干涉顯微鏡?6JA
簡介:干涉顯微鏡6JA是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。儀器配以各種附件,還能測量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面,同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校,科學研究等單位。
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利用光波干涉原理 (見平晶、激光測長技術)將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數高 (可達500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量,以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025~0.8微米的表面粗糙度。
光學基礎 2
金相樣品制備 2
相襯顯微鏡 1
偏振光顯微鏡 1
微分干涉顯微鏡 1
共聚焦激光掃描顯微鏡 1
晶體學知識 2
X射線物理學基礎 2
布拉格定律 2
X射線衍射強度 2
粉末衍射 2
物相分析 2
點陣常數精確測定 2
應力分析 2
透射電鏡原理和構造 2
透射電鏡樣品制備(包含FIB) 2
電子衍射原理(包含菊池線) 4
衍射花樣標定 2
衍襯成像原理 2
晶體缺陷分析 4
相襯原理和高分辨電子顯微術(包含Z-襯度相) 4
掃描電子顯微分析 4
電子背散射衍射分析 4
譜學(EDS/WDS) 2
先進表征方法(如3DAP) 2
教學實踐 8 2100433B
項目一 內、外徑及長度的測量
實驗一 使用游標類和螺旋測微類量具
實驗二 用內徑百分表測量孔
實驗三 用機械比較儀和立式光學計測量軸
實驗四 用臥式萬能測長儀測量孔徑
實驗五 用千分尺測量殘缺軸、孔
實驗六 用游標卡尺和千分表測量殘缺軸、孔
項目二 表面粗糙度的檢測
實驗一 用樣板比較法確定表面粗糙度
實驗二 用雙管顯微鏡測量表面粗糙度
實驗三 用電動輪廓儀測量表面粗糙度
實驗四 用干涉顯微鏡測量表面粗糙度
項目三 幾何誤差的檢測
實驗一 用框式水平儀、橋尺測量機床導軌直線度誤差
實驗二 用自準直儀測量機床導軌的平行度誤差
實驗三 用偏擺檢查儀測量軸的跳動誤差
實驗四 用打表法測量箱體的平面度誤差
實驗五 用打表法測量箱體的平行度誤差
實驗六 用通用量儀和量規(guī)檢測平鍵鍵槽的對稱度誤差
項目四 螺紋的檢測
實驗一 用螺紋量規(guī)和光滑極限量規(guī)綜合檢驗螺紋的合格性
實驗二 用螺紋千分尺測量螺紋中徑
實驗三 用三針法測量螺紋中徑
實驗四 用工具顯微鏡測量外螺紋的各項參數
項目五 錐度與角度的檢測
實驗一 用圓錐量規(guī)檢驗內、外圓錐
實驗二 用正弦規(guī)測量外圓錐錐度和錐角誤差
實驗三 用鋼球測量內圓錐的圓錐半角
實驗四 用圓柱、量塊測量外圓錐的圓錐半角
實驗五 用鋼球、圓柱測量內、外圓錐的大、小端直徑
實驗六 用角度樣板等檢測角度
實驗七 用圓柱檢測角度
實驗八 用萬能角度尺測量角度誤差
實驗九 用光學分度頭檢驗零件的分度中心角
項目六 齒輪的測量
實驗一 用齒圈徑向跳動檢查儀測量齒輪齒圈徑向跳動誤差
實驗二 用齒厚游標卡尺測量齒輪的弦齒厚
實驗三 用公法線千分尺、萬能測齒儀測量齒輪公法線平均長度偏差及公法線長度變動量
實驗四 用齒輪雙面嚙合綜合檢查儀測量齒輪徑向綜合總偏差
實驗五 用基節(jié)檢查儀測量齒輪基節(jié)偏差
實驗六 用萬能測齒儀測量齒輪齒距累計偏差及齒距累計總偏差
項目七 綜合檢測
實驗一 檢測曲軸
實驗二 檢測齒輪
參考文獻