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常用壓力傳感器原理分析 振膜式諧振壓力傳感器 振膜式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖 (a)所示。振膜為一個(gè)平膜片,且與環(huán)形殼體做 成整體結(jié)構(gòu),它和基座構(gòu)成密封的壓力測(cè)量室,被測(cè)壓力 p 經(jīng)過(guò)導(dǎo)壓管進(jìn)入壓 力測(cè)量室內(nèi)。參考?jí)毫κ铱梢酝ù髿庥糜跍y(cè)量表壓,也可以抽成真空測(cè)量絕壓。 裝于基座頂部的電磁線圈作為激振源給膜片提供激振力,當(dāng)激振 頻率與膜片固 有頻率一致時(shí),膜片產(chǎn)生諧振。沒(méi)有壓力時(shí),膜片是平的,其諧振頻率為 f0 ; 當(dāng)有壓力作用時(shí),膜片受力變形,其張緊力增加,則相應(yīng)的諧振頻率也隨之增加, 頻率隨壓力變化且為單值函數(shù)關(guān)系。 在膜片上粘貼有應(yīng)變片, 它可以輸出一個(gè)與諧振頻率相同的信號(hào)。 此信號(hào)經(jīng) 放大器放大后,再反饋給激振線圈以維持膜片的連續(xù)振動(dòng), 構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)正反饋 自激振蕩系統(tǒng)。如圖 (b)所示 壓電式壓力傳感器 某些電介質(zhì)沿著某一個(gè)方向受力而發(fā)生機(jī)械
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