薄膜材料。
(1) 極限真空為3×10-4 Pa;在真空室下方設一個氣體截流閥,截流閥連續(xù)可調(diào),控制反應室的工作氣壓。襯底可升降200mm,襯底旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為30~60轉(zhuǎn)/分;基片加熱為700±1℃; (2) 噴淋頭分為三層結(jié)構(gòu),上部水冷,噴口處要求絕緣;Zn源管可拆卸,便于清洗, Zn源管與O源孔位的加工,必須使布氣均勻;四周有石英罩,距樣品臺邊緣距離20-30mm,電離電極側(cè)進口。
等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同,它能形成含有活性基團的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu),從而具有良好的均勻性及對基質(zhì)的附著性[1,2].有關采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報道不多[3,4],本室已...
冷卻液的作用把點火產(chǎn)生的高溫通過水道傳遞到散熱器,再由風扇強制通風散熱,把水溫溫度始終控制在110度以內(nèi)!
等離子體又叫做“電漿”,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中,氣體放電法比加熱的辦法更加簡便高效,如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...
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道閘 主要功能: 功能一,手動按鈕可作 ‘升’‘降’及‘?!僮鳌o線遙控可作 ‘升’‘降’‘?!皩κ謩影粹o的 ‘加鎖’‘解鎖 ’操作 ; 功能二,停電自動解鎖,停電后可手動抬桿 ; 功能三,具有便于維護與調(diào)試的 ‘自檢模式 ’; 道閘 道閘又稱擋車器,最初從國外引進,英文名叫 Barrier Gate ,是專門用于道路上限 制機動車行駛的通道出入口管理設備 ,現(xiàn)廣泛應用于公路收費站、 停車場系統(tǒng) 管理車 輛通道,用于管理車輛的出入。電動道閘可單獨通過無線遙控實現(xiàn)起落桿,也可以通過 停車場管理系統(tǒng) (即 IC 刷卡管理系統(tǒng))實行自動管理狀態(tài),入場取卡放行車輛,出場 時,收取 停車費 后自動放行車輛。
低溫成膜,溫度對基片影響小,可制備厚膜,膜層成分均勻;等離子體對基片有清洗作用;該設備主要應用等離子體化學氣相沉積技術(shù),用來制作SiO2、SiN4、非品Si等介電、半導體及金屬膜。
直徑450*H400mm,真空極限優(yōu)于6.7*10-5Pa,頻率13.56MHz.低溫成,溫度對基片影響小,可制備厚膜,膜層成分均勻,等離子體對基片有清洗作用。
低溫工藝,可在溫室下進行SiO2淀積。