垂直退火爐技術(shù)指標

8inch硅晶圓高溫氧化與SOI晶圓高溫加固；工作溫度：600~1200 ℃；恒溫區(qū)長度：860 mm；恒溫區(qū)控溫精度：±1℃；升降溫速度：max：5 ℃/min；氮氣（大流量）：Max：30 SLM(升/分鐘); 氮氣（小流量）： Max：300 SCCM(毫升/分鐘)；氧氣（大流量）：Max：20 SLM(升/分鐘)；氧氣（小流量）： Max：1000 SCCM(毫升/分鐘)；氫氣： Max：20 SLM(升/分鐘)；Trans_LC Carrier： 氮氣(1 SLM)(升/分鐘)；氧化層均勻性：干氧300 ?,1000 ?,1500 ?2%；濕氧0.5 μm,1.0 μm&2.0 μm2%；金屬要求： Cu/Cr/Fe/Ni/Al/Zn/Na/Ca5E10 atmos/CM2；顆粒要求：Particle 30ea (0.16μm) per wafer。

用于8inch硅晶圓高溫氧化與SOI晶圓高溫加固；工作溫度：600~1200 ℃；恒溫區(qū)控溫精度：±1℃；升降溫速度：max：5 ℃/min；可通入氮氣、氧氣、氫氣： 、Trans_LC Carrier等工藝氣體；氧化層均勻性：干氧、濕氧氧化層均優(yōu)于2%；表面金屬5E10 atmos/CM2；表面顆粒：Particle 30ea (0.16μm) per wafer。 2100433B

退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調(diào)質(zhì)爐，主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應(yīng)力退火、時效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環(huán)。退火爐是一種新型換熱設(shè)備。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

真空退火爐臥式真空退火爐

用途：本系列臥式真空退火爐主要應(yīng)用于特種材料、不銹鋼、硒鋼片鐵芯、貴金屬零件、銀銅復(fù)合鉚釘及片件的真空退火處理。

設(shè)備特點：

1. 本設(shè)備專用于小零件等在真空狀態(tài)下的退火；

2. 爐罐密封性好，有效的避免了工件在退火處理中的表面氧化、生銹，提高了處理質(zhì)量；

3. 保溫爐體可向后移動，退火完成后，在保持真空狀態(tài)下提高冷卻速度 。

真空退火爐井式真空退火爐

用途：井式真空退火爐系列產(chǎn)品采用預(yù)抽真空氣體保護方式工作，操作時先將爐內(nèi)抽至一定真空度后爐內(nèi)充入高純氮或氨分解氣體進行保護加熱，從而達到少無氧化加熱、無脫碳光亮的目的。由于攪拌風機的使用，該爐具有較高的爐溫均勻性。設(shè)備主要應(yīng)用于機械零件、硅鋼片、銅材、紫銅、線材等的無氧化光亮退火。

設(shè)備特點：

1、加熱元件均布爐膛內(nèi)，分布合理

2、爐蓋可設(shè)有熱風循環(huán)裝置，可使爐罐內(nèi)的氣體及溫度均勻；

3、可配真空泵抽氣，增加換氣速度，氣體更純凈；

4、有保護氣體，經(jīng)退火后產(chǎn)品無氧化，消除加工應(yīng)力，提高鐵心磁性能，降低鐵損；

5、爐溫控制采用PID自動調(diào)功平滑控溫。