超純水系統(tǒng)簡介
超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水,如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無硬度,口感較甜,又常稱為軟水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
1: 預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn),電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
超純水系統(tǒng)反滲透(膜分離)法超純水制造技術(shù)
反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來,方向與滲透方向相反,可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
①不需加熱、沒有相變;
②能耗少;過程連續(xù)穩(wěn)定;
③設(shè)備體積小、操作簡單,適應(yīng)性強;
④對環(huán)境不產(chǎn)生污染。
反滲透超純水系統(tǒng)根據(jù)不同的源水水質(zhì)采用不同的工藝。一般自來水經(jīng)一級反滲透系統(tǒng)處理后,產(chǎn)水電導(dǎo)率<10-20μS/cm,經(jīng)二級反滲透系統(tǒng)后產(chǎn)水電導(dǎo)率<5μS/cm甚至更低,在反滲透系統(tǒng)后輔以離子交換設(shè)備或EDI設(shè)備可以制備超純水,使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后,產(chǎn)水質(zhì)量會下降。
超凈過濾器裝置,濾筒用純聚丙烯制成活性碳,清除無機、有機微量污染的離子交換樹脂(核級別)和吸附器樹脂消毒過濾器,氣孔大小0.2μm 紫外光氧化裝置作用,放射波長185、254nm超濾器模塊 ■組件用高...
超純水機的離子交換是一種特殊的固體吸附過程,它是由離子交換劑的電解質(zhì)溶液中進行的。一般的離子交換劑是一種不溶于水的固體顆粒狀物質(zhì),即離子交換樹脂。它能夠從電解質(zhì)溶液中吸取某種陽離子或者陰離子,而把自身...
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→...
導(dǎo)電率:0.055 μS/cm
細菌含量:1 CFU/ml
TOC: 3-10 ppb*
除熱原
性能:最大每分鐘1.5升
超凈過濾器裝置,濾筒用純聚丙烯制成
活性碳,清除無機、有機微量污染的離子交換樹脂(核級別)和吸附器樹脂
消毒過濾器,氣孔大小0.2μm
紫外光氧化裝置作用,放射波長185、254nm
超濾器模塊
■組件用高質(zhì)量材料制成
超純水循環(huán)
監(jiān)控給水導(dǎo)電率
監(jiān)控超純水極限數(shù)值
■給水
用離子交換、反滲透或蒸餾,法預(yù)先處理水
推薦的導(dǎo)電率為0,1-5μS/cm
給水溫度1-25℃
給水壓力2-6巴
*按給水量而定
■凈化水
導(dǎo)電率0.005μS/cm(18.2 MΩ-cm)
TOC值 10 ppb*(編號08.2202/08.2203)
TOC值 3ppb*(編號08.2204/08.2205)
流速最大為每分鐘1.5升
細菌含量1CFU/ml
粒子(0.2μm),少于每亳升1μm
除熱原
產(chǎn)水量100%
*按給水量而定
■結(jié)構(gòu)
高純水系統(tǒng)可安裝成臺式或墻式,組成如下:
數(shù)字顯示外殼
低噪聲輸送、循環(huán)泵
高純水抗壓減壓器
塑料螺線管閥,用作自動沖洗閥
PVDF 排除活栓、0.2μm消毒過濾器
對所有送水零件進行消毒
所有送水組件均用聚丙烯或高質(zhì)量天然物質(zhì)制成
除熱源(僅限貨號08.2203/08.2204)
UV裝置,分解有機物,有效波長185nm/254nm
安裝了過濾器裝置的TKA高純水系統(tǒng)生產(chǎn)出的高純水幾乎不含TOC。由于采取了不同的高純制備措施,因而盡可能減少了有機和無機成分。接線迅速接合,過濾器裝置安裝非常簡單。
■過濾器裝置組成
天然PP材料――避免退色
活性碳――去除有機物
專用離子交換樹脂(核級別)――去除無機離子
吸附器樹脂――去除溶解有機
低有機物除熱源型
低有機物型
除熱源型
基礎(chǔ)應(yīng)用型
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。
單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。食品工業(yè)用水:飲用純凈水、礦泉水、資料、啤酒、乳業(yè)等。海水、苦咸水淡化:海島、艦船、高鹽堿地區(qū)生活用水改善樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水:星級賓館、機場、房產(chǎn)物業(yè)純水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)等化工行業(yè)工藝用水:化工冷卻、化肥、化學(xué)藥劑制造工業(yè)產(chǎn)品制造用水:汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細加工清洗等電力行業(yè)鍋爐補給水:熱力、火力發(fā)電鍋爐、中、低壓鍋爐動力系統(tǒng) 精細化工、精尖學(xué)科用水格式:pdf
