低溫等離子體

俄羅斯科學院西伯利亞分院理論與應用力學研究所在朱可夫院士的領導下于1990-2000年陸續(xù)出版了一套《低溫等離子體叢書》，這是低溫等離于體方面的巨著。鑒于其重要性，譯者翻譯了第20卷，以期對我國等離子體領域的研討與應用有幫助?！兜蜏氐入x子體：等離子體的產生、工藝、問題及前景》是《低溫等離子體叢書》的結尾卷，總結了20世紀低溫等離子體的理論與應用，既提出了存在的問題，又對今后的研究進行了展望。

《低溫等離子體：等離子體的產生、工藝、問題及前景》可供低溫等離子體領域的科研人員，等離子體化工設備的設計者、工程師以及相關專業(yè)的本科生和研究生參考。

譯者序

前言

朱可夫傳記

第一部分 關于朱可夫院士

第1章 人物、時代、事件

第2章 學生、同事及朋友對朱可夫的懷念

第二部分 低溫等離子體發(fā)生器

第3章 等離子體發(fā)生器中紊流流動的一些理論問題

第4章 電弧等離子體發(fā)生器中陰極表面自穩(wěn)定的數學模型

第5章 電弧等離子體陽極特性的數值分析

第6章 在電弧放電陰極上的電流與傳熱

第7章 水蒸氣等離子體的電弧產生

第8章 用于CF4的不同類型等離子體發(fā)生器的熱性能和動力性能

第9章 高頻放電等離子體物理的研究及其實際應用

第10章 模擬氬硅烷高頻等離子體的化學成分

第11章 帶超聲速氣流的輝光放電等離子體發(fā)生器

第三部分 等離子體工藝過程

第12章 富勒烯與低溫等離子體

第13章 利用等離子體發(fā)生器來研究超聲速氣流的控制

第14章 等離子體表面鍍膜的成就

第15章 基于等離子體噴涂理論和模型實驗的合金水滴熱物理碰撞機制

第16章 合成與利用氮化硼領域中的新高潮

第17章 加工碳氫化合物原料的等離子體化學工藝、有毒廢物的無害化和利用

第18章 對固體廢物的等離子體熱加工

第19章 在燃燒煤粉的汽化過程中利用等離子體動力工藝改善生態(tài)及經濟指標

第20章 煤的等離子體熱化學準備工藝中分子動力學及熱力學計算

第21章 將等離子體燃燒系統(tǒng)應用于水煤燃料的燃燒

第22章 借助等離子體化學產生納米材料涂層的鑄型和砂芯來提高鑄件的品質

第23章 研究強脈沖高頻場和金屬及合金的相互作用

第24章 等離子體發(fā)生器中圓柱陰極腐蝕的熱機制

參考文獻

結束語

作　者：（俄國）B.M.弗爾曼，N.M.扎什京 著 邱勵儉 譯

叢 書 名：現(xiàn)代物理基礎叢書 冷配在線

ISBN：9787030313416

出版時間：2011-06-01

版　次：1

頁　數：367

裝　幀：平裝

開　本：16開

第一章等離子體化學基礎

第一節(jié)等離子體空間的化學現(xiàn)象

一、等離子體

二、等離子體的生成與特性

三、低溫等離子體

第二節(jié)等離子體放電系統(tǒng)及反應裝置

一、等離子體放電系統(tǒng)

二、等離子體反應裝置

第三節(jié)等離子體化學的歷史和發(fā)展

第四節(jié)等離子體化學的應用領域和前景

一、等離子體化學的應用領域

二、等離子體化學的應用前景

參考文獻

第二章等離子體狀態(tài)與等離子體化學反應

第一節(jié)等離子體的診斷方法及其狀態(tài)

一、等離子體的診斷方法

一、等離子體狀態(tài)

三、幾種氣體的等離子體狀態(tài)

