熱陰極磁控真空計(jì)

《電子學(xué)名詞》第一版。

1993年，經(jīng)全國(guó)科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會(huì)審定發(fā)布。

類似于截止條件下工作的簡(jiǎn)單圓柱磁控管的一種熱陰極電離真空計(jì)。其中，磁場(chǎng)用于延長(zhǎng)電子路程，以增加離子產(chǎn)生的數(shù)目。

熱陰極電離真空計(jì)的設(shè)計(jì)

結(jié)合測(cè)量高真空用的檢測(cè)器--高真空電離規(guī)管,敘述了熱陰極電離真空計(jì)的結(jié)構(gòu)、工作原理及其用途;介紹了采用脈 寬調(diào)制(PWM)技術(shù)與推挽變換結(jié)合的方法設(shè)計(jì)出簡(jiǎn)單、實(shí)用、穩(wěn)定可靠的熱陰極電離真空計(jì)的驅(qū)動(dòng)電路.該真空計(jì)電路性能穩(wěn)定可靠,由于采用了PWM控制,并經(jīng)過(guò)了變壓器的電流變換,沒(méi)有直接控制熱陰極的大電流,從而降低了功耗,大大減少了大電流發(fā)熱元件的數(shù)量,使整機(jī)的溫升得到有效抑制.2100433B

熱陰極與冷陰極電離規(guī)穩(wěn)定性的比較研究

電離規(guī)作為參考標(biāo)準(zhǔn)或副標(biāo)準(zhǔn)時(shí),穩(wěn)定性尤為重要.通常在校準(zhǔn)服務(wù)中,只有熱陰極電離規(guī)用作參考標(biāo)準(zhǔn)或副標(biāo)準(zhǔn),不采用冷陰極電離規(guī)的傳統(tǒng)原因是冷陰極電離規(guī)的非連續(xù)性、低壓力下放電延遲效應(yīng)以及它的不穩(wěn)定性等.盡管現(xiàn)代反磁控型冷陰極電離規(guī)被認(rèn)為解決了這些問(wèn)題,但沒(méi)有足夠的數(shù)據(jù)來(lái)證明這些特性.作者介紹了對(duì)3個(gè)熱陰極電離規(guī)和2個(gè)反磁控型冷陰極電離規(guī)的校準(zhǔn)結(jié)果,校準(zhǔn)采用的是高真空基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn),校準(zhǔn)范圍為10-7～10-3Pa,校準(zhǔn)氣體包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4Pa恒定壓力下連續(xù)72h觀測(cè)中,熱陰極電離規(guī)在N2、Ar和He中的穩(wěn)定性優(yōu)于反磁控規(guī),但在H2中所有規(guī)的穩(wěn)定性相似.在6個(gè)月的重復(fù)校準(zhǔn)中,所有規(guī)在N2、Ar和He中的長(zhǎng)期穩(wěn)定性相似,但在H2中反磁控規(guī)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)于熱陰極電離規(guī).對(duì)于不同的氣體,反磁控規(guī)的非連續(xù)性出現(xiàn)于不同的壓力點(diǎn),反磁控規(guī)的非連續(xù)性使校準(zhǔn)工作變得更為復(fù)雜.