現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)

本書系統(tǒng)闡述了薄膜材料與薄膜技術(shù)的基本理論和基本知識,重點(diǎn)介紹了薄膜材料的真空制備技術(shù)、薄膜的化學(xué)和物理沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征、對目前廣泛研究和應(yīng)用的幾種主要薄膜材料進(jìn)行了介紹、評論和展望。

本書適合于從事材料研究的科研技術(shù)人員、相關(guān)專業(yè)的大專院校師生閱讀和參考,同時也可作為研究生教材使用。

薄膜技術(shù)與薄膜材料，書名，關(guān)于薄膜及微細(xì)加工技術(shù)的應(yīng)用范圍，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的各個領(lǐng)域。本書內(nèi)容包括真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜制備、微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用、薄膜成分與結(jié)構(gòu)分析等5大部分，涉及薄膜技術(shù)與薄膜材料的各個方面，知識全面，脈絡(luò)清晰。全書共17章，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對基本知識的理解、掌握與運(yùn)用。

對于從事相關(guān)行業(yè)的科技工作者與工程技術(shù)人員，本書具有極為難得的參考價值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術(shù)在高新技術(shù)中應(yīng)用的一本很好的入門書籍。

薄膜及微細(xì)加工技術(shù)的應(yīng)用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光LED固體照明、太陽能電池到材料的表面改性等，涉及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的各個領(lǐng)域。本書內(nèi)容包括真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜制備、微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用等4大部分，涉及薄膜技術(shù)與薄膜材料的各個方面，知識全面，脈絡(luò)清晰。全書共17章，文字通俗易懂，并配有大量圖解，每章后面附有習(xí)題，有利于對基本概念和基礎(chǔ)知識的理解、掌握與運(yùn)用。本書可作為材料、機(jī)械、精密儀器、化工、能源、微電子、計算機(jī)、物理、化學(xué)、光學(xué)等學(xué)科本科生及研究生教材，對于從事相關(guān)行業(yè)的科技工作者與工程技術(shù)人員，也具有極為難得的參考價值。