第1章 MEMS概述 1

1.1 MEMS的概念 1

1.2 MEMS研究現(xiàn)狀 6

1.3 MEMS的特點(diǎn)和存在的問(wèn)題 14

參考文獻(xiàn) 25

第2章 MEMS材料 30

2.1 硅及其化合物 30

2.1.1 硅 30

2.1.2 硅化合物 38

2.2 陶瓷 39

2.3 聚合物 41

2.4 金屬 45

2.4.1 磁致伸縮金屬 45

2.4.2 形狀記憶合金 46

2.5 凝膠 47

2.6 電流變體 48

2.6.1 電流變體定義 48

2.6.2 電流變體組成 48

2.6.3 電流變體應(yīng)用 49

2.7 新興材料 50

2.7.1 石墨烯 50

2.7.2 碳納米管 59

2.7.3 金剛石 70

2.7.4 硅烯 78

參考文獻(xiàn) 79

第3章 MEMS工藝 82

3.1 傳統(tǒng)超精密和特種微細(xì)加工技術(shù) 82

3.1.1 傳統(tǒng)超精密微加工技術(shù) 82

3.1.2 特種微細(xì)加工技術(shù) 85

3.2 硅微機(jī)械加工技術(shù) 107

3.2.1 MEMS常用IC工藝 107

3.2.2 表面微加工技術(shù) 120

3.2.3 體微加工技術(shù) 123

3.3 鍵合技術(shù) 133

3.4 LIGA 技術(shù) 145

3.4.1 標(biāo)準(zhǔn)LIGA技術(shù) 146

3.4.2 準(zhǔn)LIGA技術(shù) 148

3.4.3 其他相關(guān)LIGA技術(shù) 157

參考文獻(xiàn) 163

第4章 MEMS典型器件 165

4.1 微傳感器與微執(zhí)行器 165

4.1.1 MEMS微傳感器 167

4.1.2 微執(zhí)行器 177

4.2 微加速度計(jì) 184

4.2.1 線微加速度計(jì) 186

4.2.2 差動(dòng)電容微加速度計(jì) 186

4.2.3 蹺蹺板式微加速度計(jì) 188

4.2.4 三明治式微加速度計(jì) 190

4.2.5 梳齒式微加速度計(jì) 192

4.2.6 MEMS微加速度計(jì)研究方向 195

4.3 微陀螺儀 197

4.3.1 陀螺儀原理 198

4.3.2 MEMS陀螺儀 201

4.3.3 進(jìn)一步提高M(jìn)EMS陀螺儀的性能 219

4.4 微諧振器 220

4.4.1 梳狀諧振器 221

4.4.2 梁式諧振器 221

4.4.3 盤(pán)式諧振器 222

4.4.4 薄膜體聲波諧振器 224

4.4.5 腔結(jié)構(gòu)微機(jī)械諧振器 226

4.4.6 聲表面波諧振器 226

4.4.7 諧振器性能比較 228

4.5 數(shù)字微鏡 229

4.5.1 DMD原理 229

4.5.2 數(shù)字微鏡的應(yīng)用 233

參考文獻(xiàn) 236

第5章 MEMS應(yīng)用 239

5.1 MEMS技術(shù)在汽車(chē)工業(yè)中的應(yīng)用 240

5.1.1 汽車(chē)安全系統(tǒng) 241

5.1.2 監(jiān)測(cè)輪胎氣壓系統(tǒng) 243

5.2 MEMS技術(shù)在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用 248

5.2.1 微飛行器 249

5.2.2 微慣性導(dǎo)航系統(tǒng) 251

5.2.3 納米武器 254

5.3 MEMS技術(shù)在醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用 255

5.3.1 微創(chuàng)內(nèi)窺鏡系統(tǒng) 256

5.3.2 特定部位藥物釋放藥丸 260

5.3.3 消化道采樣及參數(shù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 261

5.3.4 精微外科和軟組織外科手術(shù) 262

5.4 MEMS在光通信中的應(yīng)用 264

5.4.1 全光通信 264

5.4.2 光開(kāi)關(guān) 266

5.5 MEMS技術(shù)在航空航天中的應(yīng)用 277

5.5.1 微納衛(wèi)星 277

