MEMS流量傳感器

科威爾進(jìn)口fe-i系列插入式流量傳感器 科威爾進(jìn)口插入式電磁流量計原理結(jié)構(gòu) 基于法拉第電磁感應(yīng)定律。接線盒由專用電纜與電磁流量轉(zhuǎn)換顯示器連接組成分體型電磁流量計;若 以電磁流量轉(zhuǎn)換顯示器代替接線盒，則組成一體型電磁流量計。 科威爾進(jìn)口插入式電磁流量計主要特點 ●測量不受流體密度、粘度、溫度、壓力和電導(dǎo)率等變化的影響 ●采用kewill最優(yōu)勵磁技術(shù)，功耗小，零點穩(wěn)定，抗干擾能力強(qiáng)、可靠性好 ●無附加壓力損失，要求直管段長度小 ●流量測量量程寬，滿量程流速可在0.2m/s—10.0m/s內(nèi)連續(xù)任意設(shè)定輸出信號與流量(流速)成完全 線性關(guān)系 ●轉(zhuǎn)換顯示器采用16位高性能微處理器，2×16lcd顯示，參數(shù)設(shè)定方便，編程可靠 ●流量計為雙向測量系統(tǒng)，內(nèi)裝三個積算器可分別顯示：正向流量、反向流量及正、反向流量之差的 總量 ●轉(zhuǎn)換顯示器有多種輸出：電流、脈沖、數(shù)字通訊、

物信學(xué)院開放性實驗結(jié)題報告 總課題直流漏電流監(jiān)測裝置 設(shè)計題目msp430單片機(jī)測流量 專業(yè)班級測控 班號b08072021 項目成員姓名張文焱，胡聰 起止日期2011年3月1日~2011年6月20日 指導(dǎo)教師徐天奇﹑譚翠蘭﹑何立言﹑羅會容 2011-6-10 msp430單片機(jī)測流量 摘要：本文討論用單片機(jī)測量壓力完成流量測量。這種流量傳感 器主要由特制的導(dǎo)流管和現(xiàn)有壓力傳感器組成，其基本原理是輸入 口與輸出口這間的壓力差與通過導(dǎo)液管的流速直接相關(guān)，用壓力傳感 器測量導(dǎo)液管入口與出口之間的壓力差，并將其轉(zhuǎn)換成電壓量輸出。 通過檢測導(dǎo)液管兩端的壓力差，即可計算出通過導(dǎo)游管的流速和流 量。這種流量傳感器主要有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、精確度高、量程范 圍寬、成本低等優(yōu)點。 關(guān)鍵詞：差壓流量計，差壓傳感器，液體流量檢測 1.引言 流量的測量與控制在各個領(lǐng)

流量傳感器的成型 流量傳感器我們認(rèn)為選型應(yīng)當(dāng)遵循適當(dāng)?shù)囊?guī)則，盡量避免廠商的誤導(dǎo)宣傳，為自己找到一種 恰到好處的流量計，它就是自己的理想流量計。流量傳感器選型可按五個方面進(jìn)行：儀表 性能方面、流體特性方面、安裝條件方面、環(huán)境條件方面和經(jīng)濟(jì)因素方面。各方面的考慮因 素如下： 1．流量計儀表性能方面：精確度、重復(fù)性、線性度、范圍度、壓力損失、上下限流量、信 號輸出特性、響應(yīng)時間等；流量傳感器 2．流量計流體特性方面：流體壓力、溫度、密度、粘度、潤滑性、化學(xué)性質(zhì)、磨損、腐蝕、 結(jié)垢、臟污、氣體壓縮系數(shù)、等熵指數(shù)、比熱容、電導(dǎo)率、聲速、混相流、脈動流等； 3．流量計安裝條件方面：管道布置方向、流動方向、上下游管道長度、管道口徑、維護(hù)空 間、管道振動、接地、電源、輔屬設(shè)備（過濾、排污）、防爆等； 4．流量計環(huán)境條件方面：環(huán)境溫度、濕度、安全性、電磁干擾等； 5．流量計經(jīng)濟(jì)因素方面：購

流量傳感器 (2)

