MEMS精密激光加工設(shè)備

MEMS精密激光加工設(shè)備是一種用于物理學(xué)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,于2017年9月21日啟用。

MEMS精密激光加工設(shè)備基本信息

中文名 MEMS精密激光加工設(shè)備 產(chǎn)????地 中國
學(xué)科領(lǐng)域 物理學(xué)、電子與通信技術(shù) 啟用日期 2017年9月21日
所屬類別 工藝試驗(yàn)儀器 > 電子工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備 > 半導(dǎo)體集成電路工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備

激光打孔,可加工盲孔和通孔,可加工硅、玻璃、石英玻璃等材料。

MEMS精密激光加工設(shè)備造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
(除稅)
工程建議價
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
激光噴泉 品種:激光噴泉;規(guī)格型號:12KW; 查看價格 查看價格

錦泉

13% 河北錦泉園林景觀工程股份有限公司
激光噴泉 24V,9W 查看價格 查看價格

13% 深圳凡尊照明電器有限公司
激光投影機(jī) 700W 查看價格 查看價格

梵朗

13% 深圳市梵朗照明科技有限公司江門辦事處
激光燈FPN 標(biāo)準(zhǔn)Art-net協(xié)議,多通道擴(kuò)展、8端口DMX512輸出,可外接MA控臺,19寸機(jī)架式安裝; 查看價格 查看價格

佛山銀河照明

13% 佛山市銀河蘭晶科技股份有限公司
激光燈RPU 1×WAN口;4×LAN口;嵌入式Linux操作系統(tǒng);輸出標(biāo)準(zhǔn)Art-net協(xié)議;可帶載240域;專業(yè)舞臺燈光控制系統(tǒng) 查看價格 查看價格

大峽谷

13% 大峽谷照明系統(tǒng)(蘇州)股份有限公司
激光燈RPU 1×WAN口,4×LAN口,嵌入式Linux操作系統(tǒng),輸出標(biāo)準(zhǔn)Art-net協(xié)議,可帶載240域,專業(yè)舞臺燈光控制系統(tǒng) 查看價格 查看價格

江蘇明朗

13% 江蘇明朗照明科技有限公司
激光燈FPN 標(biāo)準(zhǔn)Art-net協(xié)議,多通道擴(kuò)展、8端口DMX512輸出,可外接MA控臺,19寸機(jī)架式安裝; 查看價格 查看價格

江蘇明朗

13% 江蘇明朗照明科技有限公司
激光燈FPN 標(biāo)準(zhǔn)Art-net協(xié)議;多通道擴(kuò)展、8端口DMX512輸出;可外接MA控臺;19寸機(jī)架式安裝; 查看價格 查看價格

大峽谷

13% 大峽谷照明系統(tǒng)(蘇州)股份有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價
含稅
信息價
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
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臺班 汕頭市2012年4季度信息價
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臺班 汕頭市2012年2季度信息價
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臺班 汕頭市2011年2季度信息價
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臺班 廣州市2011年1季度信息價
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臺班 汕頭市2011年1季度信息價
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臺班 汕頭市2011年1季度信息價
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臺班 汕頭市2010年3季度信息價
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臺班 汕頭市2010年3季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
(元)
供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
設(shè)備類監(jiān)控精密空調(diào) 精密空調(diào)及配套監(jiān)控軟件.|4套 1 查看價格 廣東中大信通科技有限公司 廣東   2021-12-09
激光顯示設(shè)備 芯片:DLP顯示技術(shù),芯片尺寸 0.47 英寸;分辨率:≥3840×2160;光源:ALPD激光光源,光源壽命≥20000 小時;亮度:≥6500ANSI 流明;對比度:≥100,000:1;亮度|2套 3 查看價格 廣州天銳信息工程有限公司 全國   2022-06-02
激光顯示設(shè)備 1、芯片:DLP 顯示技術(shù),芯片尺寸 0.47 英寸2、分辨率:≥3840×21603、光源:ALPD 激光光源,光源壽命≥20000 小時4、亮度:≥6500ANSI 流明5、對比度|2臺 3 查看價格 深圳市聯(lián)進(jìn)達(dá)電子科技有限公司 全國   2021-12-23
激光設(shè)備 12頭|1套 1 查看價格 0.00 廣東  廣州市 2009-11-14
激光軟件 激光控制軟件|1套 1 查看價格 北京方天偉信環(huán)境科技有限公司 江西  南昌市 2020-08-09
激光軟件 激光控制軟件|1套 2 查看價格 北京金瀑布環(huán)境藝術(shù)有限責(zé)任公司 江西  南昌市 2020-08-21
限高激光可調(diào)焦激光器鐳射定位燈激光發(fā)射器 限高激光 可調(diào)焦激光器鐳射定位燈激光發(fā)射器|6臺 1 查看價格 南寧市錦華激光器件有限公司 廣西  南寧市 2016-01-28
精密空調(diào) 精密空調(diào)|8臺 2 查看價格 北京雷士頓科技有限公司 全國   2022-09-23

