高溫壓力傳感器

1.傳感器:能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。

①敏感元件是指傳感器中能直接(或響應(yīng))被測量的部分。

②轉(zhuǎn)換元件指傳感器中能較敏感元件感受(或響應(yīng))的北側(cè)量轉(zhuǎn)換成是與傳輸和(或)測量的電信號部分。

③當(dāng)輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號時，則稱為變送器。

2. 測量范圍:在允許誤差限內(nèi)被測量值的范圍。

3. 量程:測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。

4. 精確度:被測量的測量結(jié)果與真值間的一致程度。

5. 重復(fù)性:在所有下述條件下，對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結(jié)果之間的符合程度:

6. 分辨力:傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。

7. 閾值:能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測變化量的被測量的最小變化量。

8. 零位:使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。

9. 激勵:為使傳感器正常工作而施加的外部能量(電壓或電流)。

10. 最大激勵:在市內(nèi)條件下，能夠施加到傳感器上的激勵電壓或電流的最大值。

11. 輸入阻抗:在輸出端開路時，傳感器輸入端測得的阻抗。

12. 輸出:有傳感器產(chǎn)生的與外加被測量成函數(shù)關(guān)系的電量。

13. 輸出阻抗:在輸入端短路時，傳感器輸出端測得的阻抗。

14. 零點輸出:在市內(nèi)條件下，所加被測量為零時傳感器的輸出。

15. 滯后:在規(guī)定的范圍內(nèi)，當(dāng)被測量值增加和減少時，輸出中出現(xiàn)的最大差值。

16. 遲后:輸出信號變化相對于輸入信號變化的時間延遲。

17. 漂移:在一定的時間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測量無關(guān)的不需要的變化量。

18. 零點漂移:在規(guī)定的時間間隔及室內(nèi)條件下零點輸出時的變化。

19. 靈敏度:傳感器輸出量的增量與相應(yīng)的輸入量增量之比。

20. 靈敏度漂移:由于靈敏度的變化而引起的校準(zhǔn)曲線斜率的變化。

21. 熱靈敏度漂移:由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。

22. 熱零點漂移:由于周圍溫度變化而引起的零點漂移。

23. 線性度:校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。

24.非線性度:校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。

25.長期穩(wěn)定性:傳感器在規(guī)定的時間內(nèi)仍能保持不超過允許誤差的能力。

26. 固有憑率:在無阻力時，傳感器的自由(不加外力)振蕩憑率。

27. 響應(yīng):輸出時被測量變化的特性。

28. 補償溫度范圍:使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補償?shù)臏囟确秶?/p>

29. 蠕變:當(dāng)被測量機器多有環(huán)境條件保持恒定時，在規(guī)定時間內(nèi)輸出量的變化。

30. 絕緣電阻:如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。

高溫壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力變送器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。

高溫壓力傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域。目前，研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導(dǎo)體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小，且只對壓力敏感，對應(yīng)力不敏感，因此，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

量 程: -0.1~0~1~150(MPa) 綜合精度:0.25%FS、0.5%FS

輸出信號: 4~20mA(二線制)、0~5V、1~5V、0~10V(三線制)

供電電壓: 24DCV(9~36DCV)

介質(zhì)溫度: -20~800℃

環(huán)境溫度: 常溫(-20~85℃)

零點溫漂移: ≤±0.05%FS℃

量程溫度漂移: ≤±0.05%FS℃

補償溫度: 0~70℃

安全過載: 150%FS

極限過載: 200%FS

響應(yīng)時間: 5 mS(上升到90%FS)

負(fù)載電阻: 電流輸出型:最大800Ω;電壓輸出型:大于5KΩ

絕緣電阻: 大于2000MΩ (100VDC)

密封等級: IP65

長期穩(wěn)定性能: 0.1%FS/年

振動影響: 在機械振動頻率20Hz~1000Hz內(nèi)，輸出變化小于0.1%FS

1、向高精度發(fā)展

2、向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展

3、向微型化發(fā)展

4、向微功耗及無源化發(fā)展

5、向智能化數(shù)字化發(fā)展

1、測量的是何種壓力。

2、所測量的介質(zhì)。在選擇高溫熔體壓力傳感器時需要考慮的關(guān)鍵因素是所測量的介質(zhì)。

3、需要達(dá)到什么樣的精度。

4、此高溫壓力傳感器的耐溫性、互換性、時間穩(wěn)定性和堅固程度。

5、此高溫壓力傳感器使用何種輸出，需要的激勵電壓，以及怎樣將傳感器連接到自己的電氣系統(tǒng)中 。

高溫壓力傳感器的工作原理風(fēng)壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。

高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。