步距規(guī)

市場上現(xiàn)有的步距規(guī)有以下幾種：

1、用于水平測量的臥式步距規(guī)；

2、用于垂直測量的立式步距規(guī)；

3、用于水平和垂直測量的立臥兩用步距規(guī)；

4、用于空間角度位移的測量（需要加支座），比如三坐標測量機。

由于步距規(guī)是使用廣泛的高精度實物標準器，因此能否校準這種計量器具是衡量幾何量校準實驗室能力的重要標志。國際計量局（BIPM）把步距規(guī)列入了國際比對項目，我國是比對參加國之一。計量院長度處螺紋/坐標實驗室除了開展日常的步距規(guī)校準工作，還承擔步距規(guī)的國際比對任務。

1、測量設備和環(huán)境條件

根據(jù)實驗室現(xiàn)有條件，步距規(guī)的校準可以通過兩種方法完成，一種方法是使用LeitzPMM12106坐標測量機對步距規(guī)的尺寸直接進行測量；另一種方法是結合使用坐標機和美國惠普公司的5529雙頻激光干涉儀對步距規(guī)進行測量。實驗室共有8個房間，其中有兩個房間的環(huán)境溫度設計指標為（20± 0.2）℃ ，其余房間的環(huán)境溫度設計指標為（20± 1）℃ ，步距規(guī)的校準是在環(huán)境溫度為（20± 0.2）℃的房間內(nèi)進行的。

2、測量過程和測量不確定度

（1）單獨使用坐標機的測量過程和測量不確定度

將步距規(guī)沿坐標機長軸放置，適當卡緊。以步距規(guī)基面定位塊的一個平面、基體的一個側面和步距規(guī)上部任意一點為元素，在步距規(guī)上建立三維笛卡兒坐標系。坐標機接觸式測頭對步距規(guī)上的量塊工作面進行測量，每個平面測5點，計算機計算出量塊平面之間的距離和平面之間的平行性，量塊之間的距離和平行性是評價步距規(guī)的兩個指標參數(shù)。這種測量方法的測量不確定度主要有坐標機的長度測量示值誤差、溫度傳感器的精度、環(huán)境條件等因素，這種方法的總測量不確定度約為：U=（0.6 L/600）μm，K= 2。

（2）結合使用坐標機和激光干涉儀的測量過程和測量不確定度

將激光干涉儀的反射鏡和步距規(guī)裝卡在坐標機移動工作臺上，調(diào)整光路，使激光光路與工作臺的移動方向平行。Leitz坐標測量機的測頭有一個特性，就是可以在鎖緊按鈕時，以一個恒定的偏移靠在被測物體表面，步距規(guī)的校準就是利用坐標測量機的這個特性，依次將測頭靠在步距規(guī)量塊的指定測量點上，讀入激光干涉儀的示值，換句話說就是，使用坐標測量機對步距規(guī)的每個測量面進行瞄準，通過激光干涉儀的指示值進行示值測量。為了提高測量準確度，我們使用了高準確度的氣壓計、溫度計對波長進行修正。通過計算機將這些儀器與5528激光干涉儀連機，實現(xiàn)了自動實時補償。影響這種測量方法不確定度的因素有坐標機測頭穩(wěn)定性、激光干涉儀的測長不確定度、坐標機移動工作臺移動的角擺和直線性、環(huán)境條件等因素。

根據(jù)計算和實驗得出這種測量方法的測量不確定度約為：U=（0.4 0.4L/1000）μm，K= 2。 2100433B

一般認為，量塊是最高精度的實物標準。量塊可以相互研和，組成一定長度標準，但是將幾十個量塊研和在一起，組成一個高精度的尺寸列是十分困難的，即使在一定的技術裝備幫助下，可以將幾十個量塊研和在一起，在將研和好的量塊組合體裝入步距規(guī)的基體時，也很容易破壞研和狀態(tài)，進而影響步距規(guī)尺寸列的精度。除此之外，壓緊塊對量塊組合體的壓緊力，溫度變化等因素也影響步距規(guī)的精度。

