sihi干式真空泵

典型的于式真空系統(tǒng)(見圖1)由SIHldry，凈化氣體模塊、吸入管線模塊(可選)、冷卻水循環(huán)模塊、氣體冷卻模塊、驅動控制柜組成。模塊化設計的靈活性可以使SIHIdry應用于所有流程，尤其對于吸入壓力達1Pa以下，處理介質為含水分和灰塵、腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體等工況尤為合適，在化工、制藥、電子等需要潔凈真空的行業(yè)有廣泛的應用。所有必需的元件可以集成在一個標準的系統(tǒng)中，丌位于泵內、通過內部冷卻水回路，可以精確地控制內部溫度，從而防止介質的冷凝、結晶和溶液的燃燒。

完全安裝好的電氣和機械界面非常友好，驅動和控制可以完全集成在標準的機組中。各種不同的界面可以添加到已有的系統(tǒng)和流程中;驅動控制可以保護機器以防應用巾的故障-例如，當輸送含液體的介質時，泵的速度可以自動減少以輸送該介質。當不含液體時，泵的速度將回歸到設定值。這同樣適用于輸送固體和粉末的場合。LCD顯示器可以給十轉子的沉積物和沖洗的效果。

如圖2所示，SIHIdry的基本設計包括FEP O形圈的殼體密封及以下元件:

(1)在殼體內的變頻驅動電動機。

(2)用于冷卻泵殼、驅動電動機及雙螺桿的冷卻水回路。

(3)防上有害顆粒進入泵內的吸入口過濾

1.氣體凈化模塊EX

標準的EExP氣體凈化系統(tǒng)用來調節(jié)、控制與監(jiān)測軸封處的惰性氣體N2的壓力，使系統(tǒng)符合ATEX防爆條例的要求而町以安裝在危險區(qū)域。該系統(tǒng)町集成在機組中并可以設置相關參數。

2.吸入管線模塊(可選)

在需要的時候，該模塊可將泵與流程隔離。例如，當泵達到預定的溫度，或超過有機介質(T4)的最大溫度極限時， 町自動切斷該流程，這種控制通過氣動控制吸氣閥來實現，該吸氣閥完全集成在控制驅動變量巾。同時，當連接到共用的真空管路時，吸氣閥可以防止回流。

3.冷卻水循環(huán)模塊

該模塊配置有循環(huán)泵、流量顯示器、增壓器調節(jié)閥、溫度控制閥與熱交換器，該模塊完全集成在共同的底板上。當現場冷卻水進出口的壓差非常低及現場水質很差的時候，該模塊特別見效。該循環(huán)冷卻系統(tǒng)可以精確地調節(jié)，以全流量來有效地降溫，以零流量來有效地升溫。

4.氣體冷卻模塊

該系統(tǒng)讓泵腔排出的氣體，經過熱交換器并將其中一小部分再送回泵腔。使用這種方式進行冷卻，冷卻的干空氣向雙螺桿的下一端進行傳輸，不會影響進氣口的吸氣能力。這樣町以在低的壓力下保證一定的流量，防止熱敏物質的沉積。

5.驅動控制柜

(1)該模塊可以安裝在機組上，適用于在Ex區(qū)域I，防護等級EEx-p。

(2)內置的電動機通過一個由變頻器、供電和控制模塊的單元進行操作。

(3)電子驅動系統(tǒng)防止機械元件由于夾帶液體等原因引起的過載。

(4)泵的速度可以減小，防止超過最大的允許電動機負荷。

(5)當夾帶的液體去除后，恢復起始操作點。

(6)SIHIdry可以覆蓋吸入壓力和吸氣量的整個范圍。該泵能在其性能范圍的任何點操作。同時，還可以預先設定需要的操作曲線:變速操作允許最靈活的操作并減小能量消耗。

(7)該模塊可以測量真空系統(tǒng)中的不同的過程壓力。

(8)在選用了驅動控制時，可以使用操作顯示模塊，該模塊可以向操作人顯示SIHIdry參數，如速度、壓力、轉矩、溫度，可以簡單地使用按鈕控制，也可以使用LCD顯示。

