熱陰極市場分析報告

中國熱陰極電離真空計(jì)市場分析報告

研究了在熱陰極輝光放電等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜過程中,熱陰極輝光放電特性與金剛石膜沉積工藝的關(guān)系.結(jié)果表明,適當(dāng)?shù)年帢O溫度是保證大電流、高氣壓輝光放電的必要條件.陰極的溫度影響輝光放電陰極位降區(qū)的放電性質(zhì).金剛石膜的沉積速率隨著氣體壓力(16～20kPa)的升高而上升,在18.6kPa左右出現(xiàn)最高值,而陽極位降區(qū)電場強(qiáng)度的降低使膜品質(zhì)下降.放電電流(8～12A)對沉積速率的影響與氣體壓力的影響具有相似的規(guī)律.

熱陰極與冷陰極電離規(guī)穩(wěn)定性的比較研究

電離規(guī)作為參考標(biāo)準(zhǔn)或副標(biāo)準(zhǔn)時,穩(wěn)定性尤為重要.通常在校準(zhǔn)服務(wù)中,只有熱陰極電離規(guī)用作參考標(biāo)準(zhǔn)或副標(biāo)準(zhǔn),不采用冷陰極電離規(guī)的傳統(tǒng)原因是冷陰極電離規(guī)的非連續(xù)性、低壓力下放電延遲效應(yīng)以及它的不穩(wěn)定性等.盡管現(xiàn)代反磁控型冷陰極電離規(guī)被認(rèn)為解決了這些問題,但沒有足夠的數(shù)據(jù)來證明這些特性.作者介紹了對3個熱陰極電離規(guī)和2個反磁控型冷陰極電離規(guī)的校準(zhǔn)結(jié)果,校準(zhǔn)采用的是高真空基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn),校準(zhǔn)范圍為10-7～10-3Pa,校準(zhǔn)氣體包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4Pa恒定壓力下連續(xù)72h觀測中,熱陰極電離規(guī)在N2、Ar和He中的穩(wěn)定性優(yōu)于反磁控規(guī),但在H2中所有規(guī)的穩(wěn)定性相似.在6個月的重復(fù)校準(zhǔn)中,所有規(guī)在N2、Ar和He中的長期穩(wěn)定性相似,但在H2中反磁控規(guī)的長期穩(wěn)定性優(yōu)于熱陰極電離規(guī).對于不同的氣體,反磁控規(guī)的非連續(xù)性出現(xiàn)于不同的壓力點(diǎn),反磁控規(guī)的非連續(xù)性使校準(zhǔn)工作變得更為復(fù)雜.

熱陰極是通過陰極材料的熱電子發(fā)射而獲得電子流的一種陰極，熱陰極的加熱方法有兩種：對發(fā)射體或它們的基金屬直接通電進(jìn)行加熱的叫做直熱式陰極；對熱子進(jìn)行通電加熱，再由熱子將熱量輻射和傳導(dǎo)給發(fā)射體的陰極叫做間熱式陰極。按陰極制備材料的不同，又有純金屬陰極、原子薄膜陰極、氧化物陰極和擴(kuò)散陰極、六硼化鑭陰極等之分。

熱陰極電離真空計(jì)的設(shè)計(jì)

結(jié)合測量高真空用的檢測器--高真空電離規(guī)管,敘述了熱陰極電離真空計(jì)的結(jié)構(gòu)、工作原理及其用途;介紹了采用脈 寬調(diào)制(PWM)技術(shù)與推挽變換結(jié)合的方法設(shè)計(jì)出簡單、實(shí)用、穩(wěn)定可靠的熱陰極電離真空計(jì)的驅(qū)動電路.該真空計(jì)電路性能穩(wěn)定可靠,由于采用了PWM控制,并經(jīng)過了變壓器的電流變換,沒有直接控制熱陰極的大電流,從而降低了功耗,大大減少了大電流發(fā)熱元件的數(shù)量,使整機(jī)的溫升得到有效抑制.2100433B

類似于截止條件下工作的簡單圓柱磁控管的一種熱陰極電離真空計(jì)。其中，磁場用于延長電子路程，以增加離子產(chǎn)生的數(shù)目。

《電子學(xué)名詞》第一版。

1993年，經(jīng)全國科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會審定發(fā)布。