1、影響步距規(guī)精度的因素

步距規(guī)的一個長度尺寸可以公式1表達：

L= l₀ Δl₁ Δl₂ Δl₃（1）

式中，L為步距規(guī)某一尺寸的實際長度；l₀為組成步距規(guī)某一尺寸的量塊的理想長度；Δl₁為量塊的偏差值；Δl₂為量塊組合體平行性導致的偏差值；Δl₃為溫度導致的長度偏差。

（1）量塊的偏差值Δl₁

量塊的偏差是由量塊檢定的不確定度產(chǎn)生的。3等量塊的檢定不確定度是（0.1 L）μm，如果使用60個10mm的量塊組成600mm長的步距規(guī)，這個長度的偏差為：

Δl₁=

（2）量塊組合體平行性導致的偏差值Δl₂

由于研和、裝配的原因，步距規(guī)量塊工作面不可能完全平行。一般情況下，步距規(guī)量塊的可使用面積是10mm× 10mm，如果將這個面積上平行度最大偏差控制在3μm以內(nèi)，而量塊的實際使用面積控制在3mm× 3mm，則量塊組合體平行性導致的偏差值：Δl₂≈ 1.0μm （3）

（3）溫度導致的長度偏差Δl₃

步距規(guī)所使用的陶瓷量塊具有熱膨脹特性，其熱膨脹系數(shù)約4× 10^-6K^-1。對于600mm長的步距規(guī)每溫度變化1K所引起的長度偏差為：Δl₃= 2.4μm （4）

以上三個影響步距規(guī)精度的因素中，量塊的偏差值Δl₁是由于量塊檢定不確定度而產(chǎn)生的，不能避免和減少；量塊組合體平行性導致的偏差值Δl₂是由于量塊研和及步距規(guī)組裝過程所產(chǎn)生的，這項偏差可以通過不斷改進步距規(guī)的制造工藝而逐步減??；溫度導致的長度偏差Δl₃是由于材料的熱膨脹特性所產(chǎn)生的，這項偏差可以通過改善步距規(guī)使用的環(huán)境條件，和使用溫度傳感器測量工作溫度，根據(jù)材料的熱脹系數(shù)對長度尺寸進行補償而減小。

2、步距規(guī)的穩(wěn)定性

由于步距規(guī)的基體是由花崗石制造的，因此在整體上有很好的剛性和穩(wěn)定性，在使用過程中步距規(guī)不像量塊那樣嬌氣，甚至可以像對機械部件一樣對它進行裝卡。但是步距規(guī)也有薄弱環(huán)節(jié)，由于結構原理和設計的原因，步距規(guī)的基體與量塊組合體之間有一定的間隙，量塊組合體在這個間隙范圍內(nèi)具有一定的自由度，在一定外部條件影響下量塊組合體可能會發(fā)生一些變化，進而影響步距規(guī)的精度。解決這個問題有兩個辦法，一是在步距規(guī)的基體與量塊組合體之間的間隙內(nèi)加入彈性介質(zhì)，其作用是對量塊組合體的移動和變化有一定的限制，同時不完全約束其自由度；另外一個辦法是改變結構設計，使量塊組合體完全避免外力的作用，具體結構可能會很多，設計人員可以通過創(chuàng)造力自行設計。

在長度計量領域里，量塊是一種使用非常廣泛的實物標準器，很多計量器具都是用量塊進行量值溯源。但是在有些情況下，使用量塊進行計量工作會使操作人員感到不方便。例如：使用量塊對坐標機示值偏差進行校準時，由于量塊尺寸的單一性，使得每次校準都需要很多個量塊，并需要專用的裝置進行裝卡。另外，大尺寸量塊比較容易損壞，如果攜帶外出開展校準工作，很可能損壞量塊，造成損失。步距規(guī)克服了量塊的這些缺點，它的特點是多尺寸、高精度、剛性好，攜帶方便。但是這種計量器具在設計、制造和校準方面有一定的難度，到目前為止我國沒有步距規(guī)產(chǎn)品。中國計量科學研究院長度處在過去的幾年里對步距規(guī)進行了研究，試制了一種用陶瓷量塊組合體作為尺寸標準，用花崗石作為基體的步距規(guī)。這種步距規(guī)有如下特點：（1）用量塊組合出步距尺寸，這樣可以提高步距尺寸的精度，并降低造價；（2）步距規(guī)的基體和量塊組合體各自獨立膨脹或收縮，減少外部因素對步距規(guī)精度的影響；（3）陶瓷量塊的線漲系數(shù)較低，減小了環(huán)境溫度對步距規(guī)精度的影響。

