四探針?lè)ㄍǔS脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率。四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn),它不需要校準(zhǔn);有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄐ?zhǔn)。
中文名稱 | 四探針?lè)?/td> | 用????途 | 測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率 |
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算法總電阻值 | RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT | 優(yōu)????點(diǎn) | 不需要校準(zhǔn) |
四探針?lè)ɑ竞?jiǎn)介
四探針?lè)ㄍǔS脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率。四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn),它不需要校準(zhǔn);有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄐ?zhǔn)。
與四探針?lè)ㄏ啾?,傳統(tǒng)的二探針?lè)ǜ奖阈?,因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€(gè)探針,但是處理二探針?lè)ǖ玫降臄?shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一,電阻兩端有兩個(gè)探針接觸,每個(gè)接觸點(diǎn)既測(cè)量電阻兩端的電流值,也測(cè)量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測(cè)量的電阻器的電阻值,總電阻值:
RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;
其中RW是導(dǎo)線電阻,RC是接觸電阻,RDUT是所要測(cè)量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法,即四探針?lè)?。如圖二,電流的路徑與圖一中相同,但是測(cè)量電壓使用的是另外兩個(gè)接觸點(diǎn)。盡管電壓計(jì)測(cè)量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓,但由于電壓計(jì)的內(nèi)阻很大,通過(guò)電壓計(jì)的電流非常小,因此,導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計(jì),測(cè)量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。
通過(guò)采用四探針?lè)ㄈ〈结樂(lè)?,盡管電流所走的路徑是一樣的,但由于消除掉了寄生壓降,使得測(cè)量變得精確了。四探針?lè)ㄔ贚ord Kelvin使用之后,變得十分普及,命名為四探針?lè)ā?/p>
1、基本針?lè)? 2、對(duì)角針 3、長(zhǎng)短針 4.倒回針 5、雙倒回針  ...
平針?lè)ǎ嚎p合經(jīng)常用的針?lè)āR话闶沁B縫兩三針才拉出針。 回針?lè)ǎ嚎p合的第一針和最后一針經(jīng)常使用,為了加固,中間也經(jīng)常穿插使用。 斜針?shù)h:縫合后基本看不出痕跡。 藏針?lè)ǎ阂步嗅?,需要從布的正面連接布片時(shí)使...
1.打結(jié)完成不要都穿過(guò)來(lái)留在一層的不里面,介紹里面應(yīng)該都是有針?lè)ń坛痰?。剩下的線頭穿進(jìn)不織布輪廓里面。 2.縫合的時(shí)候帶線要均勻,力度要相同,塞棉花的時(shí)候也要均勻,用筆桿塞比較好各個(gè)部位都能填充滿。 ...
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通過(guò)對(duì)Hot Disk測(cè)試儀測(cè)得巖土熱物性參數(shù)與現(xiàn)場(chǎng)熱響應(yīng)法測(cè)試結(jié)果的對(duì)比,發(fā)現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)室里測(cè)得的導(dǎo)熱系數(shù)與現(xiàn)場(chǎng)熱響應(yīng)測(cè)得的導(dǎo)熱系數(shù)差別較大,在進(jìn)行地源熱泵設(shè)計(jì)與選型時(shí),應(yīng)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)熱響應(yīng)試驗(yàn)確定在加熱或冷卻功率下測(cè)得的土壤導(dǎo)熱系數(shù),以此作為選型依據(jù)。
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目的:比較兩種靜脈輸液拔針?lè)椒ǖ男Ч?以期為臨床工作提供參考。方法:隨機(jī)選擇102例輸液病人,使用兩種不同拔針?lè)椒ú?duì)其效果進(jìn)行觀察、比較。結(jié)果:使用新的拔針?lè)ㄝ^常規(guī)拔針?lè)苊黠@減輕病人的疼痛和出血。結(jié)論:利用把握力的作用特性,合理使用心理支持療法,予動(dòng)態(tài)思維于操作中,保證了護(hù)理效果,提高了病人對(duì)護(hù)理人員的信任度,表明了新的拔針?lè)ㄓ衅鋵?shí)用價(jià)值。
數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)
而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專
用儀器。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)
量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到
計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
對(duì)于半導(dǎo)體材料的電阻率,一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。
電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多,四探針?lè)ㄊ且环N廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便,精確度高,對(duì)樣品的形狀無(wú)嚴(yán)格要求。
最常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上,并且間距相等,都是S,一般采用0.5mm的間距,不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。
一般四探針電阻率(電導(dǎo)率)測(cè)試儀均已配置厚度的修正,通過(guò)厚度數(shù)值的設(shè)置,計(jì)算出不同的樣品厚度對(duì)電阻率的影響。
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本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析