管道用流量傳感器產(chǎn)品說明書 一、概述 glw管道用流量傳感器（以下簡稱傳感器）基于力矩平衡原理，屬于速度式流量儀表。傳 感器具有結(jié)構(gòu)簡單、輕巧、精度高、復(fù)現(xiàn)性好、反應(yīng)靈敏，安裝維護(hù)使用方便等特點，廣泛用于石油、 煤礦、化工、冶金、供水、造紙等行業(yè)，是流量計量和節(jié)能的理想儀表。 傳感器與顯示儀表配套使用，適用于測量封閉管道中與不銹鋼1cr18ni9ti、2cr13及剛玉 a12o3、硬質(zhì)合金不起腐蝕作用，且無纖維、顆粒等雜質(zhì)的液體。若與具有特殊功能的顯示儀表配套， 還可以進(jìn)行定量控制、超量報警等。選用本產(chǎn)品的防爆形式“exibi”，可在煤礦井下具有煤粉、甲烷 的爆炸危險的環(huán)境中使用。在爆炸性危險場所使用時，須與安全柵連接構(gòu)成本安系統(tǒng)。 傳感器適用于在工作溫度下粘度小于5×10-6m2/s的介質(zhì)，對于粘度大于5×10-6m2/s的液體， 要對傳感器進(jìn)行實液標(biāo)定后

為了克服現(xiàn)有容積式流量傳感器構(gòu)造復(fù)雜、精度穩(wěn)定性差等缺點,設(shè)計一種新型流量傳感器異型腔流量傳感器(pcf).pcf的關(guān)鍵部件是一個帶有異型面內(nèi)腔的殼體和一個裝有十字交叉組合滑板的轉(zhuǎn)子.異型面內(nèi)腔由半徑不等的2個1/4圓弧面和2個1/4非圓弧面組合構(gòu)成,異型面內(nèi)腔與轉(zhuǎn)子配合,控制十字交叉組合滑板的運(yùn)動.組合滑板內(nèi)置彈性元件,有一定的伸縮性,可以自動補(bǔ)償滑板端部的磨損,使測量精度保持穩(wěn)定,并且使轉(zhuǎn)子具有防止被流體所含固體顆?？ㄗ璧哪芰?pcf有單向工作和雙向工作2種基本類型,兩者的內(nèi)腔結(jié)構(gòu)略有差別.pcf結(jié)構(gòu)簡單,以其結(jié)構(gòu)形式為基礎(chǔ),還可以設(shè)計具備流量計量功能的泵及原動機(jī).

霍爾流量傳感器簡介，水流傳感器 [2009-11-921:00:00|by:saibosheng] 0 推薦 一基本原理 水流量傳感器是利用霍爾元件的霍爾效應(yīng)來測量磁性物理量。在霍爾元件的 正極串入負(fù)載電阻，同時通上5v的直流電壓并使電流方向與磁場方向正交。當(dāng) 水通過渦輪開關(guān)殼推動磁性轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，產(chǎn)生不同磁極的旋轉(zhuǎn)磁場，切割磁感應(yīng) 線，產(chǎn)生高低脈沖電平。由于霍爾元件的輸出脈沖信號頻率與磁性轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速成 正比，轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速又與水流量成正比，根據(jù)水流量的大小啟動燃?xì)鉄崴?。其脈 沖信號頻率的經(jīng)驗公式見式(1)。 f=8．1q-3(1) 式中：f—脈沖信號頻率，h2 q—水流量，l／min 由水流量傳感器的反饋信號通過控制器判斷水流量的值。根據(jù)燃?xì)鉄崴鳈C(jī) 型的不同，選擇最佳的啟動流量，可實現(xiàn)超低壓(0．02mpa以下)啟動。 二工作原理