1、步距規(guī)的外部特征

步距規(guī)主要由基體、基面定位塊、量塊組合體和側蓋組成，其外形如圖1所示。量塊組合體左邊的第一個量塊與基面定位塊的一個平面研和，基面定位塊具有很高的平行度，它的另一個平面可以作為步距規(guī)的一個基準平面，這種結構可以使步距規(guī)有一個較大的基準平面，以方便使用。量塊組合體是由一定數(shù)量的量塊研和而成的，它形成了步距規(guī)的實物標準尺寸。通過使用各種尺寸的量塊可以組合出不同步距的量塊組合體，從而形成不同步距尺寸的步距規(guī)，以滿足不同用戶的要求。步距規(guī)的基體是用花崗石制成的，有良好的穩(wěn)定性和剛性，方便使用和運輸。

2、步距規(guī)的內(nèi)部結構

圖2表示了步距規(guī)的內(nèi)部結構。

量塊組合體是安裝在步距規(guī)基體內(nèi)部的，壓緊塊通過兩根拉絲將量塊組合體壓緊在基面塊上，壓緊塊的中間有一個凸起的球體，這個球體將壓緊力作用在量塊組合體上，使壓緊力通過量塊組合體的軸線。基面塊、量塊、拉絲和壓緊塊構成了一個獨立的系統(tǒng)，由于拉絲很細，可以視為彈性體，當溫度發(fā)生變化時，量塊按陶瓷的熱漲系數(shù)自由膨脹或收縮?；w與量塊組合體之間有一定的間隙，這樣在溫度發(fā)生變化時，基體和量塊組合體各自獨立膨脹或收縮，相互之間沒有作用力，提高了步距規(guī)的精度和穩(wěn)定性。

主要用于檢測線紋尺、光柵尺、容柵尺、以及激光干涉儀等一維線紋標準器及量塊、步距規(guī)等一維端面標準器。

TESA-HITE or TESA MICRO-HITE,無論手動還是自動，都不需要專業(yè)的技能，幾乎所有生產(chǎn)線的人可以輕松的掌握使用。

SCS校驗證書

TESA-HITE和TESA MICRO-HITE生產(chǎn)線有了自己的由SCS認證合格的溫度控制實驗室，因此，每一款測高儀都包含有免費的SCS的校驗證書。

幾乎可以忽略的溫度變化(20°C ±0,1°)，以及采用高精度的步距規(guī)，在校驗過程中可以做到最低的測量不確定度。

第一步，所有已裝配完成的測高儀系統(tǒng)誤差的自動補償所需要的數(shù)值將通過計算機輔助精度(CAA)獲得。

一旦計算完畢，每個單一的補償值將被存儲在測高儀內(nèi)存中以便在校驗中自動的對測量值做出校正修改。

最后，基于通過測量另外一個步距規(guī)所獲得的一系列測量數(shù)據(jù)得到相關的校驗證書，校驗步驟和SCS都確保每一款測高儀可以追溯到國家標準。2100433B

TESA-HITE或TESA MICRO-HITE測高儀幾乎可以忽略的溫度變化(20°C ±0,1°)，采用高精度的步距規(guī)，在校驗過程中可以做到最低的測量不確定度。所有已裝配完成的測高儀系統(tǒng)誤差的自動補償所需要的數(shù)值將通過計算機輔助精度(CAA)獲得。一旦計算完畢，每個單一的補償值將被存儲在測高儀內(nèi)存中以便在校驗中自動的對測量值做出校正修改。