諧振式傳感器

利用諧振元件把被測參量轉(zhuǎn)換為頻率信號的傳感器,又稱頻率式傳感器。當(dāng)被測參量發(fā)生變化時,振動元件的固有振動頻率隨之改變,通過相應(yīng)的測量電路,就可得到與被測參量成一定關(guān)系的電信號。70年代以來諧振式傳感器在電子技術(shù)、測試技術(shù)、計算技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的基礎(chǔ)上迅速發(fā)展起來。其優(yōu)點是體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、分辨率高、精度高以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲等。按諧振元件的不同,諧振式傳感器可分為振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和壓電諧振式等(見振弦式傳感器、振筒式傳感器、振梁式傳感器、振膜式傳感器、石英晶體諧振式傳感器)。諧振式傳感器主要用于測量壓力,也用于測量轉(zhuǎn)矩、密度、加速度和溫度等。

諧振式傳感器基本信息

中文名 諧振式傳感器 外文名 vibrating element type transducer
類????型 傳感器 領(lǐng)????域 物理

諧振式傳感器

resonant sensor

諧振式傳感器造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
(除稅)
工程建議價
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
氨氮PH傳感器 XRP6714DK 查看價格 查看價格

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COD傳感器 XRP6602D 查看價格 查看價格

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SS傳感器 型號:IDT1000 查看價格 查看價格

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COD傳感器 型號:UVC1000 查看價格 查看價格

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SS傳感器 XRP7801D 查看價格 查看價格

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無磁發(fā)訊傳感器 NWM-HRI(配套WS系列水表) 查看價格 查看價格

寧波

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磁發(fā)訊傳感器 HRI40-125(配套WPD系列水表) 查看價格 查看價格

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材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價
含稅
信息價
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
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廣東2022年1季度信息價
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廣東2022年1季度信息價
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廣東2021年4季度信息價
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廣東2022年3季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
(元)
供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
CO傳感器 CO傳感器|1個 3 查看價格 廣州市熹尚科技設(shè)備有限公司 廣東   2021-11-05
CO傳感器 CO傳感器|1個 1 查看價格 深圳創(chuàng)維智慧科技有限公司 廣東   2021-11-03
氫氣傳感器 氫氣傳感器|4個 3 查看價格 深圳市華慧能節(jié)能科技有限公司 廣東   2021-08-31
土壤傳感器 土壤傳感器|1臺 1 查看價格 廣州市智雨節(jié)水科技有限公司 全國   2020-08-17
CO傳感器 CO 傳感器|1個 1 查看價格 上海格瑞特科技實業(yè)有限公司 全國   2019-09-03
定位漏水傳感器 1.名稱:定位漏水傳感器2.品牌:國產(chǎn) 3.型號:定制4.產(chǎn)地:中國5.功能參數(shù):定位漏水傳感器|2個 3 查看價格 廣州康碼仕信息科技有限公司 廣東   2020-10-23
傳感器壓力傳感器,511 1.名稱:傳感器2.規(guī)格:壓力傳感器,511|6套 3 查看價格 北京金博林科技有限公司 全國   2020-06-22
CO傳感器 CO傳感器|1個 3 查看價格 西門子(中國)有限公司 廣東   2022-09-21

諧振式傳感器常見問題

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諧振式傳感器文獻(xiàn)

諧振式MEMS溫度傳感器設(shè)計 諧振式MEMS溫度傳感器設(shè)計

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評分: 4.6

為了實現(xiàn)以頻率輸出為信號的氣象溫度測量,提出了一種基于雙層懸臂梁的諧振式微溫度傳感器?;陔p懸臂梁不同材料熱膨脹系數(shù)的差異會導(dǎo)致懸臂梁諧振頻率偏移的原理,采用壓電方式同時實現(xiàn)懸臂梁的驅(qū)動及其諧振頻率的檢測,從而實現(xiàn)溫度的測量。根據(jù)硅基傳感器的正面腐蝕工藝,設(shè)計了諧振懸臂梁的雙層結(jié)構(gòu),采用有限元方法分析了懸臂梁的諧振模態(tài)、可利用的振型及其溫度與各模態(tài)諧振頻率的關(guān)系,并利用多普勒振動系統(tǒng)對懸臂梁的諧振特性進(jìn)行了研究。實驗發(fā)現(xiàn)懸臂梁的二階彎曲振型Q值相對于其它振型是最大的,其Q值約為150;高階振型特別是二階彎曲振型適合用于以ZnO為壓電材料的溫度傳感器的頻率檢測,并且具有相對較高的靈敏度(約為20Hz/℃)和頻率溫度系數(shù)(1.9×10-4/℃)。結(jié)果表明,微型溫度傳感器能夠滿足氣象溫度檢測的要求,并具有抗干擾能力強(qiáng)、靈敏度高、信號傳輸接口簡單等優(yōu)點。

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容柵式傳感器 容柵式傳感器

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頁數(shù): 71頁

評分: 4.5

容柵式傳感器

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簡介

利用諧振元件把被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應(yīng)用方面,主要有振弦式壓力傳感器(見振弦式傳感器)、振筒式壓力傳感器(見振筒式傳感器)、振膜式壓力傳感器(見振膜式傳感器)和石英晶體諧振式壓力傳感器(見石英晶體諧振式傳感器)。

諧振式傳感器具有穩(wěn)定性好,精度高、與微機(jī)接口方便等特點而倍受重視。我們采用微機(jī)械加工技術(shù)研制了微諧振器和諧振式壓力傳感器。其特點是用單晶硅梁做諧振器、梁厚僅數(shù)微米,用靜電激勵。其振動頻率取決于器件設(shè)計、材料性能和梁的軸向應(yīng)力,并受外界壓力調(diào)制。研究工作包括器件設(shè)計;激振與拾振技術(shù);關(guān)鍵工藝包括硅健合,薄梁制備技術(shù)和封裝技術(shù),并對樣品進(jìn)行了分析測試 。研究表明,用兩端固支梁理論分析微諧振梁作為一階近似是可行的。單晶梁的工藝難度大,但工藝上仍可行。傳感器固有頻率穩(wěn)定;一般在一百千赫以上,空氣中品質(zhì)因數(shù)達(dá)數(shù)百;靈敏度高,當(dāng)壓力電O升到O·1MPa時,頻移達(dá)十幾千赫,是一種有前途的新型傳感器。 2100433B

金屬材料和其它應(yīng)用場合常使用標(biāo)稱頻率150KHz的諧振式窄帶聲發(fā)射傳感器,來測量工程材料的聲發(fā)射信號,采用計數(shù)、幅度、上升數(shù)據(jù)、持續(xù)數(shù)據(jù)、能量這些傳統(tǒng)的聲發(fā)射參數(shù)。窄帶諧振式聲發(fā)射傳感器靈敏度較高并且有很高的信噪比,價格便宜,規(guī)格多,如在知曉聲源傳播基本特性、想獲取某一頻帶范圍的AE信號來進(jìn)行處理或想提高系統(tǒng)靈敏度,選擇合適型號的諧振式聲發(fā)射傳感器比較好,如聲源定位。應(yīng)當(dāng)指出所謂諧振式窄帶聲發(fā)射傳感器并不是只對某頻率信號敏感,而是對某頻率帶信號敏感,其它頻率帶信號靈敏度較低。

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