全自動(dòng)光柵式指示表檢定儀技術(shù)指標(biāo)

(0～1)m ＜±1.0μm。

全自動(dòng)光柵式指示表檢定儀、激光干涉儀、光學(xué)儀器檢測(cè)器具。

光柵式指示表檢定儀是利用光柵測(cè)長(zhǎng)原理，把直線位移變成電信號(hào)，經(jīng)前置放大、分相、整形、電子細(xì)分，將脈沖信號(hào)進(jìn)行記數(shù)和顯示，并利用微處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，最后由微型打印機(jī)打印出檢定數(shù)據(jù)和結(jié)果。其框圖如下 。

光柵測(cè)長(zhǎng)的原理是將光源發(fā)出的光，通過望遠(yuǎn)系統(tǒng)變?yōu)槠叫泄?，照射到柵線面相對(duì)的透射式標(biāo)尺光柵和指示光柵上，當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)固定的指示光柵沿柵線垂直方向移動(dòng)時(shí)，則所產(chǎn)生的明暗相間的莫爾條紋沿柵線方向移動(dòng)。兩塊光柵尺相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距，莫爾條紋的光強(qiáng)周期地變化一次，并掃過安放在指示光柵前的四只光電元件，從而產(chǎn)生兩路正弦電信號(hào)，經(jīng)電路系統(tǒng)處理后，變成脈沖信號(hào)。由于儀器測(cè)桿與標(biāo)尺光柵剛性連接，故測(cè)桿位移L與脈沖信號(hào)的關(guān)系可用下式表達(dá)

L=A"para" label-module="para">

式中，A—脈沖當(dāng)量；n—電路細(xì)分能力；k—光柵線紋密度；N—脈沖數(shù)。

脈沖當(dāng)量是每一個(gè)脈沖相當(dāng)?shù)奈灰瞥叽?。設(shè)n=100，k=100，N=1，則

L=　×1=0"para" label-module="para">

上式說明，當(dāng)采用100線光柵時(shí)，電信號(hào)經(jīng)過100細(xì)分后，測(cè)桿每移動(dòng)0