中文名 | 線寬偏差 | 外文名 | CD offset |
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掩模之間的主要表現(xiàn)在線寬的偏差(offset)。由于制備工藝的差別,一個(gè)掩模上所有的關(guān)鍵圖形處的線寬通常比另一個(gè)掩模的對(duì)應(yīng)線寬相差一個(gè)固定值,這個(gè)偏差又被稱為“global CD offset”。這種固定的掩模線寬偏差會(huì)導(dǎo)致曝光圖像線寬變化的不均勻性,MEEF值是和掩模圖形尺寸及其周圍圖形相關(guān)聯(lián)的,掩模上的這種線寬變化必然會(huì)導(dǎo)致晶圓上“through-pitch”行為的不同。而且,線寬對(duì)曝光劑量的敏感度(exposure latitude)也會(huì)發(fā)生變化。因此,必須調(diào)整光照條件來補(bǔ)償這種變化 。
在量產(chǎn)時(shí),同一個(gè)光刻層可能存在兩塊或者兩塊以上的掩模,這些掩模用于多個(gè)光刻機(jī),增大光刻的產(chǎn)能。理論上,這些掩模應(yīng)該是相同的(nominally identical reticles);實(shí)際上,由于掩模制備工藝的不穩(wěn)定性,每一個(gè)掩模參數(shù)與目標(biāo)值的偏差不完全一樣(particular difference in their mean-to-target)。甚至,這些掩??赡軄碜杂诓煌醚谀9S,掩模工廠之間的設(shè)備就存在偏差。掩模匹配是通過精細(xì)調(diào)整光刻機(jī)的曝光參數(shù),使得不同掩模在同一臺(tái)光刻機(jī)上曝光得到的結(jié)果一致。2100433B
選擇識(shí)別的構(gòu)件,調(diào)整寬度
bylayer意思是該線條寬度是跟隨圖層的,圖層中設(shè)置線寬多少,那么這線的寬度就是多少。如果不是bylayer,那么就是按照線寬選項(xiàng)那顯示的
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詳細(xì)介紹了延時(shí)自外差法測(cè)激光線寬的理論模型與測(cè)量原理,得到了光電流的功率譜密度函數(shù),并進(jìn)行了軟件仿真,分析并討論了延時(shí)光纖長(zhǎng)短對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,提出了在延時(shí)光纖長(zhǎng)度不足條件下求解超窄激光線寬數(shù)值解的新方法,并在特定條件下給出了解析解,實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了算法的正確性。給出了在光纖長(zhǎng)度300m時(shí),對(duì)10kHz以下以及10kHz以上激光譜寬的不同求解方法并通過實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證。
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為了測(cè)量分布反饋( DFB)單模半導(dǎo)體激光器線寬,采用一種新穎的基于馬赫一曾德爾干涉結(jié)構(gòu)的光纖自外差 測(cè)量方案,設(shè)計(jì)了一套全光纖延時(shí)自外差法測(cè)量系統(tǒng), 并進(jìn)行了理論分析.在此基礎(chǔ)上搭建了延時(shí)光纖長(zhǎng)度分別為 900m, 3000m和6000m的窄帶線寬測(cè)量系統(tǒng), 對(duì)實(shí)驗(yàn)室一臺(tái)中心波長(zhǎng)為1550nm、 標(biāo)稱線寬值為800kHz的 DFB單模半導(dǎo) 體激光器光源進(jìn)行了測(cè)試, 測(cè)得激光器線寬值分別為951. 566kHz, 832.471kHz和802. 221kHz, 并對(duì)所設(shè)計(jì)的方案進(jìn)行了 模擬仿真驗(yàn)證.結(jié)果表明,與模擬仿真結(jié)果作對(duì)比,延時(shí)光纖長(zhǎng)度為6000m時(shí)的窄帶線寬測(cè)量系統(tǒng)最優(yōu),其誤差在3% 之內(nèi), 證明了所用自外差干涉原理的合理性和準(zhǔn)確性.全光纖移頻延時(shí)自外差法對(duì)測(cè)量DFB激光器線寬具有優(yōu)越性和 重要的實(shí)用價(jià)值.