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超純水系統(tǒng) 1 超純水系統(tǒng) 設(shè) 計 方 案 目 錄 一、設(shè)計條件及出水水質(zhì) 3 超純水系統(tǒng) 2 二、設(shè)計基本資料 4 三、主要組件設(shè)備說明 5 四、工藝方案流程及說明 11 五、調(diào)試及售后服務(wù)內(nèi)容 12 一、設(shè)計條件及出水水質(zhì) 1.1 進水主要水質(zhì)指標(biāo):東莞市自來水 1.2 用戶對出水要求: 出水量:超純水 9 噸/小時 出水水質(zhì):主機系統(tǒng)超純水:電阻率≥ 18MΩ.㎝@25℃; 出水溫度:常溫。 1.3 水質(zhì)檢測:隨機自帶有電導(dǎo)率儀,出水電導(dǎo)率在線顯示。 超純水系統(tǒng) 3 1.4 設(shè)備最終產(chǎn)
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超純水系統(tǒng)工藝及其施工 半 導(dǎo)體技術(shù)天地 i i \'m$t g v(I . 半導(dǎo)體技術(shù)天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超純水系統(tǒng)總體介紹 半導(dǎo)體 ,芯片 ,集成電路 ,設(shè)計 ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測 試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業(yè)的發(fā)展,在芯片的生產(chǎn)加工過程中,對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保 證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,高純水也是 其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒 度都有很高要求的超純水。 超純水系統(tǒng)總體來說一
CENTRA 中央超純水系統(tǒng)
一、CENTRA 中央超純水系統(tǒng)的特點如下:
1、可靠的水質(zhì)
· 獨特的消毒設(shè)計,可以凈化 RO 膜和其配送環(huán)路
· 消毒過程快速而方便
· 定期消毒提醒通知
2、經(jīng)濟型設(shè)計
· 獨特內(nèi)置水箱
· 系統(tǒng)帶有易于開啟的艙門及腳輪,可以安放在臺面下
3、獨特的系統(tǒng)操作保護
· 易于使用的實驗樓管理系統(tǒng)
· 自動報警
· 用"電子鑰匙"來限制對重要控制設(shè)定的訪問
4、節(jié)能型配送系統(tǒng),發(fā)熱量低
· 延長組件壽命
· 降低電力成本
· 減少發(fā)熱,從而抑制微生物滋生
二、傳統(tǒng)的集中式實驗室制水系統(tǒng)與 CENTRA 中央純水解決方案的對比。
傳統(tǒng)的集中式系統(tǒng) | CENTRA 解決方案 | |
純度 | 無法保證水質(zhì),因為傳統(tǒng)的集中式系統(tǒng)大水箱設(shè)計易于被細菌污染的水箱。 | CENTRA 系統(tǒng)旨在提供高效穩(wěn)定的純水,變頻泵可以根據(jù)不同要求控制環(huán)路中的水流量,因此避免了大型儲水箱的需求。 |
經(jīng)濟性 | 對空間的使用不經(jīng)濟;集中式水處理和配送系統(tǒng)通常會在與實驗室分開的房間中占用大量面積(比如廠區(qū)或洗滌室)。 更高的成本 – 如果實驗樓中僅有一個或幾個實驗室中的應(yīng)用要求高流量,那么所有實驗室(比如那些要求低流量或低使用率的實驗室)也必須采用更大型、更復(fù)雜的純化和配送設(shè)計。這通常會導(dǎo)致更高的成本,因為此時需要采用更大直徑的管道,壓力和流量也要有所增加。 | 緊湊型設(shè)計使得 CENTRA 系統(tǒng)可以直接安放在實驗室中或其附近,因此只會占用少量空間。CENTRA 系統(tǒng)可以安放在更靠近應(yīng)用的地方,這有助于縮短管道、避免使用大直徑管道并且最大限度減小整個環(huán)路中的壓力,因此可以節(jié)省成本。 |
靈活性 | 僵硬的設(shè)計;當(dāng)各個實驗室的純水用量發(fā)生變化時,必須將整個建筑中的集中式系統(tǒng)都升級或降級。 | 模塊化設(shè)計使得系統(tǒng)可以為各個實驗室單獨提供最理想的流量,也就是說,CENTRA 系統(tǒng)可以靈活地滿足從高流量一直到低使用率的各種要求。 |
可靠性 | 如果集中式系統(tǒng)發(fā)生故障,那么在很少有備用系統(tǒng)的情況下,實驗樓中的所有實驗室都將無法獲得"自來水式"的純水。 | CENTRA 系統(tǒng)可以通過互連來實現(xiàn)完全網(wǎng)絡(luò)化,因此,即使在發(fā)生故障的情況下,仍然能正常供水。 |
電路板超純水系統(tǒng)是將水通過陽離子交換樹脂(常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂),則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H 被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應(yīng)的無機酸。
供應(yīng)流量達到每分鐘4 升的 II、III級水
沈陽實驗室超純水適用于普通實驗室應(yīng)用的純度大于 15 MΩ-cm 的 II、III級水
可以連接至小型循環(huán)管網(wǎng)來供應(yīng)超純水系統(tǒng)和取水端
通過RO膜和循環(huán)管網(wǎng)消毒來確保水質(zhì)的可靠性
樹脂配制獨特,能夠延長純化組件壽命和保持低運行成本
緊湊式設(shè)計提高了靈活性,易于安裝在工作臺下