用調(diào)制參考波面使干涉條紋對探測器掃描來實現(xiàn)波面位相精密探測的儀器。以特外曼-格林型條紋掃描干涉儀為例。如圖所示,該干涉儀參考波面的調(diào)制是通過壓電晶體驅(qū)動參考反射鏡來達到的。調(diào)制的干涉條紋被32×32二極管陣列所接收,用一臺小型電子計算機及一系列外部設(shè)備對測量過程進行控制、計算及顯示,完成對被測件(包括平面、球面及鏡頭)1024點的位相探測,測量精度可達λ/100。
條紋掃描干涉儀特點
條紋掃描干涉儀 條紋掃描干涉儀的特點:①干涉系統(tǒng)本身的誤差可用絕對校正法測出和存儲,并在后續(xù)的波面測試中自動除去,因此降低了干涉系統(tǒng)各光學元件的加工要求。當要求測量精度為/100時,干涉系統(tǒng)的波面誤差只要1就夠了。②由于二極管陣列上光強以隨機形式多次取樣和平均,因此大氣抖動、振動及熱變形對測量精度的影響明顯下降。
用調(diào)制參考波面使干涉條紋對探測器掃描來實現(xiàn)波面位相精密探測的儀器。以特外曼-格林型條紋掃描干涉儀為例。如圖所示,該干涉儀參考波面的調(diào)制是通過壓電晶體驅(qū)動參考反射鏡來達到的。調(diào)制的干涉條紋被32×32二極管陣列所接收,用一臺小型電子計算機及一系列外部設(shè)備對測量過程進行控制、計算及顯示,完成對被測件(包括平面、球面及鏡頭)1024點的位相探測,測量精度可達/100。
干涉原理上來說,白光和激光沒有本質(zhì)區(qū)別,就是頻率有差別而已 。但目前使用的大部分邁克爾遜干涉儀是 白光式的。
白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)...
觀察條紋反差起伏周期光程差改變量相干度相干度=平均波平/波差波差=平均波平/相干度原理:假設(shè)反差光程差改變量=(m+1)λ1=mλ2=相干度m=λ1/(λ2-λ1)相干度=mλ...
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我國第一臺多用途、高精度的光學測試儀器—JDG-1型激光多用干涉儀,最近在安徽光學精密機械研究所研制成功.這臺儀器可用于測量光學零件的平面度、平行度、球面
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用激光干涉儀系統(tǒng)進行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經(jīng)驗 1 簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經(jīng)驗主要針對使用激光干涉儀校準機床如車床、銑床以及 坐標測量機的線性精度。但是,文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關(guān)的其它項目,如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內(nèi),用于實現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測量的特殊方法(如真空操作)也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測量單位。( 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細。由于太細,所以肉眼無 法看到,接近于傳統(tǒng)光學顯微鏡的極限值)??蓪崿F(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用,為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點后有很多位數(shù),但并不表 明都很精確。(在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍)。實現(xiàn) 1 微米的測量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的測量精度需要特別注意一些細節(jié)。本文