無線寬頻(英語(yǔ):Wireless broadband),一種無線通訊技術(shù),在廣大區(qū)域中提供高速的無線上網(wǎng),或是電腦網(wǎng)絡(luò)存取。
根據(jù)IEEE 802.16-2004標(biāo)準(zhǔn),寬頻(broadband)的定義是指擁有高于1 MHz的瞬間帶寬,以及支援高于1.5 Mbit/s的資料量。以無線傳輸方式,達(dá)成寬頻的要求,稱為無線寬頻。
IEEE學(xué)會(huì)制定了IEEE 802.16,作為無線寬頻的標(biāo)準(zhǔn),最著名的產(chǎn)品是WiMAX。 2100433B
水線寬選定的方法,一般通過經(jīng)驗(yàn)公式的估算、型船資料的參考,以及長(zhǎng)寬比和寬度吃水比的合適比值,初步選取一個(gè)寬度。然后和其它亦為初步選取的尺度系數(shù)一起,經(jīng)過必要要的重量、性能、布置等粗略校驗(yàn)后初步選定。設(shè)計(jì)水線寬選定后,其它寬度如型寬、甲板寬、浸體寬等通常是以這一寬度為基礎(chǔ)在設(shè)計(jì)過程(主要是型線設(shè)計(jì))中確定。
1: 印刷導(dǎo)線寬度選擇依據(jù):
印刷導(dǎo)線的最小寬度與流過導(dǎo)線的電流大小有關(guān):線寬太小,剛印刷導(dǎo)線電阻大,線上的電壓降也就大,影響電路的性能,線寬太寬,則布線密度不高,板面積增加,除了增加成本外,也不利于小型化.如果電流負(fù)荷以20A/平方毫米計(jì)算,當(dāng)覆銅箔厚度為0.5MM時(shí),(一般為這么多,)則1MM(約40MIL)線寬的電流負(fù)荷為1A,因此,線寬取1--2.54MM(40--100MIL)能滿足一般的應(yīng)用要求,大功率設(shè)備板上的地線和電源,根據(jù)功率大小,可適當(dāng)增加線寬,而在小功率的數(shù)字電路上,為了提高布線密度,最小線寬取0.254--1.27MM(10--15MIL)就能滿足.同一電路板中,電源線.地線比信號(hào)線粗
.2: 線間距:當(dāng)為1.5MM(約為60MIL)時(shí),線間絕緣電阻大于20M歐,線間最大耐壓可達(dá)300V, 當(dāng)線間距為1MM(40MIL)時(shí),線間最大耐壓為200V,因此,在中低壓(線間電壓不大于200V)的電路板上,線間距取1.0--1.5MM (40--60MIL)在低壓電路,如數(shù)字電路系統(tǒng)中,不必考慮擊穿電壓,只要生產(chǎn)工藝允許,可以很小.
3: 焊盤:對(duì)于1/8W的電阻來說,焊盤引線直徑為28MIL就足夠了,而對(duì)于1/2W的來說,直徑為32MIL,引線孔偏大,焊盤銅環(huán)寬度相對(duì)減小,導(dǎo)致焊盤的附著力下降.容易脫落, 引線孔太小,元件播裝困難.
4: 畫電路邊框:邊框線與元件引腳焊盤最短距離不能小于2MM,(一般取5MM較合理)否則下料困難
5:元件布局原則:A 一般原則:在PCB設(shè)計(jì)中,如果電路系統(tǒng)同時(shí)存在數(shù)字電路和模擬電路.以及大電流電路,則必須分開布局,使各系統(tǒng)之間藕合達(dá)到最小在同一類型電路中,按信號(hào)流向及功能,分塊,分區(qū)放置元件.B: 輸入信號(hào)處理單元,輸出信號(hào)驅(qū)動(dòng)元件應(yīng)靠近電路板邊,使輸入輸出信號(hào)線盡可能短,以減小輸入輸出的干擾.C: 元件放置方向: 元件只能沿水平和垂直兩個(gè)方向排列.否則不得于插件.D:元件間距.對(duì)于中等密度板,小元件,如小功率電阻,電容,二極管,等分立元件彼此的間距與插件,焊接工藝有關(guān), 波峰焊接時(shí),元件間距可以取50-100MIL(1.27--2.54MM)手工可以大些,如取100MIL,集成電路芯片,元件間距一般為100--150MILE: 當(dāng)元件間電位差較大時(shí),元件間距應(yīng)足夠大,防止出現(xiàn)放電現(xiàn)象.F: 在而已進(jìn)IC去藕電容要靠近芯片的電源秋地線引腳.不然濾波效果會(huì)變差.在數(shù)字電路中,為保證數(shù)字電路系統(tǒng)可靠工作, 在每一數(shù)字集成電路芯片的電源和地之間均放置IC去藕電容.去藕電容一般采用瓷片電容,容量為0.01~0.1UF去藕電容容量的選擇一般按系統(tǒng)工作頻率F的倒數(shù)選擇.此外,在電路電源的入口處的電源線和地線之間也需加接一個(gè)10UF的電容, 以及一個(gè)0.01UF的瓷片電容.G: 時(shí)針電路元件盡量靠近單片機(jī)芯片的時(shí)鐘信號(hào)引腳,以減小時(shí)鐘電路的連線長(zhǎng)度.且下面最好不要走線.