廊坊超振電纜橋架有限公司

廊坊華超保溫建材有限公司

組織機(jī)構(gòu)代碼：794162748

機(jī)構(gòu)類型：企業(yè)法人

經(jīng)濟(jì)類型：有限責(zé)任公司

工商注冊(cè)號(hào)：更多信息

注冊(cè)日期：2006年09月25日

注冊(cè)資金：100萬元人民幣

法人代表：楊學(xué)振

注冊(cè)地址：河北省廊坊市大城縣流源莊村北

經(jīng)營范圍：加工銷售:巖棉板、管,硅酸鋁棉板、管,鋁箔玻璃棉板、氈,鋁箔橡塑板、管,聚氨酯保溫管、瓦;銷售:酚醛……

微型固態(tài)振動(dòng)陀螺結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗沖擊能力強(qiáng)，適合MEMS技術(shù)制作，是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ男滦屯勇輧x。相比帶支懸梁的微機(jī)械振動(dòng)陀螺，本項(xiàng)目創(chuàng)造性地將超磁致伸縮材料整體作為振子，基于MEMS技術(shù)制成無支懸梁的固體微陀螺，主要特點(diǎn)如下：（1）超磁致伸縮體伸縮振幅大，可極大提高微陀螺檢測(cè)的靈敏度；（2）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無支撐梁，抗沖擊抗震動(dòng)能力強(qiáng);（3）易于微加工批量制造，對(duì)真空封裝無特殊要求；（4）驅(qū)動(dòng)電壓低，起振時(shí)間極短，因而陀螺啟動(dòng)時(shí)間短。（5）將巨磁阻（GMR）敏感元件集成于陀螺本體上，提高了檢測(cè)分辨率，且體積小；（6）可同時(shí)測(cè)量二軸角速率。本項(xiàng)目主要對(duì)超磁致伸縮固體微陀螺的工作機(jī)理、機(jī)電磁系統(tǒng)仿真、結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)、基于非硅MEMS技術(shù)的制造工藝以及測(cè)控方法進(jìn)行深入研究，為實(shí)現(xiàn)較高測(cè)量靈敏度的、多軸微固體陀螺裝置奠定理論與實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。本項(xiàng)目屬機(jī)械、材料、測(cè)控、電子等交叉學(xué)科課題，學(xué)術(shù)價(jià)值高，應(yīng)用前景廣泛。

MEMS陀螺是陀螺儀發(fā)展的一個(gè)重要方向。不同于發(fā)展成熟的支懸梁-活動(dòng)質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的振動(dòng)微陀螺，本項(xiàng)目提出了一種基于超磁致伸縮材料塊體的固體振子雙輸入軸微陀螺，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無支撐梁，抗沖擊振動(dòng)能力強(qiáng)；借助于超磁致伸縮材料(GMM)的大應(yīng)變振動(dòng)特性，其測(cè)量靈敏度高。 本項(xiàng)目主要對(duì)超磁致伸縮固體微陀螺的振動(dòng)模態(tài)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、機(jī)電磁系統(tǒng)仿真、制造工藝以及測(cè)控方法進(jìn)行研究，為實(shí)現(xiàn)微陀螺裝置奠定理論與實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。本項(xiàng)目的實(shí)施取得了預(yù)期成果，主要總結(jié)為： 1、微陀螺的設(shè)計(jì)和仿真。根據(jù)GMM數(shù)理模型，采用更具擴(kuò)展性的弱解方程方法，利用COMSOL軟件計(jì)算了GMM振子的振動(dòng)工作模態(tài)，結(jié)果與壓電-壓磁比擬法的相近。微陀螺的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)由GMM方體振子、平面線圈定子、偏置永磁體和GMR傳感器組成，進(jìn)行了部件選用和設(shè)計(jì)。采用磁矢勢(shì)弱解方程法對(duì)通電平面線圈和永磁體的空間磁場(chǎng)分布進(jìn)行了系統(tǒng)級(jí)仿真。 2、微陀螺表頭的制造。采用濺射、光刻、電鍍等MEMS工藝，獲得了多種線寬和匝數(shù)的驅(qū)動(dòng)平面線圈定子。對(duì)集成厚金屬結(jié)構(gòu)的發(fā)煙硫酸氧化刻蝕去除SU-8膠模的技術(shù)深入試驗(yàn)研究，獲得了刻除SU-8膠模的速率曲線，從而提供了一次浸入發(fā)煙硫酸干凈刻除SU-8膠模的時(shí)間，避免了反復(fù)取出觀測(cè)或過刻對(duì)金屬結(jié)構(gòu)的腐蝕；成功集成了厚達(dá)500μm的電鑄鎳微結(jié)構(gòu)。根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，成功組裝了長(zhǎng)寬高尺寸之和不大于20mm的磁致伸縮固體振子微陀螺表頭。 3、微陀螺的驅(qū)動(dòng)及檢測(cè)電路。為微陀螺表頭設(shè)計(jì)了激勵(lì)信號(hào)發(fā)生電路（采用DDS芯片）、恒電流輸出線圈驅(qū)動(dòng)電路、GMR磁場(chǎng)信號(hào)檢測(cè)電路和信號(hào)解調(diào)處理電路，進(jìn)行了電路仿真分析和PCB板制作。 4、微陀螺的測(cè)試實(shí)驗(yàn)。利用LCR儀測(cè)量了定子平面線圈的阻抗，為表頭中上下定子驅(qū)動(dòng)線圈的配對(duì)選取提供參考。采用鎖相放大器分別利用定子平面線圈和繞制線圈進(jìn)行掃頻激勵(lì)，測(cè)量了GMM體振子的阻抗頻率特性曲線，二者測(cè)得微陀螺GMM振子的工作諧振頻率基本相同，證明了本微陀螺采用雙側(cè)平面線圈的激振方式使GMM振子工作在驅(qū)動(dòng)諧振頻率上是可行的。對(duì)微陀螺表頭及其測(cè)控電路進(jìn)行了聯(lián)調(diào)，發(fā)現(xiàn)微陀螺能靈敏地檢測(cè)輸入角速度的變化，證明了設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)及其實(shí)現(xiàn)方案在原理上是可行的。 上述研究成果已發(fā)表6篇學(xué)術(shù)論文，其中SCI/EI已檢索英文論文5篇；申請(qǐng)發(fā)明專利2項(xiàng)；培養(yǎng)畢業(yè)碩士生2名。 2100433B