功能要求，并簽樣板給供應商、品質(zhì)部、采購部；

四、對新產(chǎn)品進行可生產(chǎn)性的評估，打樣評估；

五、做好預先品管，提醒生產(chǎn)過程及檢測時的品質(zhì)注意事項。

前文中指的合格工藝工程師，必須熟悉那么多么？

熟悉這么多的是為采購、生產(chǎn)等提供全套工藝方案的工藝工程師-------那就是主工程師。是系統(tǒng)工藝設計師或工藝構架師，相當工藝總監(jiān)的水平。而按各大的工序又可以分為產(chǎn)品工藝設計師（屬于在產(chǎn)品開發(fā)階段的人才），制程工藝師（屬于生產(chǎn)制造階段），包裝和運輸常劃到一個段（包裝就是為了保障運輸周轉(zhuǎn)安全的）屬于包裝工藝師，支持采購與供應商之間業(yè)務的工藝人才有兩類，外協(xié)類和外購類，外協(xié)類的就是相當于公司主營業(yè)務外的供方核心業(yè)務的工藝師，外購類的多數(shù)不用工藝師，而是與souring聯(lián)手的對新材料，新部件，可替代品在自己產(chǎn)品上驗證的那類工藝師（對產(chǎn)品的原理和性能掌握更多，也要熟悉制程，成本相關的理念，屬于專業(yè)比較NB的那一類）， 材料在庫房如何能保證安全倉貯以及公司內(nèi)部流轉(zhuǎn)安全的，也有稱其為物流工藝師的（與包裝運輸那一角色，基本屬于內(nèi)外之分，但側(cè)重略有差別）。

在平面晶體管和集成電路的制造過程中，要進行多次光刻。為此，必須制備一組具有特定幾何圖形的光刻掩模。制版的任務就是根據(jù)晶體管和集成電路參數(shù)所要求的幾何圖形，按照選定的方法，制備出生產(chǎn)上所要求的尺寸和精度的掩模圖案，并以一定的間距和布局，將圖案重復排列于掩模基片上，進而復制批量生產(chǎn)用版，供光刻工藝曝光之用。

光刻圖形缺陷的來源主要有三種：一是材料帶來的，例如，光刻膠過期形成的懸浮顆粒；二是設備產(chǎn)生的，例如，旋涂時勻膠顯影機內(nèi)的顆粒掉在晶圓表面；三是不完善的工藝產(chǎn)生的，例如曝光條件偏離了最佳點，導致圖形質(zhì)量下降，出現(xiàn)圖形丟失（missing pattern）。

為了確保工藝中盡量少地出現(xiàn)缺陷，在光刻中一般分兩個部分來監(jiān)測。一是旋涂后光刻膠薄膜中顆粒的監(jiān)測，即所謂旋涂缺陷（coating defects）。二是曝光后圖形的缺陷檢測。