孔徑精度優(yōu)于±10um;定位精度優(yōu)于5um。

MEMS精密激光加工設(shè)備常見問題

  • 精密鑄造都需要哪些設(shè)備?

    射蠟機(jī),空壓機(jī),淋沙機(jī),浮沙桶,漿桶,脫蠟釜,蠟靜止桶,保溫桶,焙燒爐,中頻爐,震殼機(jī),切割機(jī),打磨機(jī),拋丸機(jī),光譜儀,氬弧焊機(jī)等。這是硅溶膠工藝的

  • 什么是精密鈑金機(jī)箱加工,鈑金精密加工,鈑金精密折彎

    你得先知道啥是鈑金。鈑金是針對金屬薄板(通常在6mm以下)一種綜合冷加工工藝,包括剪、沖/切/復(fù)合、折、焊接、鉚接、拼接、成型(如汽車車身)等。其顯著的特征就是同一零件厚度一致。鈑金精...

  • 什么叫精密加工

    通常將加工精度在 0.1-1μ m, 加工表面粗糙度Ra在 0.02-0.1μ m 之間的加工方法稱為精密加工。精密加工屬于機(jī)械加工里的精加工,按被加工的工件處于的溫度狀態(tài),分為冷加工和熱加工。一般在...

MEMS精密激光加工設(shè)備文獻(xiàn)

淺談中職激光加工設(shè)備精品課程建設(shè) 淺談中職激光加工設(shè)備精品課程建設(shè)

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頁數(shù): 1頁

評分: 4.5

中職教育教學(xué)改革涉及的內(nèi)容十分廣泛,其中精品課程建設(shè)是重要的組成部分。本文以創(chuàng)建激光加工設(shè)備省級精品課程為例,探討了在中職院校開展精品課程建設(shè)的內(nèi)涵和措施,并對精品課程建設(shè)提出了建議。

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全新一代MicroVector型FPC紫外激光加工設(shè)備通過鑒定 全新一代MicroVector型FPC紫外激光加工設(shè)備通過鑒定

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頁數(shù): 未知

評分: 4.6

近日,湖北省科技廳在武漢主持召開了由華中科技大學(xué)聯(lián)合深圳光華激光技術(shù)有限公司和武漢華源拓銀激光科技有限公司共同完成的“DPSS紫外激光撓性電路板(FPC)切割系統(tǒng)及工藝”項(xiàng)目技術(shù)鑒定會。

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我們今天所知道的MEMS開關(guān)的概念是在20世紀(jì)80年代末期90年代初期被提出的。第一份公開發(fā)表的論文只是提出了MEMS器件的概念,同時指出了器件設(shè)計(jì)面臨的一些挑戰(zhàn)以及它的潛在應(yīng)用(Koester et al. 1996)。尤其是MEMS開關(guān)對射頻工程師具有巨大的吸引力,它們的潛力包括減少芯片的總面積、功耗和器件成本。一個RF MEMS開關(guān)的照片如圖1中所示。MEMS器件最初被唯一的制作在硅襯底上是因?yàn)榧呻娐芬彩潜恢圃煸诠枭?。硅材料的屬性和硅上的制造工藝已?jīng)為我們所熟知。

