納米微機(jī)電系統(tǒng),在系統(tǒng)特征尺寸和效應(yīng)上具有納米技術(shù)特點(diǎn)的一類超小型機(jī)電一體的系統(tǒng)。是20世紀(jì)90年代末提出的一個(gè)概念。特征尺寸在亞納米到數(shù)百納米,以納米級(jí)結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的新效應(yīng)(量子效應(yīng)、界面效應(yīng)和納米尺度效應(yīng))為工作特征。
基于51單片機(jī)的電梯控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 引 言 隨著現(xiàn)代高科技的發(fā)展,住房和辦公用樓都已經(jīng)逐漸向高層發(fā)展。電梯是高層賓館、商店、住宅、多層倉(cāng)庫(kù)等高層建筑不可缺少的垂直方向的交通運(yùn)輸工具。18美國(guó)奧梯斯升降...
哪里可以買(mǎi)到微機(jī)電開(kāi)關(guān)啊?
一般建材市場(chǎng)都有賣(mài)的,建議你去建材市場(chǎng)看一下。
碳納米管手機(jī)電池有什么特點(diǎn)?這個(gè)誰(shuí)了解?
一種貯能器件,其外觀像一張黑紙。此種納米工藝器件重量輕、非常薄、很柔軟,可以卷起來(lái)、可以扭轉(zhuǎn)、折疊,還可剪裁成各種形狀,類似于紙狀電池,還可以像印刷紙一樣落成一疊,產(chǎn)生總體功率輸出。這種器件奇特之處在...
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根據(jù)《微機(jī)電系統(tǒng)》課程的特點(diǎn),對(duì)其教學(xué)內(nèi)容、教學(xué)方式和實(shí)驗(yàn)教學(xué)等方面進(jìn)行教學(xué)探討,以提高課程的教學(xué)效果。
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設(shè)計(jì)研制了一種小體積、低成本、可擴(kuò)展的低電壓非硅基底 1× 4微機(jī)電系統(tǒng)光開(kāi)關(guān)。開(kāi)關(guān)單元由電磁驅(qū)動(dòng) ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng) ,驅(qū)動(dòng)電壓為 5V ,開(kāi)關(guān)時(shí)間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細(xì)電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場(chǎng) ,進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì) ,并著重介紹開(kāi)關(guān)的實(shí)現(xiàn)及性能
微機(jī)電系統(tǒng)工程以機(jī)、電技術(shù),尤其是微機(jī)械為基礎(chǔ),運(yùn)用微電子技術(shù)和微加工技術(shù),進(jìn)行微納米和微機(jī)電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計(jì)、制造及測(cè)試等。例如:微泵、微傳感器、微加速度計(jì)、小飛機(jī)、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星等。
本書(shū)系統(tǒng)地介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的原理、設(shè)計(jì)和分析等知識(shí),內(nèi)容包括微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設(shè)計(jì)方法、加工工藝、表面特性、檢測(cè)技術(shù)、主要應(yīng)用以及COMSOL軟件、微機(jī)電系統(tǒng)模塊仿真。
第1章 微機(jī)電系統(tǒng)概述
1.1 微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念
1.2 微機(jī)電系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀
1.3 微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用
1.4 微機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)和研究領(lǐng)域
第2章 微機(jī)電系統(tǒng)常用材料
2.1 硅
2.1.1 單晶硅
2.1.2 晶體結(jié)構(gòu)
2.1.3 彌勒指數(shù)
2.1.4 機(jī)械特性
2.2 硅化合物
2.2.1 多晶硅
2.2.2 氧化硅
2.2.3 碳化硅
2.2.4 氮化硅
2.3 砷化鎵
2.4 陶瓷
2.5 形狀記憶合金
2.6 磁致伸縮材料
2.7 流變體
2.7.1 電流變體
2.7.2 磁流變體
2.7.3 鐵流
第3章 微機(jī)電系統(tǒng)的固體力學(xué)問(wèn)題
3.1 尺寸效應(yīng)
3.2 梁的力學(xué)問(wèn)題
3.2.1 應(yīng)變和應(yīng)力
3.2.2 粱的彎曲變形
3.3 膜的力學(xué)問(wèn)題
3.3.1 薄膜彎曲
3.3.2 周邊固支圓形薄膜彎曲
3.3.3 周邊固支矩形薄膜彎曲
3.4 機(jī)械振動(dòng)
3.4.1 無(wú)阻尼自由振動(dòng)
3.4.2 共振
3.4.3 阻尼自由振動(dòng)
3.5 粘附力
3.5.1 粘附力的實(shí)質(zhì)及其研究方法
3.5.2 分子動(dòng)力學(xué)
3.5.3 Hamaker微觀連續(xù)介質(zhì)理論
3.6 機(jī)電系統(tǒng)中的拉格朗日一麥克斯韋方程
3.6.1 電路方程
3.6.2 有質(zhì)動(dòng)力
3.6.3 拉格朗日一麥克斯韋方程
第4章 微機(jī)電系統(tǒng)加工技術(shù)基礎(chǔ)
4.1 微電子加工工藝
4.1.1 光刻
4.1.2 淀積
4.1.3 腐蝕
4.1.4 鍵合
4.1.5 外延
4.1.6 體硅加工
4.1.7 表面加工
4.1.8 LIGA技術(shù)
4.1.9 準(zhǔn)分子激光工藝
4.1.10 分子操縱技術(shù)
4.1.11 封裝
4.2 精密加工和特種加工
4.2.1 精密加工
4.2.2 特種加工
第5章 微機(jī)電系統(tǒng)工作原理
5.1 微傳感器
5.1.1 壓阻傳感器
5.1.2 電容傳感器
5.1.3 壓電傳感器
5.1.4 諧振傳感器
5.1.5 隧道傳感器
5.1.6 熱傳感器
5.1.7 光傳感器
5.1.8 化學(xué)傳感器
5.2 微加速度計(jì)和微陀螺儀
5.2.1 線微加速度計(jì)
5.2.2 差動(dòng)電容微加速度計(jì)
5.2.3 蹺蹺板式微加速度計(jì)
5.2.4 三明治式微加速度計(jì)
5.2.5 梳齒式微加速度計(jì)
5.2.6 微加速度計(jì)的研究方向
5.2.7 微陀螺傳感器
……
第6章 微機(jī)電系統(tǒng)表面特性
第7章 微機(jī)電系統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)
第8章 微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用
第9章 COMSOL微件及微機(jī)電系統(tǒng)模塊仿真
參考文獻(xiàn)