5.5.2 太空望遠(yuǎn)鏡調(diào)整系統(tǒng) 279

5.6 MEMS技術(shù)在手機(jī)中的應(yīng)用 281

5.6.1 手機(jī)加速度計(jì) 282

5.6.2 MEMS麥克風(fēng) 283

5.6.3 遠(yuǎn)程信息處理 284

5.6.4 多頻段手機(jī) 284

5.6.5 微型投影技術(shù) 287

5.6.6 手機(jī)陀螺儀 289

5.6.7 MEMS在手機(jī)中的前景 290

5.7 MEMS技術(shù)在家用電器中的應(yīng)用 291

5.8 生物芯片 296

5.8.1 微陣列生物芯片 297

5.8.2 微流體生物芯片 297

5.8.3 流體技術(shù) 300

5.8.4 檢測(cè)技術(shù)及裝置 300

5.8.5 DNA測(cè)序與藥品研制 302

5.9 MEMS技術(shù)在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用 302

參考文獻(xiàn) 305

第6章 RF MEMS及重構(gòu)天線 308

6.1 RF MEMS 309

6.2 RF MEMS的應(yīng)用 310

6.2.1 MEMS移相器 310

6.2.2 MEMS濾波器 315

6.2.3 其他RF MEMS 應(yīng)用 318

6.3 RF開(kāi)關(guān) 320

6.3.1 RF MEMS開(kāi)關(guān)分類(lèi) 322

6.3.2 懸臂梁結(jié)構(gòu)電阻接觸式RF開(kāi)關(guān) 323

6.3.3 電容耦合式RF開(kāi)關(guān) 326

6.4 重構(gòu)天線的概念 328

6.5 重構(gòu)天線研究現(xiàn)狀 330

6.6 重構(gòu)天線分類(lèi) 334

6.6.1 改變天線單元結(jié)構(gòu) 334

6.6.2 控制饋電網(wǎng)絡(luò) 338

6.7 頻率重構(gòu) 339

6.8 方向圖重構(gòu) 345

6.9 頻率和方向圖同時(shí)重構(gòu) 349

6.10 極化可重構(gòu)微帶天線 351

參考文獻(xiàn) 361

第7章 MEMS力學(xué)問(wèn)題 366

7.1 梁的力學(xué)問(wèn)題 366

7.1.1 應(yīng)變和應(yīng)力 366

7.1.2 梁的彎曲變形 367

7.2 膜的力學(xué)問(wèn)題 370

7.2.1 薄膜彎曲 370

7.2.2 周邊固支圓形薄膜彎曲 371

7.2.3 周邊固支矩形薄膜彎曲 372

7.3 靜電力 373

7.3.1 分離變量法級(jí)數(shù)解 373

7.3.2 保角變換近似解 374

7.3.3 考慮極板厚度時(shí)的邊緣效應(yīng) 374

7.3.4 非平行極板電容靜電力 375

7.4 范德瓦耳斯力 377

7.4.1 偶極子電場(chǎng) 378

7.4.2 離子與偶極間作用力 379

7.4.3 偶極相互作用 380

7.4.4 角平均的偶極相互作用 381

7.4.5 偶極-誘導(dǎo)作用 381

7.4.6 倫敦(London)-范德瓦耳斯力 382

7.4.7 范德瓦耳斯力 385

7.4.8 物體間的范德瓦耳斯力 386

7.5 MEMS阻尼 387

7.5.1 氣體阻尼 387

7.5.2 稀薄氣體阻尼 400

7.6 Casimir力 402

7.6.1 Casimir力的背景 403

7.6.2 Casimir力 404

7.6.3 金屬板間Casimir力 405

7.6.4 Casimir力對(duì)MEMS的影響 407

參考文獻(xiàn) 410

微機(jī)電技術(shù)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱(chēng) 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
電鈴 功率(W):15;品種:普通型電鈴;防護(hù)等級(jí):IP54;額定電壓(V):220 查看價(jià)格 查看價(jià)格

正泰

 個(gè) 13% 江西省士林電氣實(shí)業(yè)有限公司
電鈴 功率(W):15;品種:普通型電鈴;防護(hù)等級(jí):IP54;額定電壓(V):220 查看價(jià)格 查看價(jià)格