在MEMS開關(guān)發(fā)明之前,高頻轉(zhuǎn)換都是由發(fā)明于20世紀(jì)70年代的機(jī)械式或者干簧繼電器來完成的。最近十年,MEMS技術(shù)取得了飛速發(fā)展,出現(xiàn)了一大批新型傳感器、微機(jī)械、微結(jié)構(gòu)和控制元件,有些器件和結(jié)構(gòu)已實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化,而有些即將被推入市場。MEMS技術(shù)提高了轉(zhuǎn)換效率,最早的MEMS開關(guān)是Petersen于1979年研制的0.35 μm厚、金屬包覆的靜電懸臂梁開關(guān)。但由于制作工藝的限制,此后的十年里MEMS開關(guān)沒有取得太大的進(jìn)展。直到20世紀(jì)90年代,MEMS開關(guān)才獲得了巨大發(fā)展。1991年,Larson制作了旋轉(zhuǎn)傳輸線式開關(guān)。1995年,Yao采用表面微加工工藝制作懸臂梁開關(guān)。1996年,Goldsmith研制出低閾值電壓的膜開關(guān)。為了降低開關(guān)的閾值電壓,提高開關(guān)的開態(tài)穩(wěn)定性和能量處理能力,1998年P(guān)achero設(shè)計(jì)了螺旋型懸臂式和大激勵極板的MEMS開關(guān)結(jié)構(gòu)。開關(guān)是微波信號變換的關(guān)鍵元件。和傳統(tǒng)的P-I-N二極管開關(guān)及FET 開關(guān)相比,由于消除了P-N結(jié)和金屬半導(dǎo)體結(jié),MEMS開關(guān)具有以下優(yōu)點(diǎn):

(1) 減小了歐姆接觸中的接觸電阻和擴(kuò)散電阻,顯著地降低了器件的歐姆損耗,高電導(dǎo)率金屬膜能以極低的損耗傳輸微波信號;

(2) 消除了由于半導(dǎo)體結(jié)引起的"para" label-module="para">

(3) RF MEMS開關(guān)靜電驅(qū)動僅需極低的瞬態(tài)能量,其典型值大約是10 nJ。當(dāng)然,MEMS開關(guān)微秒級的開關(guān)速度使他們無法應(yīng)用于高速領(lǐng)域。

由于沒有非線性,減少了開關(guān)諧波分量,提高了開關(guān)處理能力。因此,MEMS開關(guān)線性度佳、隔離度高;驅(qū)動功耗低;工作頻帶寬,截止頻率高(一般大于1 000 GHz)。MEMS開關(guān)主要采用靜電驅(qū)動,從其在電路中的應(yīng)用,可分成金屬-金屬接觸的電阻接觸串聯(lián)開關(guān)和金屬-絕緣-金屬接觸的電容耦合并聯(lián)開關(guān)。

相對于其他的MEMS器件及系統(tǒng)研究,射頻微電子機(jī)械系統(tǒng)(RF MEMS)是近年出現(xiàn)的新研究領(lǐng)域,所謂RF MEMS就是利用MEMS技術(shù)制作各種用于無線通訊的射頻器件或系統(tǒng)。RF MEMS包括應(yīng)用于無線通訊領(lǐng)域的各種無源器件如:高Q值諧振器、濾波器、RF MEMS開關(guān)、微型天線以及電感、電容等。

MEMS器件很快在射頻性能上超過固態(tài)電子器件,即使早期的MEMS器件在20GHz時的開態(tài)插入損耗也只有0.15dB,在相同頻率下的一個典型GaAs-FET或PIN二極管的插入損耗接近1dB。

在低于1GHz頻率的應(yīng)用情況中,固態(tài)電子開關(guān)仍然是首選。它們很便宜、低損耗、易于集成,應(yīng)用廣泛。固態(tài)電子開關(guān)在千兆赫茲以上時,損耗開始增加,并變得難于集成進(jìn)開關(guān)。這時候MEMS開關(guān)的優(yōu)勢就變得明顯起來。它們既沒有固態(tài)電子開關(guān)快,可靠性也不高,但它們在電氣性能上比固態(tài)電子開關(guān)更勝一籌。MEMS開關(guān)即使在40GHz時,插入損耗也很容易達(dá)到0.1dB。開關(guān)時間一般在幾十微秒,循環(huán)次數(shù)達(dá)到幾十億次。近年來,處理功率達(dá)到幾瓦的開關(guān)也已被報道。

比較參數(shù)

RF MEMS開關(guān)

PIN二極管

FET晶體管

電壓(V)

20-80

3-5

電流(mA)

0

0-20

0

功耗(mW)

5-100

-0.5-0.1

開關(guān)時間

1-300微秒

1-100納秒

1-100納秒

串聯(lián)電容(fF)

1-6

40-80

70-140

串聯(lián)電阻(Ω)

0.5-2

2-4

4-6

10

N/A

開關(guān)頻率(THz)

20-80

1-4

0.5-2

隔離度(1-10GHz)

非常高

中等

隔離度(10-40GHz)

非常高

中等

隔離度(60-100GHz)

中等

插入損耗(1-100GHz)(dB)

0.05-0.2

0.3-1.2

0.4-2.5

功率處理(W)

三階交調(diào)截取(dBm)

66-80

27-45

27-45

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