lgzw系列 均速管流量傳感器 使用說明書 一、概述 均速管流量傳感器是通過差壓來測量流量的裝置，是在皮托管流速測量原理 的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的?？蓽y量液體、氣體以及蒸汽等流體的流量。由于沒有活動 部件，幾乎無壓力損失，安裝維修方便，運(yùn)行成本極低，備受用戶青睞。 傳感器是由檢測桿、取壓口和導(dǎo)桿組成，它橫穿管道內(nèi)部與管軸垂直，在測 桿的迎流面上設(shè)有多個測壓孔測量總壓平均值，在其背、側(cè)流面有測量靜壓測壓 孔，分別由總壓導(dǎo)壓管和靜壓導(dǎo)壓管引出，根據(jù)總壓與靜壓的差壓值，計算流經(jīng) 管道的流量。也可以用流量管壁靜壓代替?zhèn)鞲衅鞅沉髅娴撵o壓。 均速管流量變送器是由傳感器、引壓附件和差壓變送器、壓力變送器、流量 積算儀等配套組成的流量計。 均速管流量傳感器配上我公司生產(chǎn)的差壓變送器、壓力變送器、溫度變送器 以及流量積算儀即可組成各種類型的均速管流量計。也可采用任何廠家生產(chǎn)的差 壓

對空燃比控制起決定性作用的傳感器是空氣計量系統(tǒng)?？諝庥嬃肯到y(tǒng)告訴ecu進(jìn)多少空氣 ecu就配多少燃油，噴多少油作重要依據(jù)。所以說能導(dǎo)致汽車混合器漂移量過大非常大的就 是空氣計量系統(tǒng)問題。如果車噴油量偏差非常多一般就是空氣流量傳感器問題，因為一般其 它傳感器只是輔助沒有權(quán)限控制那么大的噴油量，偏差也只是稍稍進(jìn)行一些錯誤修正產(chǎn)生 的。其它傳感器做不到那么大的控制范圍?？刂瞥绦蛑械膰娪陀嬎愎?，進(jìn)氣量是主要決 定因子，其它的只是修正因子。 全世界的所有發(fā)動機(jī)對混合器的需求都是一樣的，區(qū)別不會太大。但是到故障診斷的時候要 區(qū)分控制系統(tǒng)。 目前的汽車發(fā)動機(jī)電控系統(tǒng)主要分為兩大類，即以空氣流量計為代表的l型系統(tǒng)和以進(jìn)氣壓 力傳感器為代表的d型系統(tǒng)。這兩種系統(tǒng)的工作方式不同，故障現(xiàn)象不同。 空氣流量計（l型）和進(jìn)氣壓力傳感器（d型）都屬于空氣計量裝置，但是空氣流量計屬于 直接測

.... .下載可編輯. 對空燃比控制起決定性作用的傳感器是空氣計量系統(tǒng)?？諝庥嬃肯到y(tǒng)告訴ecu進(jìn)多少空氣 ecu就配多少燃油，噴多少油作重要依據(jù)。所以說能導(dǎo)致汽車混合器漂移量過大非常大的就 是空氣計量系統(tǒng)問題。如果車噴油量偏差非常多一般就是空氣流量傳感器問題，因為一般其 它傳感器只是輔助沒有權(quán)限控制那么大的噴油量，偏差也只是稍稍進(jìn)行一些錯誤修正產(chǎn)生 的。其它傳感器做不到那么大的控制范圍?？刂瞥绦蛑械膰娪陀嬎愎?，進(jìn)氣量是主要決 定因子，其它的只是修正因子。 全世界的所有發(fā)動機(jī)對混合器的需求都是一樣的，區(qū)別不會太大。但是到故障診斷的時候要 區(qū)分控制系統(tǒng)。 目前的汽車發(fā)動機(jī)電控系統(tǒng)主要分為兩大類，即以空氣流量計為代表的l型系統(tǒng)和以進(jìn)氣壓 力傳感器為代表的d型系統(tǒng)。這兩種系統(tǒng)的工作方式不同，故障現(xiàn)象不同。 空氣流量計（l型）和進(jìn)氣壓力傳感器（d型）都屬于空

