缺陷檢查設(shè)備技術(shù)指標(biāo)

缺陷檢知率>90%重復(fù)性>95%分辨率9片/小時(shí)。

適用于直至90nm技術(shù)代的缺陷細(xì)微檢查和成分分析。

其可相應(yīng)于圖案的密度自動(dòng)地設(shè)定具有相應(yīng)于缺陷部分的尺寸的缺陷檢測(cè)靈敏度的尺寸判定區(qū)域，進(jìn)行缺陷檢查。

該缺陷檢查方法包含：

其基于參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向計(jì)測(cè)圖案的寬度，并將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案于上述各方向的寬度的亮度，制作對(duì)應(yīng)于上述各方向的復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)；其比較上述復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)，并自該等掃描圖像數(shù)據(jù)選出最小的亮度的最小亮度，制作寬度圖像數(shù)據(jù)；

其基于被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，并將于上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測(cè)定的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；

以及，其基于上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述寬度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。

一種缺陷檢查方法，其為攝像描繪有圖案的被檢查體，基于所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述被檢查體的缺陷檢查，其特征在于包含：

第1步驟，其基于上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向計(jì)測(cè)上述圖案的寬度，并將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案于上述各方向的寬度的亮度，制作對(duì)應(yīng)于上述各方向的復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)；

第2步驟，其比較上述復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)，并自該等掃描圖像數(shù)據(jù)選出最小的亮度的最小亮度，制作寬度圖像數(shù)據(jù)；

第3步驟，其基于上述被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，并將于上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測(cè)定上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；

第4步驟，其基于上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述寬度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。

缺陷檢查方法以及利用該方法的缺陷檢查裝置，通過(guò)一次拍攝就能夠檢測(cè)出成形體表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。

缺陷檢查原理

對(duì)于檢查對(duì)象的工件表面，同時(shí)驅(qū)動(dòng)同軸反射照明用的照明部和斜入射照明用的照明部，并在該照明下用照相機(jī)進(jìn)行拍攝。在照明部中分別設(shè)置有發(fā)出各色彩光的光源，并且，在照明部?jī)H點(diǎn)亮這些三種光源中的一種，而在照明部點(diǎn)亮在照明部沒(méi)有點(diǎn)亮的一種或兩種光源。

缺陷檢查結(jié)構(gòu)

發(fā)明的缺陷檢查數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)具有：客戶計(jì)算機(jī)，其中具有用于取得在制造工序中作為處理對(duì)像的被檢查物體的二維圖像的圖像取得裝置、以及把用該圖像取得裝置取得的圖像作為數(shù)據(jù)進(jìn)行傳輸?shù)臄?shù)據(jù)傳輸裝置；數(shù)據(jù)庫(kù)，用于記錄從該客戶計(jì)算機(jī)傳送來(lái)的圖像數(shù)據(jù)；以及主計(jì)算機(jī)，其中具有用于對(duì)從該數(shù)據(jù)庫(kù)中讀出的上述圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行缺陷信息抽取的缺陷抽取裝置、以及用于根據(jù)由該缺陷抽取裝置抽取的缺陷信息來(lái)判斷上述被檢查物體是否合格的合格與否判斷裝置，對(duì)上述客戶計(jì)算機(jī)和主計(jì)算機(jī)分開(kāi)進(jìn)行構(gòu)成，通過(guò)通信線路使其相連接。 2100433B