離軸照明

離軸照是1989年光刻專家提出的離軸照明技術(shù)，并得到了很好的發(fā)展，已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用。離軸照明的原理是通過(guò)改變照明光入射到掩模上的入射角，達(dá)到擴(kuò)展投影系統(tǒng)的截止頻率對(duì)應(yīng)的圖形尺寸，從而提高光刻系統(tǒng)分辨率的目的  。

離軸照明基本信息

中文名 離軸照明 外文名 Off-axis Illumination（OAI）

如圖1所示，在采用離軸照明的曝光系統(tǒng)中，掩模上的照明光線都與投影物鏡主光軸有一定的夾角。入射光經(jīng)掩模發(fā)生衍射，左側(cè)光源的0級(jí)，-1級(jí)衍射光與右側(cè)光束的 1級(jí)，0級(jí)衍射光參與成像 。

離軸照明實(shí)際上是一種兩束光成像技術(shù)，即通過(guò)調(diào)整光線在掩模上的入射角，只有兩束（0， 1或-1）衍射光被投影透鏡收集，并在晶圓表面成像，離軸照明的特點(diǎn)是沒(méi)有沿主光軸方向傳播的光。環(huán)形照明，四級(jí)照明和二級(jí)照明都屬于離軸照明。 研究表明，離軸照明是一種很有效的光刻分辨增強(qiáng)技術(shù)。離軸照明最大的優(yōu)點(diǎn)是能提高聚焦深度；離軸照明最大的問(wèn)題是，所收集的衍射光束是不對(duì)稱的，0級(jí)衍射光的光強(qiáng)遠(yuǎn)大于 1和-1級(jí)衍射光 。

離軸照明造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
照明車 照明車;照明燈車;規(guī)格型號(hào):LZ1000-2 持續(xù)工作時(shí)間7.6H0;抗風(fēng)能力6級(jí);車燈1000W×2燈;光通量210000/M;3節(jié)升降;品牌:路潔 查看價(jià)格 查看價(jià)格

路潔

 臺(tái) 13% 廣州路潔經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司
照明線 銅芯多股絕緣電線RVV/0.5-3×2.5照明線 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m 13% 廣州珠江電纜有限公司
照明車 照明車;規(guī)格型號(hào):LZL4200S 接市電供電長(zhǎng)時(shí)間;發(fā)電機(jī)一次注滿燃油13h;光源類型LED;4×100W;品牌:路潔 查看價(jià)格 查看價(jià)格

路潔

 臺(tái) 13% 廣州路潔經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司
照明導(dǎo)線 ZR-BV 2.5mm2 查看價(jià)格 查看價(jià)格

新威訊

 m 13% 深圳市寶安區(qū)龍華華達(dá)盛線纜商行
照明線 WDZC-BYJF-2.5 查看價(jià)格 查看價(jià)格

勝華電纜

 m 13% 上海勝華電纜有限公司重慶辦事處
照明與動(dòng)力導(dǎo)線 ZR-BV 4mm2 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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照明與動(dòng)力導(dǎo)線 ZR-BV 6mm2 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 m 13% 深圳市寶安區(qū)龍華華達(dá)盛線纜商行
照明與動(dòng)力導(dǎo)線 ZR-BV 16mm2 查看價(jià)格 查看價(jià)格

新威訊

 m 13% 深圳市寶安區(qū)龍華華達(dá)盛線纜商行
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
照明燈車 發(fā)動(dòng)機(jī)50(kW) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 韶關(guān)市2010年8月信息價(jià)
單臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量150L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年4季度信息價(jià)
單臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量250L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年4季度信息價(jià)
雙臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量1500L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年4季度信息價(jià)
單臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量250L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年3季度信息價(jià)
單臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量350L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年3季度信息價(jià)
雙臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量350L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年3季度信息價(jià)
雙臥軸式混凝土攪拌機(jī) 出料容量1000L 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年3季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
強(qiáng)聲驅(qū)離器 強(qiáng)聲驅(qū)離器|9個(gè) 1 查看價(jià)格 江蘇宇盾警用裝備制造有限公司 全國(guó)   2022-09-27
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離背鳶尾 高60-65cm,冠幅20-25cm|84.7m2 3 查看價(jià)格 中山庭院管家園林綠化工程有限公司 廣東  深圳市 2022-01-15
外蓋離位監(jiān)測(cè)裝置 外蓋離位監(jiān)測(cè)裝置采用彈簧微動(dòng)開(kāi)關(guān),可準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)外井蓋是否發(fā)生開(kāi)啟或位移現(xiàn)象并結(jié)合電纜狀態(tài)監(jiān)測(cè)主站系統(tǒng)的系統(tǒng)設(shè)置產(chǎn)生報(bào)警信息及設(shè)定以手機(jī)短信的形式發(fā)送給運(yùn)行維護(hù)人員.|4套 1 查看價(jià)格 蘇州光格設(shè)備有限公司 全國(guó)   2017-09-30
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離軸照明常見(jiàn)問(wèn)題