正泰

 個(gè) 13% 正泰電氣宣城總經(jīng)銷(xiāo)
電解板 0.9*1219*C SECCN 查看價(jià)格 查看價(jià)格

邯鄲原廠

 t 13% 佛山市順德區(qū)盈通貿(mào)易有限公司
電解板 0.8*1219*C SECC 查看價(jià)格 查看價(jià)格

邯鄲原廠

 t 13% 佛山市順德區(qū)盈通貿(mào)易有限公司
電解板 1.5mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 東莞市長(zhǎng)安圣輝金屬材料經(jīng)營(yíng)部
彩電 42寸 查看價(jià)格 查看價(jià)格

海爾

 臺(tái) 13% 深圳市首舟科技有限公司
電鈴 功率(W):15;品種:普通型電鈴;防護(hù)等級(jí):IP54;額定電壓(V):220 查看價(jià)格 查看價(jià)格

正泰

 個(gè) 13% 廣州市正泰電氣有限公司
電焊眼罩 品種:眼防護(hù)具;類(lèi)型:電焊眼罩;規(guī)格型號(hào):PVC 查看價(jià)格 查看價(jià)格

盾王

 副 13% 江蘇盾王科技集團(tuán)有限公司
材料名稱(chēng) 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
電 (建筑用電) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

kW·h 茂名市電白市2009年3月信息價(jià)
電 (建筑用電) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

茂名市化州市2009年2月信息價(jià)
電 建筑用電 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 茂名市高州市2009年2月信息價(jià)
電 (建筑用電 查看價(jià)格 查看價(jià)格

kW·h 茂名市電白市2009年2月信息價(jià)
電 (建筑用電) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

茂名市化州市2009年3月信息價(jià)
電 建筑用電 查看價(jià)格 查看價(jià)格

kW·h 茂名市信宜市2012年3月信息價(jià)
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m2 茂名市高州市2009年3月信息價(jià)
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kW·h 茂名市信宜市2009年3月信息價(jià)
材料名稱(chēng) 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
文物目錄檢索柜(目錄柜) 1、專(zhuān)業(yè)定制文物目錄檢索柜(目錄柜)2、規(guī)格:W800×D400×H1800|1個(gè) 1 查看價(jià)格 成都東凌辦公家具有限公司 四川   2019-10-31
微機(jī)保護(hù)及檢測(cè)電腦 微機(jī)保護(hù)及檢測(cè)電腦|1套 1 查看價(jià)格 成都市茂途電氣設(shè)備有限公司 四川   2022-10-11
監(jiān)控微機(jī) 監(jiān)控微機(jī)|1臺(tái) 3 查看價(jià)格 廣州龍洲電子科技有限公司 廣東   2019-11-11
微機(jī)系統(tǒng)軟件 微機(jī)系統(tǒng)軟件|0套 1 查看價(jià)格 上海玉蒼電子科技有限公司 廣東  深圳市 2010-08-14
微機(jī)顯示系統(tǒng) 微機(jī)顯示系統(tǒng)|1個(gè) 2 查看價(jià)格 深圳市泛海三江電子股份有限公司 全國(guó)   2021-12-03
目錄室 1.2mm304#拉絲不銹鋼折彎無(wú)縫焊接,電鍍太空灰工藝內(nèi)容腐蝕填色,表面防指引處理(電鍍和填色工藝參照寶鷹打樣確認(rèn)的門(mén)牌) 330×90 Catalogue Room|2塊 3 查看價(jià)格 廣東智誠(chéng)達(dá)標(biāo)識(shí)有限公司 廣東   2022-04-29
粵港澳大灣區(qū)急需緊缺目錄 粵港澳大灣區(qū)急需緊缺目錄|1套 1 查看價(jià)格 廣州尚漢信息科技有限公司 全國(guó)   2022-01-07
微機(jī)電動(dòng)機(jī)勵(lì)磁柜 LZK-3G|2臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東博大電氣科技有限公司 廣西  南寧市 2011-08-26

本書(shū)系統(tǒng)地介紹了微機(jī)電技術(shù)基本內(nèi)容、分析方法和主要應(yīng)用，包括微機(jī)電系統(tǒng)概述、材料、工藝、典型器件、應(yīng)用RF MEMS及重構(gòu)天線MEMS力學(xué)問(wèn)題等。書(shū)中包含大量圖、表，研究成果及相關(guān)結(jié)論，內(nèi)容豐富。

