納米級位移傳感器概述

位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關的量，位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的。小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測，大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率最高的可達到納米級)、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點，在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應用。

納米級位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，位移傳感器超聲波式位移傳感器，k和納米位移計。

電感式位移傳感器KD5100是一種屬于金屬感應的線性器件，接通電源后，在開關的感應面將產生一個交變磁場，當金屬物體接近此感應面時，金屬中則產生渦流而吸取了振蕩器的能量，使振蕩器輸出幅度線性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。

光電式位移傳感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法進行測量，對被測物體材質沒有任何要求，主要影響為環(huán)境光強和被測面是否平整。比如公路測量用到真尚有的激光位移傳感器，就對傳感器進行了特殊配置，與普通情況不一樣。

納米位移計NLS1X采用光譜共焦原理，測量光源為白光，通過判斷白光分解出來的各色波長與調節(jié)的物鏡焦距相匹配，再通過接收端的光譜分析儀分析出接收到的光的主波長，從而確定測量值。

電容式傳感器ZNX實際的基本包括了一個接收器Tx與一個發(fā)射器Rx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。在接收器與發(fā)射器走線之間會形成一個電場。電容傳感器卻可以探測與傳感器電極特性不同的導體和盡緣體。當有物體靠近時，電極的電場就會發(fā)生改變。從而感應出物體的位移變化量。