ITO特性

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過(guò)率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性，所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱(chēng)"霉變"，因此在存放時(shí)要防潮。

ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導(dǎo)電和透過(guò)率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過(guò)程中，盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成，晶粒在加溫過(guò)程中會(huì)裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量，所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類(lèi)液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。

ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分，有14"x14"、14"x16"、20"x24"等規(guī)格;按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。

ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。

長(zhǎng)度、寬度、厚度及允差(±0.20)

垂直度(≤0.10%)

翹曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%)

微觀波紋度

倒邊C倒邊(0.05mm≤寬度≤0.40mm)R倒邊(0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻擋層厚度(350?！?0埃，550nm透過(guò)率≥90%)ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能(蝕刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)

耐堿為浸入60℃、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無(wú)水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無(wú)損傷;或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。熱穩(wěn)定性:在300°C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。

尺寸:

A、測(cè)試方法:用直尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量待測(cè)玻璃原片的長(zhǎng)度、寬度、厚度。

B、判定標(biāo)準(zhǔn):測(cè)量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。

面電阻:

A、測(cè)試方法:把待測(cè)試玻璃整個(gè)區(qū)域做為測(cè)試區(qū)域，然后測(cè)試區(qū)域分成九等份后再用四探針測(cè)試儀分別測(cè)試各區(qū)域的面電阻。

B、判定標(biāo)準(zhǔn):根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻平均值及電阻資料分散值，結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。

ITO層溫度性能

A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測(cè)試其加溫前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。

蝕刻性能:

A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測(cè)試其蝕刻完全的時(shí)間。

B、判定標(biāo)準(zhǔn):蝕刻完全的時(shí)間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時(shí)間的一半值為合格。

A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，測(cè)試其浸泡前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。

B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%為合格。

光電性能與可靠性:

A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù)，選擇一型號(hào)制作成成品并測(cè)試其光電與可靠性性能;

B、判定標(biāo)準(zhǔn):光電性能與可靠性測(cè)試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當(dāng)，并在測(cè)試產(chǎn)品型號(hào)要求范圍之內(nèi)。

C、一般來(lái)講，ITO玻璃耐堿性能良好。