四探針電阻率/方阻測(cè)試儀

概述 四探針電阻率 / 方阻測(cè)試儀（以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀）是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、 ITO 導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱(chēng)：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。 本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流 / 測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為 0.05% 的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的專(zhuān)利產(chǎn)品： “ 小游移四探針頭 ” ，探針游移率在 0.1 ～ 0.2% 。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配 HQ-710E 數(shù)據(jù)處理器，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來(lái)很大方便。

（1）測(cè)量范圍： 可測(cè)電阻率： 0.0001 ～ 19000Ω·cm 可測(cè)方塊電阻： 0.001 ～ 1900Ω· □

（2）恒流源： 輸出電流： DC 0.001 ～ 100mA 五檔連續(xù)可調(diào)量程： 0.001 ～ 0.01mA 0.01 ～ 0.10mA 0.10 ～ 1.0mA 1.0 ～ 10mA 10 ～ 100mA 恒流精度：各檔均低于 ±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表： 測(cè)量范圍： 0 ～ 199.99mV 靈敏度： 10μV 基本誤差： ± （ 0.004% 讀數(shù) 0.01% 滿(mǎn)度） 輸出電源： ≥ 1000ΩM

（4）供電電源： AC 220V±10% 50/60 Hz 功率： 12W

（5）使用環(huán)境： 溫度： 23± 2℃ 相對(duì)濕度： ≤ 65% 無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射

（6）重量、體積： 主機(jī)重量： 7.5kg 體積： 365×380×160 （單位： mm 長(zhǎng)度 × 寬度 × 高度）2100433B

四探針電阻率/方阻測(cè)試儀

對(duì)于半導(dǎo)體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。

電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針?lè)ㄊ且环N廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便，精確度高，對(duì)樣品的形狀無(wú)嚴(yán)格要求。

最常用的是直線(xiàn)型四探針。四根探針的針尖在同一直線(xiàn)上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

一般四探針電阻率（電導(dǎo)率）測(cè)試儀均已配置厚度的修正，通過(guò)厚度數(shù)值的設(shè)置，計(jì)算出不同的樣品厚度對(duì)電阻率的影響。

2100433B