用調(diào)制參考波面使干涉條紋對(duì)探測(cè)器掃描來(lái)實(shí)現(xiàn)波面位相精密探測(cè)的儀器。以特外曼-格林型條紋掃描干涉儀為例。如圖所示,該干涉儀參考波面的調(diào)制是通過(guò)壓電晶體驅(qū)動(dòng)參考反射鏡來(lái)達(dá)到的。調(diào)制的干涉條紋被32×32二極管陣列所接收,用一臺(tái)小型電子計(jì)算機(jī)及一系列外部設(shè)備對(duì)測(cè)量過(guò)程進(jìn)行控制、計(jì)算及顯示,完成對(duì)被測(cè)件(包括平面、球面及鏡頭)1024點(diǎn)的位相探測(cè),測(cè)量精度可達(dá)/100。
條紋掃描干涉儀特點(diǎn)
條紋掃描干涉儀 條紋掃描干涉儀的特點(diǎn):①干涉系統(tǒng)本身的誤差可用絕對(duì)校正法測(cè)出和存儲(chǔ),并在后續(xù)的波面測(cè)試中自動(dòng)除去,因此降低了干涉系統(tǒng)各光學(xué)元件的加工要求。當(dāng)要求測(cè)量精度為/100時(shí),干涉系統(tǒng)的波面誤差只要1就夠了。②由于二極管陣列上光強(qiáng)以隨機(jī)形式多次取樣和平均,因此大氣抖動(dòng)、振動(dòng)及熱變形對(duì)測(cè)量精度的影響明顯下降。
干涉原理上來(lái)說(shuō),白光和激光沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別,就是頻率有差別而已 。但目前使用的大部分邁克爾遜干涉儀是 白光式的。
白光干涉儀是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)...
觀察條紋反差起伏周期光程差改變量相干度相干度=平均波平/波差波差=平均波平/相干度原理:假設(shè)反差光程差改變量=(m+1)λ1=mλ2=相干度m=λ1/(λ2-λ1)相干度=mλ...
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我國(guó)第一臺(tái)多用途、高精度的光學(xué)測(cè)試儀器—JDG-1型激光多用干涉儀,最近在安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所研制成功.這臺(tái)儀器可用于測(cè)量光學(xué)零件的平面度、平行度、球面
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用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測(cè)量 — 最佳操作及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn) 1 簡(jiǎn)介 本文描述的最佳操作步驟及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對(duì)使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的線性精度。但是,文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測(cè)量方法相 關(guān)的其它項(xiàng)目,如角度、平面度、直線度和平行度測(cè)量不包括在內(nèi),用于實(shí)現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測(cè)量的特殊方法(如真空操作)也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測(cè)量單位。( 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì),所以肉眼無(wú) 法看到,接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值)??蓪?shí)現(xiàn)微米級(jí)及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用,為用戶提供了令人滿意的測(cè)量精度。盡管測(cè)量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù),但并不表 明都很精確。(在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍)。實(shí)現(xiàn) 1 微米的測(cè)量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的測(cè)量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文