本書(shū)可供高年級(jí)本科生和研究生使用，也可以作相關(guān)工程技術(shù)人員及科技管理人員的參考書(shū)。

微機(jī)電技術(shù)目錄常見(jiàn)問(wèn)題

  • 技術(shù)標(biāo)的目錄

    可以一樣可以不一樣，有時(shí)投標(biāo)文件會(huì)比招標(biāo)文件多，但內(nèi)容必須都是招標(biāo)文件要求提供的內(nèi)容。

  • 機(jī)電技術(shù)應(yīng)用專(zhuān)業(yè)是什么專(zhuān)業(yè)?

    本專(zhuān)業(yè)培養(yǎng)與我國(guó)社會(huì)主義現(xiàn)代化建設(shè)要求相適應(yīng)的德、智、體、美等方面全面發(fā)展的，具備從事機(jī)電技術(shù)必需的理念知識(shí)和綜合職業(yè)能力的機(jī)電設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備和生產(chǎn)線的運(yùn)行與維護(hù)人員。三.業(yè)務(wù)范圍 本專(zhuān)業(yè)畢業(yè)生...

  • 果樹(shù)嫁接新技術(shù)的目錄

    前言一、什么叫果樹(shù)嫁接二、果樹(shù)為什么要嫁接（一）保持和發(fā)展優(yōu)良種性（二）實(shí)現(xiàn)早期豐產(chǎn)（三）促使果樹(shù)矮化（四）能充分利用野生果樹(shù)資源（五）能對(duì)現(xiàn)有果樹(shù)改劣換優(yōu)（六）能提高果樹(shù)的適應(yīng)性（七）能挽救垂危的果...

微機(jī)電技術(shù)目錄文獻(xiàn)

機(jī)電技術(shù)中傳感器技術(shù)的應(yīng)用 機(jī)電技術(shù)中傳感器技術(shù)的應(yīng)用

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隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,各種信息技術(shù)和產(chǎn)品應(yīng)用到我國(guó)的企業(yè)中,為企業(yè)更好的發(fā)展提供了有利的保障。傳感器技術(shù)的研究和應(yīng)用在信息采集系統(tǒng)中的重要性越來(lái)越大。傳感器能夠把要求測(cè)量的非電量轉(zhuǎn)換為能夠被測(cè)量的電信號(hào)的部件,它是信息采集系統(tǒng)的前端單元,相當(dāng)于人的感覺(jué)器官。機(jī)電技術(shù)中傳感器技術(shù)的應(yīng)用在時(shí)代的發(fā)展中不斷更新,逐漸應(yīng)用到各個(gè)領(lǐng)域中,給人們的生產(chǎn)和生活帶來(lái)便利。本文主要針對(duì)機(jī)電技術(shù)中傳感器技術(shù)的應(yīng)用問(wèn)題進(jìn)行闡述。

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機(jī)電圖集目錄 機(jī)電圖集目錄

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機(jī)電圖集目錄

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前言

第一章 電力微機(jī)保護(hù)裝置組成

第一節(jié) 電力微機(jī)保護(hù)的發(fā)展及設(shè)計(jì)要求

第二節(jié) 電力微機(jī)保護(hù)裝置硬件

第三節(jié) 電力微機(jī)保護(hù)裝置軟件

第二章 電力微機(jī)保護(hù)的應(yīng)用

第一節(jié) 電力變壓器微機(jī)保護(hù)

第二節(jié) 母線微機(jī)保護(hù)

第三節(jié) 電力并聯(lián)電容器微機(jī)保護(hù)

第四節(jié) 輸電線路微機(jī)保護(hù)

第五節(jié) 發(fā)電機(jī)微機(jī)保護(hù)

第三章 電力微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試

第一節(jié) 電力微機(jī)保護(hù)裝置安裝檢查及操作

第二節(jié) 電力微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試項(xiàng)目

第三節(jié) 電力線路微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試

第四節(jié) 母線微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試

第五節(jié) 變壓器微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試

第四章 微機(jī)型電力自動(dòng)裝置

第一節(jié) 微機(jī)型電力故障錄波器

第二節(jié) 備用電源自投裝置

第五章 微機(jī)保護(hù)及自動(dòng)裝置的運(yùn)行維護(hù)

