雖然32nm,22/20nm節(jié)點(diǎn)上已經(jīng)基于193nm液浸式光刻系統(tǒng)的雙重成像(double patterning)技術(shù)。但是走向更小節(jié)點(diǎn)時(shí),EUV仍是業(yè)者關(guān)注的焦點(diǎn)。光源是光刻機(jī)上最重要的組成部分之一,光源的能量、穩(wěn)定性、壽命等在某種程度上影響著光刻技術(shù)的發(fā)展,光源的質(zhì)量更是舉足輕重的,所以很多大廠家都把EUV光刻的期望寄托在LPP光源上。 2100433B
二氧化碳激光脈沖經(jīng)過放大、整形并對(duì)焦后,進(jìn)入激光激發(fā)等離子型真空室。激光脈沖非常精準(zhǔn)地?fù)羯湓谟梢簯B(tài)錫滴產(chǎn)生器所產(chǎn)生的液態(tài)錫滴上。具有高度激發(fā)物質(zhì)的等離子前導(dǎo)波在二氧化碳激光脈沖與液態(tài)錫滴作用的區(qū)域輻射出13.5nm光子超紫外線。專為13.5nm波長所設(shè)計(jì)的多層鍍膜反射鏡集光器收集背向輻射光源,并將光源導(dǎo)向位于光源輸出端的中間焦點(diǎn)位置,以做為掃描式光刻機(jī)曝光光源。
光源按照其發(fā)光形式可以分為熱輻射光源、氣體放電光源、電致發(fā)光光源這三種方式。節(jié)能光源就是滿足綠色環(huán)保、亮度高、耗能低、壽命長等特點(diǎn)的光源。led光源已經(jīng)是家用燈飾產(chǎn)品中較為常見的一種光源類別,發(fā)明于2...
不是熱光源.是強(qiáng)光源. 熱光源:利用熱能激發(fā)的光源。如白熾燈、鹵鎢燈等。 白熾燈熱輻射發(fā)光,有80-90%的能量轉(zhuǎn)換能熱能,10%左右的能量轉(zhuǎn)換為光能。白熾燈就是典型由電...
冷光源和熱光源是相對(duì)而論的,傳統(tǒng)的白熾燈是用燈絲加熱發(fā)光,產(chǎn)生很大的熱量,光效不是很高。而LED燈的光源是半導(dǎo)體材料發(fā)光,本身光效高,產(chǎn)生熱量低,發(fā)光方式和傳統(tǒng)的不一樣;雖然LED光源也會(huì)產(chǎn)生熱量,但...
格式:pdf
大?。?span id="w01uvd9" class="single-tag-height">1.5MB
頁數(shù): 12頁
評(píng)分: 4.5
LED光源與激光光源區(qū)別..
多波段光源光源分類
過去的鹵素多波段光源,現(xiàn)在主要是氙燈光源,根據(jù)設(shè)計(jì)方式分為手持式和臺(tái)式多波段光源:
手持式主要是手持式十三波段光源,例如JTX-T911手持式十三波段光源。手持式又稱為便攜式多波段光源。
手持式十三波段光源采用55瓦氙燈為發(fā)光源,氙燈輸出光譜的范圍在250nm-800nm區(qū)間,均衡地分布在紫外、可見和近紅外區(qū)。經(jīng)濾光片濾光后,在350nm-700nm范圍內(nèi)的各個(gè)波段都能濾出能量較強(qiáng)的單色光,而且各波段的能量比較均衡。隨著發(fā)展,十三波段光源已由55W瓦氙燈到75W氙燈為發(fā)光源!
臺(tái)式多波段光源功率大、輸出光強(qiáng),均勻、燈泡壽命長,為滿足用戶不同的需求,在光路設(shè)計(jì)上有獨(dú)特的設(shè)計(jì),輸出光斑焦距可調(diào),輸出光可自行調(diào)節(jié)強(qiáng)弱,配置高容量的鋰電池,連續(xù)供電時(shí)間達(dá)90分鐘 ;人性化外觀設(shè)計(jì)。在許多刑事案件現(xiàn)場工作中取得了極大的成績;同類產(chǎn)品中受到用戶和專家的一致好評(píng)。
目前市場還有德國十波段光源,多波段光源七個(gè)波段以上,主要擁有紫外光,藍(lán)光,白光,CSS等已經(jīng)足夠用了,不需要更多的波段。
十三波段:
輸出波段(13個(gè)):
白光-365nm-415nm-450nm-css-490nm-510nm-530nm-555nm-570nm-590nm-610nm-弱白光
關(guān)于多波段光源使用是一個(gè)日積月累的過程,只有在使用中才能得到技能的提高。
SLED光源的輻射特性介乎半導(dǎo)體激光器與半導(dǎo)體發(fā)光二極管之間,隨著陀螺、光相干層析成像(OCT)、分布式光纖傳感、白光干涉儀的發(fā)展,SLED衍生出多個(gè)系列產(chǎn)品,劃分的依據(jù)包括光源覆蓋的波段范圍、光波偏振特性等。特別是隨著干涉型光纖傳感器的發(fā)展,光源的偏振特性受到更為廣泛的關(guān)注,按照光源的偏振特性,SLED光源向兩個(gè)極端發(fā)展,亦即高偏振與低偏振SLED光源。
SLED光源是專為傳感、光纖陀螺、實(shí)驗(yàn)室等特殊應(yīng)用領(lǐng)域設(shè)計(jì)的超寬帶光源。其相對(duì)于一般的寬帶光源具有輸出功率高、覆蓋光譜范圍寬等特點(diǎn)。該產(chǎn)品具有臺(tái)式(供實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用)和模塊式(供工程應(yīng)用)。光源核心器件采用3dB帶寬達(dá)40nm以上的特殊高輸出功率SLED,經(jīng)過獨(dú)特的電路整合,可以在一個(gè)設(shè)備內(nèi)放置多只SLED來達(dá)到輸出譜線的平坦化。獨(dú)特的ATC和APC電路通過控制SLED的輸出保證了輸出功率和譜線的穩(wěn)定。通過調(diào)節(jié)APC,可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)輸出功率。簡便和智能的操作與遠(yuǎn)程控制。