另外，可提供PARA參數修正模塊。不是使用PLC程序，而是使用PARA軟件，能夠修正SIHIdry的特定參數，該參數由客戶決定，如溫度-亡下限、速度、壓力、設置、加熱循環(huán)等，為提供將來長期運行的適用性，需要基于汁算機的標準視窗。當配置有遠程診斷模塊，客戶能夠設定與檢查控制系統(tǒng)與參數，從而對泵進行遠程監(jiān)控。

(1)SIHIdry干式真空泵是新-代具有眾多特 殊性能的富于革新意義的真空設備。

(2)SIHIdry干式真空泵適用于吸入壓力要求 達到1Pa以下，需要潔凈真空的，處理含水分和 灰塵、腐蝕性氣體、有毒辣氣體和易燃易爆氣體的 苛刻介質的現代高利技行業(yè)。

(3)S1HIdry干式真空泵具有20 000h無需維 修，較低的全壽命成本和有利于環(huán)保等顯著優(yōu)勢。

(1)兩個電動機同步驅動，在確保全速和轉矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸。

(2)無密封設計，確保無泄漏。

(3)通過對內表面溫度的控制以滿足新的A-TEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應。

(4)最小的維護要求，該泵無齒輪箱，同時對于泵無需更換和檢測潤滑系統(tǒng)。具有20 000h平均無故障時間。

(5)完全電子智能化設計，可以很方便地全方位與DCS系統(tǒng)聯接，通過Modem連接可以實現就地和遠程控制。

(6)輔助模塊的模塊化設計可以滿足大量的乃至是最苛刻的流程的應用。

(7)設計可以滿足不同的壓力要求:壓力比可高達100 000:1(吸入壓力<0.01絕壓)。

(8)吸氣量可達1000 m3/h(更大吸氣量的泵在開發(fā)中，臼前可用機械的增壓泵與干式泵組合來滿足對大的吸氣量的要求)。

(9)噪聲水平低于75 dH(A)。

(10)維修方便，可以快速和方便地拆卸和更換泵的內件。

筆者謹以在英國某著名醫(yī)藥公司運行的SIHIdry(370 m3/h名義吸氣量，1500Pa-75mbar吸氣壓力，20000h的操作時間)為例，將SIHIdry的總體成本與傳統(tǒng)的液環(huán)真空泵作一比較。成本比較見表1。

該SIHIdry應用于處理腐蝕性的氣體的工況， 在處理介質中含有HCl、HBr、HNO3，以及HF， 在使用SIHIdry前，由于環(huán)保的要求，腐蝕性工作 液的處理和材料的腐蝕問題一直困擾著用戶。而 SIHIdry通過內部溫度控制，防止了腐蝕性蒸氣的 冷凝，從而有效地解決廠腐蝕問題 ，由于SIHIdry 沒有機械密封及潤滑油.對用戶的I:作人員而言， 該泵非常易于維修和保養(yǎng)，并極大地節(jié)約廠備件 和處理溶劑的成本。該泵可謂為"智能泵"，它能 在事故發(fā)生前診斷其故障，產通過控制系統(tǒng)能輕 易地改變其工作參數。該SIHIdry1998年;投入運 行，用戶對SIHIdry的可靠性和低的全壽命成本非 常滿意。

結淪:每-[作20 000 h，SIHIdry630可節(jié)約 45 175歐元?？偝杀疽虿煌镜脑疾少彸杀?不同而有差異，如果吸氣量越大，總體成本的節(jié) 約將更加明顯。

表1 成本比較

泵的型號 液環(huán)真空泵系統(tǒng) SIHIdry

初始采購成本/歐元 液環(huán)真空泵系統(tǒng) 42857

功率及電力成本，0.045歐元/kWh 28571 12kW,8640

冷卻水成本，0.05歐元/ m3 15kW,13500歐元 0.8 m3/h,800歐元

補充水成本，1.79歐元/ m3 2.5 m3/h2500歐元 無

工作液回收、處理成本/歐元 0.125 m3/h4475歐元 無

沖洗氣體(空氣)成本，0.12歐元/ m3 無 0.8 m3/h,1920歐元

維修成本/歐元 1250 無

總成本/歐元 99392 54127

爪型干式真空泵，就是轉子為爪型的干式真空泵。爪型轉子

爪型干式真空泵的結構，一般采用多級轉子串聯，或羅茨轉子與多級轉子串聯的形式，組成多級爪型干式真空泵。

干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面:

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。