第一節(jié) 電力繼電保護(hù)基本要求

第二節(jié) 電力繼電保護(hù)裝置運(yùn)行維護(hù)

第三節(jié) 電力繼電保護(hù)裝置的投退操作

第四節(jié) 電力變壓器保護(hù)運(yùn)行管理

第五節(jié) 電力線路保護(hù)運(yùn)行管理

第六節(jié) 母線保護(hù)運(yùn)行管理

第七節(jié) 電力自動(dòng)裝置運(yùn)行管理

第八節(jié) 電力繼電保護(hù)裝置運(yùn)行故障處理

第九節(jié) 二次回路運(yùn)行維護(hù)

第六章 繼電保護(hù)裝置的檢驗(yàn)

第一節(jié) 繼電保護(hù)及二次回路檢驗(yàn)

第二節(jié) 電力變壓器微機(jī)保護(hù)裝置檢驗(yàn)

第三節(jié) 電力線路微機(jī)保護(hù)裝置檢驗(yàn)

第四節(jié) 母線微機(jī)型保護(hù)裝置檢驗(yàn)

第七章 電力繼電保護(hù)故障處理方法及實(shí)例

第一節(jié) 電力繼電保護(hù)故障原因

第二節(jié) 電力繼電保護(hù)故障查找處理方法

第三節(jié) 電力繼電保護(hù)反事故措施

第四節(jié) 微機(jī)保護(hù)裝置的故障查找實(shí)例

第八章 電力微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

第一節(jié) 6～35kV電力線路微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

第二節(jié) 110～220kV電力線路微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

第三節(jié) 電力變壓器微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

第四節(jié) 電力母線微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

第五節(jié) 110～220kV收發(fā)信機(jī)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)"para" label-module="para">

第六節(jié) 110～220kV微機(jī)故障錄波器檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū) 2100433B

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電力微機(jī)保護(hù)實(shí)用技術(shù)共8章，分別介紹了電力微機(jī)保護(hù)裝置組成，電力微機(jī)保護(hù)的應(yīng)用，電力微機(jī)保護(hù)裝置安裝調(diào)試，微機(jī)型電力自動(dòng)裝置，微機(jī)保護(hù)及自動(dòng)裝置的運(yùn)行維護(hù)，繼電保護(hù)裝置的檢驗(yàn)，電力繼電保護(hù)故障處理方法及實(shí)例，電力微機(jī)保護(hù)檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)等內(nèi)容。本書(shū)全面系統(tǒng)，以應(yīng)知應(yīng)會(huì)崗位實(shí)用技術(shù)為主，通俗易懂，操作性強(qiáng)，可供從事繼電保護(hù)專(zhuān)業(yè)安裝調(diào)試、運(yùn)行維護(hù)人員及大專(zhuān)院校電氣專(zhuān)業(yè)師生參考，也可作為職工培訓(xùn)教材。

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《電廠微機(jī)保護(hù)測(cè)試技術(shù)》重點(diǎn)介紹了電廠微機(jī)保護(hù)測(cè)試技術(shù)的基本原理和方法，詳細(xì)說(shuō)明了發(fā)變組保護(hù)各項(xiàng)常用保護(hù)功能的原理并采用實(shí)例說(shuō)明具體測(cè)試方法?！峨姀S微機(jī)保護(hù)測(cè)試技術(shù)》共七章，依次為發(fā)變組保護(hù)測(cè)試準(zhǔn)備、通用電流電壓量保護(hù)及其測(cè)試、具有阻抗特性保護(hù)及其測(cè)試、縱差動(dòng)保護(hù)原理及其測(cè)試、發(fā)電機(jī)匝間短路保護(hù)及其測(cè)試、其他保護(hù)原理及其測(cè)試、繼電保護(hù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)等。《電廠微機(jī)保護(hù)測(cè)試技術(shù)》既可作為從事繼電保護(hù)施工、安裝、檢修人員的技術(shù)讀物，也可作為從事繼電保護(hù)工作人員的培訓(xùn)教材，并可作為本科或?qū)？圃盒ｋ姎夤こ碳捌渥詣?dòng)化專(zhuān)業(yè)的教材及工程實(shí)訓(xùn)的指導(dǎo)書(shū)。

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