ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上,利用濺射、蒸發(fā)等多種方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱(chēng)ITO)膜加工制作成的。液晶顯示器專(zhuān)用ITO導(dǎo)電玻璃,還會(huì)在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴(kuò)散。高檔液晶顯示器專(zhuān)用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進(jìn)行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專(zhuān)用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會(huì)沿浮法方向,規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時(shí),不同的靶材與玻璃間,在不同的溫度和運(yùn)動(dòng)方式下,所得到的ITO層會(huì)有不同的特性。一些廠(chǎng)家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些,更容易出現(xiàn)"麻點(diǎn)"現(xiàn)象;有些廠(chǎng)家的玻璃ITO層會(huì)出現(xiàn)高蝕間隔帶,ITO層在蝕刻時(shí),更容易出現(xiàn)直線(xiàn)放射型的缺劃或電阻偏高帶;另一些廠(chǎng)家的玻璃ITO層則會(huì)出現(xiàn)微晶溝縫。
中文名稱(chēng) | 導(dǎo)電玻璃 | 外文名稱(chēng) | ITO |
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應(yīng)用 | 濺射蒸發(fā)方法鍍上一層氧化銦錫 | 元素 | 鈉鈣基或硅硼基基片玻璃 |
長(zhǎng)度、寬度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翹曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)
微觀(guān)波紋度
倒邊C倒邊(0.05mm≤寬度≤0.40mm)R倒邊(0.20mm≤寬度≤1.00mm,曲率半徑≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻擋層厚度(350?!?0埃,550nm透過(guò)率≥90%)ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能(蝕刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)
耐堿為浸入60℃、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無(wú)水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下,膜層無(wú)損傷;或連撕三次后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。熱穩(wěn)定性:在300°C的空氣中,加熱30分鐘后,ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。
ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過(guò)率高,氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng),液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性,所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì),俗稱(chēng)"霉變",因此在存放時(shí)要防潮。
ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng),形成其它導(dǎo)電和透過(guò)率不佳的反應(yīng)物質(zhì),所以在加工過(guò)程中,盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成,晶粒在加溫過(guò)程中會(huì)裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量,所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高,電阻也增大。
ITO靶材是高純?nèi)趸熀投趸a粉末按照重量比9/1或95/5(最常用)混合均勻后,加壓燒結(jié)成陶瓷片狀,再加工成靶材成品,用作濺射鍍制TCO透明導(dǎo)電薄膜,由于氧化銦價(jià)格較高,所以I...
ITO導(dǎo)電膜玻璃的高阻抗ITO導(dǎo)電膜(PET-ITO)
高阻抗ITO導(dǎo)電薄膜PET-ITO主要應(yīng)用于移動(dòng)通訊領(lǐng)域的觸摸屏生產(chǎn)。產(chǎn)品參數(shù):面電阻:300~500 Ω/□面電阻均勻性:MD≤±3%,TD≤±6%ITO薄膜厚度:0.188±10%線(xiàn)性度(MD):...
ITO玻璃清洗:沒(méi)有涂層的一面可以按常規(guī)玻璃清洗;有涂層的一面,采用的是先濕法(乙醇。)超聲清洗過(guò),紅外烘干,然后采用干法清洗(紫外臭氧光清洗)以提高ITO表面的功函數(shù)。ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼...
ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類(lèi)液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線(xiàn)路板。
ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分,有14"x14"、14"x16"、20"x24"等規(guī)格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。
ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。
尺寸:
A、測(cè)試方法:用直尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量待測(cè)玻璃原片的長(zhǎng)度、寬度、厚度。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):測(cè)量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。
面電阻:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)試玻璃整個(gè)區(qū)域做為測(cè)試區(qū)域,然后測(cè)試區(qū)域分成九等份后再用四探針測(cè)試儀分別測(cè)試各區(qū)域的面電阻。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻平均值及電阻資料分散值,結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。
ITO層溫度性能
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片在3000C的空氣中,加熱30分鐘,測(cè)試其加溫前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。