流量傳感器的輸出信號 壓力損失和信號輸出都是流量傳感器的具有獨特優(yōu)勢，它可實現(xiàn) 其測量范圍寬，測量精度高的優(yōu)勢，從而被用于測量工業(yè)導(dǎo)電液體和 漿液。提高國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展。 流量傳感器的壓力損失，壓力損失流量傳感器（除電磁、超聲） 都有檢測件（如孔板、渦輪等），以及強(qiáng)制改變流向（如彎頭、科氏） 都將產(chǎn)生不可恢復(fù)壓力損失，它將額外增加輸送的動力，才能維持正 常運(yùn)，有些數(shù)額很大，在提倡節(jié)能的今天應(yīng)引起重視。 流量傳感器的輸出信號，輸出信號一般為標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號（0～ 10v，4～20ma等）已不能適應(yīng)系統(tǒng)發(fā)展要求。通訊要求數(shù)字信號， rosemount推出了hart協(xié)議，rs232/rs485轉(zhuǎn)換器，rs232限于2km 以內(nèi)，rs485可達(dá)10km。flow-meter.com.cn響應(yīng)時間輸出信號隨流 量參數(shù)變化反應(yīng)的時間，對控制系統(tǒng)來說，越短越好；對脈動流，則 希望有

流量傳感器的采用 流量傳感器是采用皮托管原理提取管道中心再換算成流體體積流量與質(zhì)量流量的差壓式流 量計。皮托管原理很早就廣泛應(yīng)用在航天航空業(yè)中。如：飛機(jī)風(fēng)洞的測試和檢測、飛機(jī)發(fā)動 機(jī)氣體動力測試、飛機(jī)飛行速度的測速桿等。 流量傳感器直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量，還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的 溫度。由于變送器是以單片機(jī)為核心的智能儀表，因此可根據(jù)上述三個基本量而導(dǎo)出十幾種 參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大,性能價格比高，是新一代流量儀表。 測量管道內(nèi)質(zhì)量流量的流量測量儀表。在被測流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下， 若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。在容積式和差壓式流量 計中，被測流體的密度可能變化30%，流量傳感器這會使流量產(chǎn)生30～40%的誤差。隨著自 動化水平的提高，許多生產(chǎn)過程都對流量測量提出了新的要求。

西安源典自動化設(shè)備有限公司產(chǎn)品說明書 lg-ptg系列皮托管流量傳感器 一、概述 皮托管，又名“空速管”，“風(fēng)速管”，英文是pitottube。皮托管是測 量氣流總壓和靜壓以確定氣流速度，流量的一種管狀裝置。由法國h. 皮托發(fā)明而得名。 在科研、生產(chǎn)、教學(xué)、環(huán)境保護(hù)以及隧道、礦井通風(fēng)、能源管 理部門，常用皮托管測量通風(fēng)管道、工業(yè)管道、爐窯煙道內(nèi)的氣流速 度，經(jīng)過換算來確定流量，也可測量管道內(nèi)的水流速度。用皮托管測 速和確定流量，有可靠的理論根據(jù)，使用方便、準(zhǔn)確，是一種經(jīng)典的 廣泛的測量方法。此外，它還可用來測量流體的壓力。 二、測量原理 皮托管的測量原理是基于伯努利方程在空氣中應(yīng)用的一個實例，皮托管的流速公式為 pev2)1( 三、主要技術(shù)參數(shù)： 1．l型皮托管系數(shù)0.99-1.01之間，s型皮托管數(shù)0.81-0.86之間。 2．測量空氣流速不超過40m/

splv渦街流量傳感器 使用說明書 珠海市摩爾自動化設(shè)備有限公司 目錄 產(chǎn)品概述、工作原理及功能特點。。。。。。。。。。。1 技術(shù)參數(shù)。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。2 產(chǎn)品類型。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。3 儀表的選型。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。4 儀表外形尺寸。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。5 儀表的安裝。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。6 儀表的接線。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。7 儀表的使用、故障排除及維護(hù)。。。。。。。。。。8 訂貨咨詢單。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。9 一、產(chǎn)品概述 splv渦街流量傳感器是采用國際先進(jìn)枝術(shù)而推出的新型流量傳感器，它具有測量范圍廣、壓損小、性 能穩(wěn)定、安全可靠、準(zhǔn)確度高和安

采用靶式結(jié)構(gòu)作為光纖bragg光柵流量傳感器的換能元件,其中兩片光柵分別粘貼于等強(qiáng)度懸臂梁的上下兩表面。采用雙光柵粘貼方式對傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償,有效的解決了應(yīng)變與溫度交叉敏感的問題,提高了測量靈敏度。實驗表明該靶式光纖bragg光柵流量傳感器的載荷響應(yīng)靈敏度為33.6pm/kg,測量精度為0.5%。

