微型干式真空泵

微型干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面:

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

微型干式真空泵指隔膜是真空泵?，因?yàn)檫@種泵無(wú)須加油，終身免維修。無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。

爪型干式真空泵，就是轉(zhuǎn)子為爪型的干式真空泵。爪型轉(zhuǎn)子

爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)，一般采用多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式，組成多級(jí)爪型干式真空泵。

(1)SIHIdry干式真空泵是新-代具有眾多特 殊性能的富于革新意義的真空設(shè)備。

(2)SIHIdry干式真空泵適用于吸入壓力要求 達(dá)到1Pa以下，需要潔凈真空的，處理含水分和 灰塵、腐蝕性氣體、有毒辣氣體和易燃易爆氣體的 苛刻介質(zhì)的現(xiàn)代高利技行業(yè)。

(3)S1HIdry干式真空泵具有20 000h無(wú)需維 修，較低的全壽命成本和有利于環(huán)保等顯著優(yōu)勢(shì)。