離軸照明文獻(xiàn)

投影光刻離軸照明用衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì) 投影光刻離軸照明用衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)

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評(píng)分： 4.7

離軸照明作為一種重要的分辨率增強(qiáng)技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學(xué)元件(DOE)作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件,能夠在保持較高照明效率的基礎(chǔ)上精確控制離軸照明光束的形狀及光強(qiáng)分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法,優(yōu)化設(shè)計(jì)了該類衍射光學(xué)元件(DOE)。DOE采用了多臺(tái)階位相結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)所得8臺(tái)階DOE設(shè)計(jì)結(jié)果分別實(shí)現(xiàn)了偶極、四極、環(huán)形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都達(dá)到了80%以上,與目標(biāo)光強(qiáng)分布的均方根偏差均<7%。

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計(jì)算全息法檢測(cè)離軸凸非球面照明鏡組初始結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 計(jì)算全息法檢測(cè)離軸凸非球面照明鏡組初始結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

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評(píng)分： 4.8

設(shè)計(jì)一種特殊的應(yīng)用于計(jì)算全息法(CGH)高精度檢測(cè)離軸凸非球面系統(tǒng)的照明系統(tǒng)。該照明系統(tǒng)一方面用作參考系統(tǒng),另一方面將檢測(cè)光近似垂直投射到待檢測(cè)鏡面上,使得檢測(cè)系統(tǒng)為近似共光路系統(tǒng),降低照明系統(tǒng)的制造精度。分析了照明系統(tǒng)的幾何光路模型,將復(fù)雜的兩用途系統(tǒng)簡(jiǎn)化,得到照明系統(tǒng)工作距離、照明系統(tǒng)焦距以及參考面曲率半徑三個(gè)特征參量之間的關(guān)系。設(shè)計(jì)時(shí),通過(guò)控制這幾個(gè)特征參量,得到滿足檢測(cè)要求的系統(tǒng)初始結(jié)構(gòu)。設(shè)計(jì)結(jié)果表明,該方法可以滿足系統(tǒng)使用要求。

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viewing position, viewing point

具有最佳位置和視角的觀景地點(diǎn)；

viewing distance

人們憑視力觀景的距離，或觀賞景物所需的一定空間距離。據(jù)實(shí)驗(yàn)研究表明，人的雙目及視野在60°角的圓錐體范圍內(nèi)，視距為景物高度1～3倍觀賞時(shí)，效果較佳，小于它時(shí)有迫促感，大于它時(shí)有遠(yuǎn)離感。

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微波離子照明燈介紹

微波離子照明燈是利用微波來(lái)激發(fā)發(fā)光物質(zhì)而產(chǎn)生的連續(xù)可見(jiàn)光譜，無(wú)燈絲、無(wú)電極的燈泡不僅光效強(qiáng)、低能耗， 使用壽命能持續(xù)60000小時(shí)以上，光通量可幾近持之以恒，整個(gè)壽命期限基本無(wú)衰減，始終放射出大于自己輸入功率幾倍的超強(qiáng)光亮度;光譜色溫與太陽(yáng)光線類似，更令人關(guān)注的是，它能明顯地低析出紫外線、紅外線，對(duì)減輕人的視覺(jué)疲勞、保護(hù)人的視力和皮膚大有益處。與其說(shuō)它充滿了以生物為本的特征，更是體現(xiàn)以人為本為先對(duì)人的健康倍加呵護(hù)。夜間對(duì)植物的光合作用也如同陽(yáng)光照射一樣，更能促進(jìn)植物的生長(zhǎng)，有效地縮短植物的成熟期。

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光軸是光學(xué)系統(tǒng)中，一條假想的線，定義（在一次近似下）光學(xué)系統(tǒng)如何傳導(dǎo)光線。光線若和光軸重合，在光學(xué)系統(tǒng)中光將沿光軸傳遞。

若此光學(xué)系統(tǒng)有一定程度的轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)稱（像相機(jī)鏡頭或是顯微鏡），光軸一般會(huì)是光學(xué)系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)中心，若光學(xué)系統(tǒng)是由簡(jiǎn)單的透鏡和反射鏡組成，光軸會(huì)通過(guò)各平面的曲率中心（如焦點(diǎn)），和轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)稱軸重合。光軸一般會(huì)和系統(tǒng)的機(jī)械中心重合，但也有例外，例如離軸光學(xué)系統(tǒng)。

若光線和光軸角度很小，而光線接近光學(xué)系統(tǒng)的軸，可以用幾何光學(xué)中的近軸近似來(lái)處理，可以簡(jiǎn)化數(shù)學(xué)的運(yùn)算。

在光纖中，光軸會(huì)和纖維芯重合，也稱為光纖軸。

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