蝕刻性能:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放入生產(chǎn)線(xiàn)所用的蝕刻液中測(cè)試其蝕刻完全的時(shí)間。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):蝕刻完全的時(shí)間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時(shí)間的一半值為合格。
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,測(cè)試其浸泡前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%為合格。
光電性能與可靠性:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù),選擇一型號(hào)制作成成品并測(cè)試其光電與可靠性性能;
B、判定標(biāo)準(zhǔn):光電性能與可靠性測(cè)試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當(dāng),并在測(cè)試產(chǎn)品型號(hào)要求范圍之內(nèi)。
C、一般來(lái)講,ITO玻璃耐堿性能良好。
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頁(yè)數(shù): 12頁(yè)
評(píng)分: 4.6
玻璃基片質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 外形尺寸: 序號(hào) 檢驗(yàn)項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn)范圍( mm) 1 長(zhǎng)度 / 寬度 ±0.20 2 厚度 1.10±0.05 0.70±0.05 0.55±0.05 0.50±0.05 0.40±0.05 3 垂直度 ≤0.10% 4 磨邊 STN/HTN 型 : 1.1mm 磨邊寬度≤ 0.60 , R 面直徑≤ 4.0 0.7mm 、0.55mm 磨邊寬度≤ 0.50 , R 面直徑≤ 3.0 磨邊寬度最大處與最小處相差 <0.15 TN/TP 型 : 1.1mm 磨邊寬度≤ 0.70 , R 面直徑≤ 5.0 0.7mm 、0.55mm 磨邊寬度≤ 0.60 , R 面直徑≤ 4.0 磨邊寬度最大處與最小處相差 <0.20 5 倒角 小角: c=1.50±0.50 大角: d=5.00±1.00 e=2.00±1.00 平面度: TN型、
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頁(yè)數(shù): 4頁(yè)
評(píng)分: 4.3
采用射頻磁控濺射和直流濺射方法在玻璃基片上低溫制備ITO-Ag-ITO薄膜,測(cè)試了玻璃的透光度、方塊電阻、電阻率,觀(guān)察了因鍍制Ag的膜層的時(shí)間的不同而引起的各項(xiàng)參數(shù)的變化規(guī)律,結(jié)果表明:隨著Ag膜厚度的增加,試樣的透過(guò)率急劇的下降;方塊電阻開(kāi)始降低的很快,但隨著薄膜厚度的增加,電阻數(shù)值下降逐漸趨于緩慢;Ag膜的電阻率也隨著厚度的增加而逐漸的降低。
ITO膜層的厚度不同,膜的導(dǎo)電性能和透光性能也不同。一般來(lái)說(shuō),在相同的工藝條件和性能相同的PET基底材料的情況下,ITO膜層越厚,PET-ITO膜的表面電阻越小,光透過(guò)率也相應(yīng)的越小。
以下是兩種不同的PET-ITO導(dǎo)電膜的參數(shù):
高阻抗ITO導(dǎo)電膜(PET-ITO)
高阻抗ITO導(dǎo)電薄膜PET-ITO主要應(yīng)用于移動(dòng)通訊領(lǐng)域的觸摸屏生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數(shù):
面電阻:300~500 Ω/□
面電阻均勻性:MD≤±3%,TD≤±6%
薄膜厚度:0.188±10%
線(xiàn)性度(MD):≤1.5%
全光線(xiàn)透過(guò)率:≥86%
表面硬度(鉛筆硬度):≥3H
熱穩(wěn)定性:(R-R0)/R: ±20%
熱收縮率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
加熱卷曲:≤10mm
低阻抗ITO導(dǎo)電膜(PET-ITO)
低阻抗ITO導(dǎo)電膜可用于對(duì)導(dǎo)電性能要求比較高的領(lǐng)域,如:用于薄膜太陽(yáng)能電池的透明電極、電致變色器件的電極材料、薄膜開(kāi)關(guān)等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù):
薄膜厚度:0.175±10 mm
霧度:<2%
寬度:406/360±2 mm
粘附:100/100
卷曲:≤10 mm
透過(guò)率:≥ 80%
表面電阻:90±15 Ω/□
面電阻均勻性:<7%
熱收縮:MD≤1.3,TD≤1.0
熱穩(wěn)定性:
高溫:80oC,120hr ≤1.3
低溫:-40oC,120hr ≤1.3
熱循環(huán):-30oC—80oC ≤1.3
熱/濕度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3
附:
ITO:
透明導(dǎo)電材料氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)
PET:
聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 化學(xué)式為COC6H4COOCH2CH2O
英文名: polyethylene terephthalate,簡(jiǎn)稱(chēng)PET。
PET的特點(diǎn):
①有良好的力學(xué)性能,沖擊強(qiáng)度是其他薄膜的3~5倍,耐折性好。
②耐油、耐脂肪、耐稀酸、稀堿,耐大多數(shù)溶劑。
③具有優(yōu)良的耐高、低溫性能,可在120℃溫度范圍內(nèi)長(zhǎng)期使用,短期使用可耐150℃高溫,可耐-70℃低溫,且高、低溫時(shí)對(duì)其機(jī)械性能影響很小。
④氣體和水蒸氣滲透率低,既有優(yōu)良的阻氣、水、油及異味性能。
⑤透明度高,可阻擋紫外線(xiàn),光澤性好。
⑥無(wú)毒、無(wú)味,安全性好。2100433B
摻錫氧化銦(IndiumTinOxide),一般簡(jiǎn)稱(chēng)為ITO。
高阻抗ITO導(dǎo)電薄膜PET-ITO主要應(yīng)用于移動(dòng)通訊領(lǐng)域的觸摸屏生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數(shù):
面電阻:300~500 Ω/□
面電阻均勻性:MD≤±3%,TD≤±6%
薄膜厚度:0.188±10%
線(xiàn)性度(MD):≤1.5%
全光線(xiàn)透過(guò)率:≥86%
表面硬度(鉛筆硬度):≥3H
熱穩(wěn)定性:(R-R0)/R: ±20%
熱收縮率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
加熱卷曲:≤10mm
低阻抗ITO導(dǎo)電膜可用于對(duì)導(dǎo)電性能要求比較高的領(lǐng)域,如:用于薄膜太陽(yáng)能電池的透明電極、電致變色器件的電極材料、薄膜開(kāi)關(guān)等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù):
薄膜厚度:0.175±10% mm
霧度:<2%
寬度:406/360±2 mm
粘附:100/100
卷曲:≤10 mm
透過(guò)率:≥ 80%
表面電阻:90±15 Ω/□
面電阻均勻性:<7%
熱收縮:MD≤1.3,TD≤1.0
熱穩(wěn)定性:
高溫:80oC,120hr ≤1.3
低溫:-40oC,120hr ≤1.3
熱循環(huán):-30oC—80oC ≤1.3
熱/濕度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3