中文名 | 化學氣相沉積反應爐中的排氣歧管 | 授權公告號 | CN109072429B |
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授權公告日 | 2021.06.15 | 申請?zhí)?/th> | 2017800276136 |
本發(fā)明提供一種用于從噴涂系統(tǒng)(尤其是化學氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD)反應爐)中抽取工藝氣體的裝置,其包括具有流道的排氣歧管(1),其中所述流道包括吸氣口(2)、在流動方向(S)上的鄰接抽氣段(3)、以及在流動方向(S)上布置在抽氣室(3)的下游并通入吸氣管線(4、4'、4")的真空泵口(20、20',20")的集氣段(5),其中吸氣口(2)的沿長邊方向(L)延伸的長度顯著大于沿窄邊方向(W)延伸的寬度,并且其中抽氣室(3)和集氣室(5)由沿長邊方向(L)延伸的長側壁(6、8)和沿窄邊方向(W)延伸的窄側壁(7)限定,該限定方式使得因吸氣管線(4、4'、4")中產(chǎn)生的負壓而在流道中形成氣流。在抽氣段(3)和集氣段(5)之間的至少一個中間空間(9)中設有阻流結構,該阻流結構在位于兩個邊緣區(qū)域(R)之間的中央?yún)^(qū)域(Z)中對氣流施加的流動阻力比在邊緣區(qū)域(R)中施加的流動阻力大。
申請日 |
2017.04.05 |
專利權人 |
艾克斯特朗歐洲公司 |
地址 |
德國黑措根拉特 |
發(fā)明人 |
C.加勒夫斯基;?S.E.薩瓦斯;?M.穆基諾維克 |
Int. Cl. |
C23C16/44(2006.01)I;?C23C16/455(2006.01)I;?H01J37/32(2006.01)I |
專利代理機構 |
北京市柳沈律師事務所11105 |
代理人 |
曲瑩 |
優(yōu)先權 |
15/091,412 2016.04.05 US |
PCT進入國家階段日 |
2018.11.02 |
PCT申請數(shù)據(jù) |
PCT/EP2017/058044 2017.04.05 |
PCT公布數(shù)據(jù) |
WO2017/174618 EN 2017.10.12 |
對比文件 |
CN 1628368 A,2005.06.15;? CN 102016118 A,2011.04.13;? CN 102514214 A,2012.06.27;? JP 特開2003-68711 A,2003.03.07 |
排氣歧管,是與發(fā)動機氣缸體相連的,將各缸的排氣集中起來導人排氣總管的,帶有分歧的管路。對它的要求主要是,盡量減少排氣阻力,并避免各缸之間相互干擾。 排氣過分集中時,各缸之間會產(chǎn)生相互干擾,也就是...
進、排氣歧管布置在發(fā)動機同一側,不可行。沒有汽車工程師會采用這種方案,實際上也沒汽車是這么布置的。主要原因有兩個:一是進、排氣口是位于發(fā)動機兩側的,卻要把進、排氣歧管布置在同一側,這在布置上有困難,也...
進排氣支管是錯誤的寫法,支字為別字,就像很多人把輪轂的轂字寫成鼓字一樣。
格式:pdf
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頁數(shù): 3頁
評分: 4.5
使用低介電常數(shù)基板和高電導率、高抗電遷移的金屬Cu進行布線,可以提高高密度電子封裝的傳輸速度和可靠性。采用乙酰丙酮銅作為前驅體,在常壓下利用化學氣相沉積技術對玻璃陶瓷基板進行Cu薄膜金屬化。利用熱重分析、X射線衍射和掃描電子顯微鏡等技術對前驅體、Cu薄膜進行分析觀察。結果表明:影響Cu導體的電阻的主要因素是沉積溫度。在溫度為290~310℃,N2氣流量為200~350mL/min和H2氣流量為450~600mL/min的條件下,獲得了致密的Cu薄膜,Cu導體方塊電阻為25mΩ。
排氣系統(tǒng)排氣歧管
圖中顯示四缸引擎其中兩缸的排氣歧管。由左邊的剖面可以看到排氣歧管直接連接在排氣孔后,再結合為一。排氣歧管在設計上會盡量讓各缸的阻力相同,以讓排氣順暢。
新鮮空氣與汽油混合進入引擎燃燒后,產(chǎn)生高溫高壓的氣體推動活塞,當氣體能量釋放后,對引擎就不再有價值,這些氣體就成為廢氣被排放出引擎外。廢氣自汽缸排出后,隨即進入排氣歧管,各缸的排氣歧管匯集后,經(jīng)過排氣管將廢氣排出。而就如進氣歧管一樣,氣體在排氣歧管內也是以脈沖的方式離開引擎,所以各缸的排氣歧管長度及彎度也要設計成盡量相同,使各缸的排氣都能一樣的順暢。
排氣歧管,是與發(fā)動機氣缸體相連的,將各缸的排氣集中起來導入排氣總管的,帶有分歧的管路。對它的要求主要是,盡量減少排氣阻力,并避免各缸之間相互干擾。 排氣過分集中時,各缸之間會產(chǎn)生相互干擾,也就是某缸排氣時,正好碰到別的缸竄來的沒有排凈的廢氣。這樣,就會增加排氣的阻力,進而降低發(fā)動機的輸出功率。解決的辦法是,使各缸的排氣盡量分開,每缸一個分支,或者兩缸一個分支,并使每個分支盡量加長并成型-以減少不同管內的氣體相互影響。 為了減少排氣阻力,有的賽車采用不銹鋼管制造排氣歧管。
排氣歧管應考慮到發(fā)動機動力性能、發(fā)動機燃油經(jīng)濟性能、排放標準、發(fā)動機的成本、匹配的整車前艙布置及溫度場等。
目前普遍使用的排氣歧管從材料和加工工藝上分有鑄鐵歧管和不銹鋼歧管兩個類型。
用以將幾個氣缸排出的廢氣匯集排出的容積較小的排氣歧管。其管內廢氣壓力是脈動的。