波長范圍190-2000nm,建模自動擬合,測量膜厚\折射率\帶隙\消光系數(shù)等。
半導體、金屬材料等的光學參量檢測等。 2100433B
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從測量得到的火焰光譜數(shù)據(jù)出發(fā),對火焰探測器的光譜匹配因數(shù)進行研究,導出了光譜匹配因數(shù)的表達式,并在1~14μm波段范圍內(nèi),計算了InSb紅外探測器對不同溫度黑體輻射的光譜匹配因數(shù),為新型火焰探測器的研制提供一些必要的理論依據(jù)。
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采用不同位置探測部分相干光光譜的方法,研究寬頻帶部分相干光在楊氏雙縫實驗中的光譜位移和光譜開關現(xiàn)象.實驗結(jié)果表明,在干涉光場中,歸一化光譜在某些觀測點處發(fā)生紅移,而在另一些觀測點處發(fā)生藍移,并且在臨界點位置,光譜位移由紅移迅速轉(zhuǎn)變?yōu)樗{移,即發(fā)生了光譜開關現(xiàn)象.此外,研究發(fā)現(xiàn)雙縫參數(shù)和探測距離對楊氏雙縫實驗中的光譜位移和光譜開關都有影響.
最初,橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數(shù)獨立的波長,最典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟姽庾V光進行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長范圍內(nèi)以多波長工作(通常有幾百個波長,接近連續(xù))。和單波長的橢偏儀相比,光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點:可以提升多層探測能力,可以測試物質(zhì)對不同波長光波的折射率等。
橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如,摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響,因此需要能測量紅外波段的橢偏儀;薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜,到達基底,然后并被探測器檢測到,因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段;對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。
橢偏儀 全自動光譜橢偏儀 成像橢偏儀(成像橢圓偏振技術)激光單波長橢偏儀……
■ 優(yōu)點:相對于光譜型橢偏儀,激光單波長橢偏儀比較簡單,由于不需要單色儀,四分之一玻片也可以根據(jù)波長固定,光學元件也可以針對特定波長進行設計,所以價格相對便宜,同時測量精度較高。
■缺點:對多層膜分析能力不足,不如光譜型橢偏儀。