從靶式流量傳感器的工作原理入手,分析了該傳感器在現(xiàn)場使用過程中存在的問題,提出了用ldbe型智能電磁式流量傳感器替代靶式流量傳感器的思路。在介紹ldbe型智能電磁式流量傳感器工作原理、技術(shù)參數(shù)和介質(zhì)要求的基礎(chǔ)上,闡述了該傳感器的優(yōu)勢及其安裝地點的選擇要求和接線要求。

流量傳感器原理和比較

流量傳感器是一種關(guān)鍵的工業(yè)自動化設(shè)備，它被廣泛應(yīng)用于各種液體和氣體的流量測量。流量傳感器的主要作用是將流體的流量轉(zhuǎn)換為可以被讀取和處理的電信號，從而實現(xiàn)流量的精確控制和監(jiān)測。隨著科技的發(fā)展，流量傳感器的精度和穩(wěn)定性不斷提高，應(yīng)用領(lǐng)域也在不斷擴(kuò)大。

使用mems技術(shù)研制出一種高靈敏度熱溫差式流量傳感器。器件采用熱隔離性能良好的襯底挖空結(jié)構(gòu),且熱敏電阻器與熱源距離可調(diào),保證了系統(tǒng)的靈敏度和響應(yīng)速度。同時熱敏電阻器、加熱電阻器與電橋電阻器集成在傳感器片內(nèi),提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。實驗表明:合適的電阻器間距可以獲得較高的靈敏度,而在0~20ml/min的量程范圍內(nèi)系統(tǒng)線性度較好,因此,在生化檢測、醫(yī)療等領(lǐng)域具有良好的推廣前景。

研制了一種熱隔離式微機(jī)電系統(tǒng)(mems)氣體質(zhì)量流量傳感器。加熱電阻器和上下游測溫電阻器采用熱隔離懸梁式結(jié)構(gòu),間隔240μm。對恒溫差電路的設(shè)計要點進(jìn)行了分析并制作了系統(tǒng)電路。測試擬合了傳感器輸出電壓隨氣體流量的關(guān)系曲線,并對傳感器進(jìn)行了標(biāo)定。測試結(jié)果表明:在0~20l/min的流量范圍內(nèi),傳感器響應(yīng)速度快,靈敏度高,輸出信號平滑,適合于工業(yè)及醫(yī)療等領(lǐng)域。

為了完成所研制的mems氣體流量傳感器樣品的流量測試與標(biāo)定,設(shè)計制作了一種由標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器和傳感器信號讀出與數(shù)據(jù)采集電路組成的簡易流量測試裝置。標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器由注射器和可更換的砝碼組成,利用不同的砝碼配重,在注射器出氣口產(chǎn)生合適的恒定氣體流速。通過理論分析和ansys有限元數(shù)值仿真,驗證了簡易標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器的可行性。傳感器信號讀出與數(shù)據(jù)采集電路基于內(nèi)建多路a/d轉(zhuǎn)換器的單片機(jī)實現(xiàn),具有傳感器加熱電阻器的恒溫控制、流量信號的數(shù)字檢測和顯示的功能。采用該簡易流量測試裝置對自行研制的mems氣體流量傳感器進(jìn)行了流量測試與標(biāo)定,獲得了待測器件的標(biāo)定參數(shù)、傳感器流量測量的絕對誤差和相對誤差。

自動化元器件全系列供應(yīng)商 ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ espranza第1頁2008-3-26 地址：天津市西青經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)興華四支路18號郵政編碼：300381 電話：8622-83988188/83988199傳真：8622-83988111www.***.*** 流量傳感器工作原理 為保證制造業(yè)無故障檢測及檢測結(jié)果的可靠性，許多過程都需要液體或氣體 介質(zhì)的流入和流出量保持一致。在自動化生產(chǎn)過程中，除了壓力和溫度，流量的 測量也是非常重要的。根據(jù)對流量進(jìn)行持續(xù)監(jiān)控或限值監(jiān)控的要求，流量傳感器