超凈室簡介

根據(jù)光學(xué)器件制做工藝的特殊要求，需要在超凈室中實(shí)驗(yàn)進(jìn)行工作。超凈室內(nèi)可以進(jìn)行涂膠、光刻、蒸發(fā)鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴(kuò)散及研磨等。

超凈室各項(xiàng)功能的配備均以滿足各項(xiàng)工藝要求為前提,它具備以下特點(diǎn):

(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有"TJ -1"型單人定時(shí)冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進(jìn)入超凈室的凈化關(guān)口。

(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進(jìn)入超凈室。

(3) 設(shè)有室內(nèi)對外器件、物品傳遞窗。

(4) 室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級。

(5) 室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。

(6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了獨(dú)立的對外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃-25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

一、超凈室環(huán)境保持

1.工作人員應(yīng)首先做到保持個(gè)人清潔衛(wèi)生，進(jìn)入室內(nèi)不要帶貴重金屬、裝飾品及一切化妝品，所用記錄紙應(yīng)選用不起塵紙，記錄筆用圓珠筆。工作人員每人最少準(zhǔn)備三套潔凈服，供換洗及備用，潔凈服每周應(yīng)清洗兩次，并與外衣分別設(shè)置存衣柜。超凈室入口處應(yīng)設(shè)置跨越式鞋柜及粘鞋墊。設(shè)備搬入室內(nèi)前要用吸塵器或其它清洗方式清理干凈。每天清掃超凈室，包括地面、墻壁及工作臺(tái)面。

由于春季風(fēng)沙較大，因此，門窗應(yīng)密閉，最好采用雙層結(jié)構(gòu)。風(fēng)淋室前后門不得同時(shí)開啟，以防非凈化空氣污染凈化工作區(qū)。設(shè)置循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)是為保持室內(nèi)潔凈度達(dá)到規(guī)定等級。進(jìn)入超凈室前需更換潔凈服及專用拖鞋，經(jīng)風(fēng)淋后方可入內(nèi)。進(jìn)入室內(nèi)操作前20-30分鐘，即應(yīng)打開循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)，下班后應(yīng)將工件、工具等物品存放妥善后，停止凈化送風(fēng)系統(tǒng)。凈化系統(tǒng)停止運(yùn)行后，不應(yīng)隨便進(jìn)入室內(nèi)，以減少對超凈室的污染。

2. 時(shí)常維護(hù)超凈室環(huán)境的設(shè)備，使之處于良好工作狀態(tài)是保證潔凈度的前提。相應(yīng)設(shè)備包括柜式空調(diào)機(jī)、風(fēng)淋室、使室內(nèi)潔凈度達(dá)1000級的循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)、潔凈度達(dá)100 級的光刻區(qū)層流罩凈化送風(fēng)系統(tǒng)及凈化涂膠臺(tái)和工作臺(tái)。循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)為單機(jī)送風(fēng)，使室內(nèi)保持正壓。送風(fēng)形式為上送、側(cè)下回，經(jīng)初效、中效、高效三級過濾，設(shè)計(jì)風(fēng)量3000m3/h , 風(fēng)壓410Pa。 風(fēng)淋室設(shè)置于超凈室入口處，用于吹除工作人員身上的浮塵，是進(jìn)入室內(nèi)的關(guān)口。風(fēng)淋時(shí)，先設(shè)定時(shí)間，若需加熱，可打開溫控開關(guān)。根據(jù)需要調(diào)節(jié)噴口角度以提高風(fēng)淋效率。

正確操作、調(diào)整空調(diào)以保持規(guī)定濕度和溫度。定期檢查室內(nèi)、外機(jī)組運(yùn)行及電氣線路連接狀況。所有循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)，當(dāng)進(jìn)風(fēng)口處的過濾器表面發(fā)黑時(shí)，表明阻力增大，影響凈化效果，應(yīng)定期用吸塵器清潔，必要時(shí)拆下清洗或更換。風(fēng)淋室噴口風(fēng)速應(yīng)每年測(+, 次，低于規(guī)定參數(shù)值時(shí)，則應(yīng)更換高效過濾器，更換時(shí)要注意箭頭標(biāo)志及密封處不可滲漏。定期進(jìn)行風(fēng)機(jī)電氣線路檢修，以保證絕緣及接觸良好。

嚴(yán)格按規(guī)程操作，工作泵不能無水運(yùn)行。視水質(zhì)狀況，一年左右清洗、更換過濾樹脂或精密過濾芯以及紫外線殺菌燈一次。當(dāng)水箱水位達(dá)下限而報(bào)警時(shí)，應(yīng)向水箱注入原水。關(guān)機(jī)時(shí)，注意同時(shí)關(guān)閉有關(guān)閥盤，以保持系統(tǒng)密封。專業(yè)設(shè)備的管理及維護(hù)應(yīng)由專人負(fù)責(zé)，使設(shè)備保持良好的性能，對延長其使用壽命大有益處。另外，應(yīng)做好設(shè)備維護(hù)運(yùn)行記錄。

平板顯示研發(fā)中心 FPD R&D Center:

05年被上海市政府認(rèn)定為:"上海市企業(yè)技術(shù)中心"。

"上海市平板顯示工程中心"

SVA-E "平板顯示技術(shù)研究開發(fā)中心" 于2000年成立，中心面積1300平方米，超凈室面積450平方米 。平板研發(fā)中心正通過與清華大學(xué)、中科院上海有機(jī)所等國內(nèi)著名高校及權(quán)威機(jī)構(gòu)合作，共同研發(fā)OLED、FAHED、碳納米發(fā)射體等光電子產(chǎn)業(yè)的最新技術(shù)。中心引進(jìn)配置了包括OLED開發(fā)所需的關(guān)鍵設(shè)備，同時(shí)引進(jìn)了包括博士、碩士等專業(yè)技術(shù)人才近30余人，并與國外的相關(guān)公司建立良好合作關(guān)系。

照明研發(fā)中心 成功開發(fā)了微波硫燈、射頻無極燈、高性能LED交通信號(hào)燈、UHP投影電視光源和DBD高頻高壓電源，并擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。SVA-E "照明技術(shù)研發(fā)中心" 是專業(yè)從事與顯示產(chǎn)業(yè)相關(guān)的照明技術(shù)的研發(fā)平臺(tái)。中心近幾年成功地開發(fā)了微波硫燈、射頻無極燈、高性能LED交通信號(hào)燈、UHP投影電視光源和DBD高頻高壓電源，并擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

產(chǎn)品開發(fā)周期 LCD

3天出圖，10天出樣，樣圖修改當(dāng)天完成

旺季生產(chǎn)周期:15-20天

淡季生產(chǎn)周期:10-15天

COG/TAB

3-6天出圖，20-30天出樣，樣圖修改2天完成

旺季生產(chǎn)周期:30-40天

淡季生產(chǎn)周期:25-30天

COB

3-6天出圖，20-30天出樣，樣圖修改2天完成

旺季生產(chǎn)周期:30-40天

淡季生產(chǎn)周期:25-30天

備注:特殊產(chǎn)品除外(D-STN產(chǎn)品或有特殊IC產(chǎn)品)