（1） 極限真空為3×10-4 Pa;在真空室下方設(shè)一個(gè)氣體截流閥，截流閥連續(xù)可調(diào)，控制反應(yīng)室的工作氣壓。襯底可升降200mm，襯底旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為30～60轉(zhuǎn)/分;基片加熱為700±1℃; （2） 噴淋頭分為三層結(jié)構(gòu)，上部水冷，噴口處要求絕緣;Zn源管可拆卸，便于清洗， Zn源管與O源孔位的加工，必須使布?xì)饩鶆?四周有石英罩，距樣品臺(tái)邊緣距離20-30mm，電離電極側(cè)進(jìn)口。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-1500 490×380×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-6000 980×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-9000 980×1140×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-22500 2000×1500×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-33000 2000×2000×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-3000 490×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-4500 980×566×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-7500 980×945×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
8000火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng) 64點(diǎn)LED顯示面板三卡 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 湛江市2005年1月信息價(jià)
8000火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng) 65點(diǎn)LED顯示面板 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 湛江市2005年1月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2022年3月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2021年12月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2021年11月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2022年10月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2022年9月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2022年7月信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo) 40層|04.2m層高 1 查看價(jià)格 0 廣東  佛山市 2009-05-12
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-09-29
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-10-15
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 參數(shù)配置詳見(jiàn)附件|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 青島聚創(chuàng)環(huán)保集團(tuán)有限公司 全國(guó)   2020-09-21
等離子體空氣凈化消毒機(jī) 等離子體空氣凈化消毒機(jī)1.型式:等離子體空氣凈化消毒機(jī)2.規(guī)格:體積≤60m3|20只 1 查看價(jià)格 廣東岑安機(jī)電有限公司 廣西   2022-07-04
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱:光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-20-50(2)規(guī)格:風(fēng)量:8000-14000m3/h功率:20W/220V|5臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08
光等離子除臭系統(tǒng) 1、處理氣量:11000m3/h 臭氧泄漏量0.05mg/m3,2、含(1套設(shè)備殼體1.7m×1.2m×1.2m,δ=1.5mm、50根離子燈λ=185-256nm,BOSO810T5VHU/4PF、50個(gè)鎮(zhèn)流器SX05-800-2/75U 150W、|1套 1 查看價(jià)格 佛山市綠娃娃環(huán)保設(shè)備有限公司 全國(guó)   2020-05-22
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱:光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-20-100(2)規(guī)格:風(fēng)量:14000-26000m3/h功率:20W/220V|10臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08

薄膜材料。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)常見(jiàn)問(wèn)題

  • 低溫等離子體的技術(shù)開(kāi)發(fā)

    國(guó)內(nèi)外企業(yè)利用低溫等離子體技術(shù)在環(huán)保方面開(kāi)發(fā)出了“低溫等離子體有機(jī)廢氣凈化設(shè)備”、“低溫等離子體廢水凈化設(shè)備”及“低溫等離子體汽車尾氣凈化技術(shù)”。1、低溫等離子體在保鮮、殺菌、除臭等方面產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，目前...

  • 低溫等離子體技術(shù)是什么？

    低溫等離子體物理與技術(shù)經(jīng)歷了一個(gè)由60年代初的空間等離子體研究向80年代和90年代以材料為導(dǎo)向研究領(lǐng)域的大轉(zhuǎn)變，高速發(fā)展的微電子科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、能源與材料科學(xué)等，為低溫等離子體科學(xué)發(fā)展帶來(lái)了新的機(jī)遇和...

  • 什么是等離子體膜

    等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同，它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性［1，2］．有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多［3，4］，本室已...

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)文獻(xiàn)

氣相沉積 氣相沉積

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氣相沉積

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過(guò)濾真空弧等離子體沉積成膜系統(tǒng)的磁過(guò)濾管道傳… 過(guò)濾真空弧等離子體沉積成膜系統(tǒng)的磁過(guò)濾管道傳…

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頁(yè)數(shù)： 5頁(yè)

評(píng)分： 4.5

介紹了采用90°螺旋管的過(guò)濾真空弧等離子體沉成膜系統(tǒng),對(duì)磁過(guò)濾管道的傳輸特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,實(shí)驗(yàn)觀察到,弧源聚焦磁場(chǎng)和過(guò)濾管道正偏壓越高,過(guò)濾管道的傳輸效率越高,但聚焦磁場(chǎng)高過(guò)一定閾值時(shí),會(huì)出現(xiàn)起弧不穩(wěn)現(xiàn)象,此閾值的大小同過(guò)濾管道磁場(chǎng)及偏壓的大小有關(guān),過(guò)濾管道正偏壓在40￣60V范圍內(nèi),管道磁場(chǎng)在7￣11mT時(shí)傳輸效率較高,偏壓越高達(dá)到最佳傳輸效率所需的過(guò)濾管道磁場(chǎng)越高。

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低溫成膜，溫度對(duì)基片影響小，可制備厚膜，膜層成分均勻；等離子體對(duì)基片有清洗作用；該設(shè)備主要應(yīng)用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)，用來(lái)制作SiO2、SiN4、非品Si等介電、半導(dǎo)體及金屬膜。

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直徑450*H400mm，真空極限優(yōu)于6.7*10-5Pa，頻率13.56MHz.低溫成，溫度對(duì)基片影響小，可制備厚膜，膜層成分均勻，等離子體對(duì)基片有清洗作用。

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低溫工藝，可在溫室下進(jìn)行SiO2淀積。

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