第二節(jié)等離子體中生成物的鑒定與定量

一、發(fā)光分光分析法

二、光吸收分光分析法

三、激光分光法

四、質量分析法

第三節(jié)原子、分子過程與等離子體參數

一、電子束法測定碰撞截面積

二、電泳法測定速度常數

三、等離子體參數的測定

第四節(jié)等離子體化學反應

一、等離子體有機化學反應

二、等離子體無機化學反應

三、等離子體化學的特性與放射化學

第五節(jié)氣一固相等離子體化學反應

一、等離子體與固體的反應類型

二、等離子體一固體表面的相互作用

三、等離子體與固體反應的實例

參考文獻

第三章等離子體聚合

第一節(jié)概述

一、等離子體聚合的歷史

二、等離子體聚合的特征

三、等離子體聚合的操作條件

四、等離子體聚合控制方法的改進

第二節(jié)等離子體聚合裝置

一、等離子體聚合裝置設計基礎

二、等離子體聚合裝置

第三節(jié)等離子體聚合反應機理

一、氣相空間聚合理論與固體表面聚合理論

二、離子聚合理論與自由基聚合理論

三、CAP機理與原子聚合觀點

第四節(jié)等離子體聚會的基本過程

一、苯乙烯等離子體聚合的基本過程

二、乙烯、乙炔等離子體聚合的基本過程

三、甲烷等離子體聚合的基本過程

四、單體結構與聚合基本過程的關系

參考文獻

第四章等離子體聚合動力學

第一節(jié)等離子體聚合速度

一、等離子體聚合速度的影響因素

二、等離子體聚合速度的測定

第二節(jié)有機化合物的等離子體聚合行為

一、飽和烴

二、不飽和烴

三、氟代烴

四、乙烯基單體

五、有機金屬化合物

第三節(jié)等離子體聚合的動力學模型

一、活性基團密度模型

二、L-B-S(Lam-Baddour-Stancell）模型

參考文獻

第五章等離子體聚合物的結構與性質

第一節(jié)等離子體聚合物的形態(tài)與聚合條件

一、等離子體聚合物的物質狀態(tài)與聚合條件

二、等離子體聚合物的表面形態(tài)與聚合條件

第二節(jié)等離子體聚合物的結構特征及其解析方法

一、等離子體聚合物的結構特征

二、等離子體聚合物結構的解析方法

第三節(jié)等離子體聚合物的結構與性質分析

一、等離子體聚合碳氫化合物的結構與性質分析

二、氟代烴等離子體聚合物的表面元素分析

三、等離子體聚會膜的介電松弛分析

四、苯乙烯等離子體聚合膜的性質分析

參考文獻

第六章等離子體聚合物的應用

第一節(jié)分離膜的應用

一、反滲透膜的應用

二、氣體分離膜的應用

三、液體分離膜的應用

四、其他分離膜的應用

第二節(jié)表面保護膜的應用

一、金屬保護膜的應用

二、表面硬化膜的應用

三、耐磨損性膜的應用

第三節(jié)光學材料的應用

一、光透射性及其應用

二、光IC元件的應用

三、核聚變用燃料微球的應用

第四節(jié)醫(yī)用材料的應用

一、生體適應性材料的應用

二、藥劑緩釋的應用

三、防止增塑劑溶出的應用

第五節(jié)電子材料的應用

一、絕緣體的應用

二、半導性與功能元件的應用

三、等離子體聚合膜的導電性

四、精細加工抗蝕劑膜的應用

五、光記錄材料的應用

六、等離子體聚會無機化合物薄膜的應用

參考文獻

第七章等離子體引發(fā)聚會

第一節(jié)等離子體引發(fā)聚合的原理與方法

一、等離子體引發(fā)聚合的原理

二、等離子體引發(fā)聚合的方法

第二節(jié)乙烯基單體的等離子體引發(fā)聚合

一、丙烯酸系單體的聚合·共聚·乳化聚合

二、等離子體引發(fā)水溶液聚合與本體共聚物的合成

三、高吸水性高吸附性樹脂

四、等離子體引發(fā)嵌段共聚物的合成

五、疏水性膜的等離子體引發(fā)接技聚合

六、等離子體引發(fā)聚合的酶固定化方法

七、等離子體引發(fā)接技聚合對纖維的改性

第三節(jié)等離子體還原反應與聚合機理

第四節(jié)環(huán)醚的固相開環(huán)聚合

第五節(jié)無機環(huán)狀化合物的開環(huán)聚合

一、膦嗪化合物的開環(huán)聚合

二、有機硅化合物的開環(huán)聚合

參考文獻

第八章等離子體表面處理

第一節(jié)概述

一、等離子體表面處理的特征

二、等離子體表面處理裝置

三、等離子體表面處理條件

第二節(jié)等離子體表面處理活性化層的生成

一、表面層自由基的生成與光能的作用

二、表面自由能的變化及潤濕性與黏接性

三、表面引人特定官能團

四、表面交聯(lián)層的形成

五、蝕刻及粗化面的形成

六、等離子體炬表面處理

第三節(jié)電暈放電表面處理

一、概述

二、電暈放電對高聚物表面的作用

三、電暈放電表面處理的應用及存在的問題

第四節(jié)等離子體表面處理的應用

一、印刷、涂層、部接加工的應用

二、表面保護膜的應用

三、表面接枝改性的應用

四、醫(yī)用材料的應用

五、電子顯微鏡的應用

六、在纖維、紡織品加工中的應用

參考文獻

第九章氧等離子體化學及應用

第一節(jié)氧等離子體化學概述

一、原子態(tài)氧的生成機理

二、等離子體氧化反應

第二節(jié)氧等離子體的應用

一、氧等離子體在分析化學中的應用

二、用氧等離子體保存無機物質的精細結構

三、氧等離子體在電子工業(yè)中的應用

參考文獻

第十章等離子體CVD技術

第一節(jié)等離子體CVD膜

第二節(jié)P－SiN膜的基本特性

一、生成參數與膜特性

二、電學性質

三、膜的組成

四、膜中的氫

第三節(jié)P－PSG、P-Sic的基本膜特性

一、生成參數與膜特性

二、電學性能

三、膜的組成

第四節(jié)等離子體CVD技術的發(fā)展動向

參考文獻

附錄

1．壓力單位換算表

2．氫、氧及氮分子的離解常數K，與離解度χ

3．元素及化合物的電離能

4．原子的亞穩(wěn)態(tài)能級

5．彭寧（Penning）離子化速度常數kM與碰撞截面積σM（300K）

6．各種等離子體反應中Gibbs自由能的變化ΔG與溫度的相關性