Focus Lock自動對焦

Focus Lock技術(shù)是利用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測，并通過Z向調(diào)整和補償，以保證曝光分辨率。

直寫前預(yù)檢查

軟件可以實時顯微觀測基體表面，并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過調(diào)整位置、角度，直到設(shè)計圖形按要求與已有結(jié)構(gòu)重合，保證直寫準確。

標(biāo)記物自動識別

點擊“Bulls-Eye”按鈕，系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標(biāo)記。標(biāo)記物被識別后，將自動將其移動到顯微鏡中心位置。

光學(xué)輪廓儀

Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層，MEMS等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。Z向最高精度100 nm，方便快捷。

簡單的直寫軟件

MicroWriter ML3由一個簡單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會引導(dǎo)使用者進行簡單的布局設(shè)計、基片對準和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統(tǒng)下運行。

Clewin 掩模圖形設(shè)計軟件

可以讀取多種圖形設(shè)計文件（DXF, CIF, GDSII, 等）

可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式

書寫范圍只由基片尺寸決定

無掩膜激光直寫光刻機造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
激光投影機 700W 查看價格 查看價格

梵朗

 套 13% 深圳市梵朗照明科技有限公司江門辦事處
激光雕刻鋁單板 品種:鋁單板;厚度(mm):2.5;表面處理:定制; 查看價格 查看價格

中通

 m2 13% 中通(天津)鋁業(yè)有限公司
激光刻花大理石材 成品 查看價格 查看價格

m2 13% 佛山市九次方建材有限公司
激光噴泉 品種:激光噴泉;規(guī)格型號:12KW; 查看價格 查看價格

錦泉

 套 13% 河北錦泉園林景觀工程股份有限公司
激光刻花大理石材 成品 查看價格 查看價格

m2 13% 廣州金倉石材有限公司
激光噴泉 24V,9W 查看價格 查看價格

個 13% 深圳凡尊照明電器有限公司
激光燈FPN 標(biāo)準Art-net協(xié)議,多通道擴展、8端口DMX512輸出,可外接MA控臺,19寸機架式安裝; 查看價格 查看價格

佛山銀河照明

 臺 13% 佛山市銀河蘭晶科技股份有限公司
激光燈RPU 1×WAN口;4×LAN口;嵌入式Linux操作系統(tǒng);輸出標(biāo)準Art-net協(xié)議;可帶載240域;專業(yè)舞臺燈光控制系統(tǒng) 查看價格 查看價格

大峽谷

 臺 13% 大峽谷照明系統(tǒng)（蘇州）股份有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年4季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年1季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年3季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年2季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年4季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年2季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年1季度信息價
夯實機(電機) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年3季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
激光刻字 1.激光雕刻字體 2.其他滿足設(shè)計要求|1.0個 3 查看價格 深圳市雅奇標(biāo)識設(shè)計制作有限公司    2017-08-28
掩膠 掩膠|5套 3 查看價格 廣州市匯泰龍裝飾材料有限公司 廣東  佛山市 2020-09-01
10絲無滴膜 10絲無滴膜|0m2 1 查看價格 冠縣現(xiàn)代塑料制品有限公司 廣東  韶關(guān)市 2010-10-07
304不銹鋼激光刻字 304不銹鋼|700個 1 查看價格 成都鑫想事誠商貿(mào)有限公司 貴州  黔南州 2017-12-06
304不銹鋼激光刻字 304不銹鋼|1個 1 查看價格 成都映暉廣告有限公司 四川  成都市 2017-06-14
激光投影機 1.光源:采用ALPD單色激光熒光粉色輪成像技術(shù),純激光光源尺寸范圍:30-300英寸|1臺 1 查看價格 電纜標(biāo)牌激光刻字牌 -|24.0個 3 查看價格 北京喜嘉利達科技有限公司    2015-07-01
激光投影機 品牌型號:麗訊LU3541M 亮度:7800流明,DLP顯示技術(shù),3D激光投影 分辨率:1920×1200,對比度:20000:1 激光光源,2萬小時使用壽命|1臺 1 查看價格 廣州賽瑞電子有限公司 全國   2022-06-20

小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3，通過激光直寫在光刻膠上直接曝光制作所需要的圖案，而無需掩膜版，專為實驗室設(shè)計開發(fā)，適用于各種實驗室桌面。

電子/半導(dǎo)體器件

微/納電機系統(tǒng)

自旋電子學(xué)

傳感器

微流控

材料科學(xué)

生物實驗室芯片

光子學(xué)

......

