中文名 | 諧振式傳感器 | 外文名 | vibrating element type transducer |
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類????型 | 傳感器 | 領(lǐng)????域 | 物理 |
諧振式傳感器
resonant sensor
這個概念我覺得看怎么理解了,這些傳感器應(yīng)該統(tǒng)屬于光學(xué)傳感器,你所說的三個概念相互之間都有交叉,光柵傳感器里面包括,光纖光柵,透射體光柵等,也就是既有光纖的也有光電的,光纖傳感器又分為功能型和非功能型,...
霍爾傳感器是數(shù)字式傳感器,有兩根電源線,和一根信號線,如果外部有磁信號,信號線上面會有一個脈沖信號,速度與脈沖信號的個數(shù)成正比。磁電式傳感器,無需外部供電,外部運動的磁鐵會引起磁電式傳感器內(nèi)部的電磁線...
霍爾式傳感器與磁感應(yīng)式傳感器的區(qū)別是什么?怎么分
磁感應(yīng)式傳感器也稱互感器,互感器利用電磁感應(yīng)原理,即變化的磁場產(chǎn)生電場的原理。將兩個線圈繞在同一個鐵芯上,二次繞組感應(yīng)出于一次繞組呈比例關(guān)系的電壓或電流。因此,也有稱互感原理或變壓器原理?;魻杺鞲衅魇?..
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頁數(shù): 7頁
評分: 4.6
為了實現(xiàn)以頻率輸出為信號的氣象溫度測量,提出了一種基于雙層懸臂梁的諧振式微溫度傳感器?;陔p懸臂梁不同材料熱膨脹系數(shù)的差異會導(dǎo)致懸臂梁諧振頻率偏移的原理,采用壓電方式同時實現(xiàn)懸臂梁的驅(qū)動及其諧振頻率的檢測,從而實現(xiàn)溫度的測量。根據(jù)硅基傳感器的正面腐蝕工藝,設(shè)計了諧振懸臂梁的雙層結(jié)構(gòu),采用有限元方法分析了懸臂梁的諧振模態(tài)、可利用的振型及其溫度與各模態(tài)諧振頻率的關(guān)系,并利用多普勒振動系統(tǒng)對懸臂梁的諧振特性進(jìn)行了研究。實驗發(fā)現(xiàn)懸臂梁的二階彎曲振型Q值相對于其它振型是最大的,其Q值約為150;高階振型特別是二階彎曲振型適合用于以ZnO為壓電材料的溫度傳感器的頻率檢測,并且具有相對較高的靈敏度(約為20Hz/℃)和頻率溫度系數(shù)(1.9×10-4/℃)。結(jié)果表明,微型溫度傳感器能夠滿足氣象溫度檢測的要求,并具有抗干擾能力強(qiáng)、靈敏度高、信號傳輸接口簡單等優(yōu)點。
簡介
利用諧振元件把被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應(yīng)用方面,主要有振弦式壓力傳感器(見振弦式傳感器)、振筒式壓力傳感器(見振筒式傳感器)、振膜式壓力傳感器(見振膜式傳感器)和石英晶體諧振式壓力傳感器(見石英晶體諧振式傳感器)。
諧振式傳感器具有穩(wěn)定性好,精度高、與微機(jī)接口方便等特點而倍受重視。我們采用微機(jī)械加工技術(shù)研制了微諧振器和諧振式壓力傳感器。其特點是用單晶硅梁做諧振器、梁厚僅數(shù)微米,用靜電激勵。其振動頻率取決于器件設(shè)計、材料性能和梁的軸向應(yīng)力,并受外界壓力調(diào)制。研究工作包括器件設(shè)計;激振與拾振技術(shù);關(guān)鍵工藝包括硅健合,薄梁制備技術(shù)和封裝技術(shù),并對樣品進(jìn)行了分析測試 。研究表明,用兩端固支梁理論分析微諧振梁作為一階近似是可行的。單晶梁的工藝難度大,但工藝上仍可行。傳感器固有頻率穩(wěn)定;一般在一百千赫以上,空氣中品質(zhì)因數(shù)達(dá)數(shù)百;靈敏度高,當(dāng)壓力電O升到O·1MPa時,頻移達(dá)十幾千赫,是一種有前途的新型傳感器。 2100433B
金屬材料和其它應(yīng)用場合常使用標(biāo)稱頻率150KHz的諧振式窄帶聲發(fā)射傳感器,來測量工程材料的聲發(fā)射信號,采用計數(shù)、幅度、上升數(shù)據(jù)、持續(xù)數(shù)據(jù)、能量這些傳統(tǒng)的聲發(fā)射參數(shù)。窄帶諧振式聲發(fā)射傳感器靈敏度較高并且有很高的信噪比,價格便宜,規(guī)格多,如在知曉聲源傳播基本特性、想獲取某一頻帶范圍的AE信號來進(jìn)行處理或想提高系統(tǒng)靈敏度,選擇合適型號的諧振式聲發(fā)射傳感器比較好,如聲源定位。應(yīng)當(dāng)指出所謂諧振式窄帶聲發(fā)射傳感器并不是只對某頻率信號敏感,而是對某頻率帶信號敏感,其它頻率帶信號靈敏度較低。