無掩膜激光直寫光刻機技術(shù)特征常見問題

  • 蝕刻機，啥叫光刻機，啥叫光柵刻畫

    蝕刻機可以分為化學(xué)蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達到蝕刻的目的，化學(xué)蝕刻機是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。光刻機(Mask Aligner)...

  • 激光刻板機怎么用?

    使用中可能產(chǎn)生的問題及售后服務(wù)保證 （一）．使用環(huán)境 雕刻機為高科技機電一體化設(shè)備，對工作環(huán)境有一定的要求。 1．避開強電、強磁等嚴重影響雕刻機信號傳輸?shù)脑O(shè)備。如：電焊機、發(fā)射塔等。 2．使用三芯電源...

  • 回墨印章如何制作，我有激光機，需要哪些設(shè)備和技術(shù)

    買來回墨印外殼和機雕膠皮，用機將內(nèi)容雕刻至膠皮上，然后將膠皮剪成合適大小，貼在回墨印底面，放上印臺即可。

無掩膜激光直寫光刻機技術(shù)特征文獻

利用光刻機擋板優(yōu)化MPW光罩布局 利用光刻機擋板優(yōu)化MPW光罩布局

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頁數(shù)： 4頁

評分： 4.4

伴隨著國內(nèi)市場競爭的日趨激烈,常規(guī)的MPW(多項目晶圓)布局也不能滿足客戶的要求,同時也不能最大限度地降低設(shè)計公司的研發(fā)成本,也不利于國內(nèi)foundry廠市場的開拓。鑒于此,文章著重提出了利用光刻機擋板把光罩進行區(qū)域劃分,在不增加流片和滿足客戶要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客戶的流片費用。通過在15cm片上流片驗證,更加突出了此優(yōu)化光罩布局的方法在研發(fā)成本和滿足客戶要求等方面的優(yōu)越性,因而這種布局對我國集成電路的發(fā)展和新產(chǎn)品的研發(fā)工作,特別是對國內(nèi)中小企業(yè)的成長提供了有力的支持,也為foundry廠贏得市場提供了重要的手段。

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光刻機用精密碳化硅陶瓷部件制備技術(shù) 光刻機用精密碳化硅陶瓷部件制備技術(shù)

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大?。?span id="8smeopf" class="single-tag-height">652KB

頁數(shù)： 11頁

評分： 4.8

第 37卷 第 3期 現(xiàn) 代 技 術(shù) 陶 瓷 Vol. 37 No. 3 2016 年 6 月 Advanced Ceramics June 2016 中圖分類號： TB321 文獻編號： 1005-1198 (2016) 03-0168-11 文獻標(biāo)識碼： A DOI： 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.02.011 光刻機用精密碳化硅陶瓷部件制備技術(shù) 劉海林，霍艷麗，胡傳奇，黃小婷，王春朋，梁海龍，唐 婕，陳玉峰 中國建筑材料科學(xué)研究總院，北京 100024 摘 要：本文介紹了光刻機用碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點及其對材料的要求，分析了碳化硅 陶瓷在光刻機中作為結(jié)構(gòu)件材料使用的優(yōu)勢，著重介紹了中國建筑材料科學(xué)研究總院在精密碳 化硅結(jié)構(gòu)件的制備領(lǐng)域所取得的技術(shù)成果，列舉了精密碳化硅結(jié)構(gòu)件在光刻機等集成電路制造 關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用。 關(guān)鍵詞：碳化硅；凝膠注模；素坯

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通過激光與材料的相互作用，調(diào)節(jié)樣品臺旋轉(zhuǎn)及X軸運動速度，可以實現(xiàn)類光柵結(jié)構(gòu)點線陣列、任意圖形和灰度圖形的激光刻寫。

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激光波長405 nm，分辨率達100nm。

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該設(shè)備由計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任意圖形，從而把設(shè)計圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。激光直寫系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖所示，主要由He-Cd激光器、聲光調(diào)制器、投影光刻物鏡、CCD攝像機、顯示器、照明光源、工作臺、調(diào)焦裝置、He-Ne激光干涉儀和控制計算機等部分構(gòu)成。激光直寫的基本工作流程是：用計算機產(chǎn)生設(shè)計的微光學(xué)元件或待制作的VLSI掩摸結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)；將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成直寫系統(tǒng)控制數(shù)據(jù)，由計算機控制高精度激光束在光刻膠上直接掃描曝光；經(jīng)顯影和刻蝕將設(shè)計圖形傳遞到基片上。 2100433B

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