電子氣體

氣體圈子11月11日訊，國(guó)家科技部重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)——“微納電子制造用超高純電子氣體”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)昨日在浙江衢州召開。

國(guó)家科技部高技術(shù)中心材料處專項(xiàng)主管楊斌向獲得國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)“微納電子制造用超高純電子氣體”的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)表示祝賀。“國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃實(shí)施以來(lái)，在管理上發(fā)生了很大的改革和變化，已從原來(lái)過(guò)程監(jiān)控管理轉(zhuǎn)變?yōu)槟繕?biāo)管理、靜態(tài)管理變?yōu)閯?dòng)態(tài)管理、階段性管理變成全過(guò)程跟蹤管理?！睏畋髲?qiáng)調(diào)，要發(fā)揮項(xiàng)目牽頭承擔(dān)單位法人的主體責(zé)任，與協(xié)作單位共同推動(dòng)項(xiàng)目的發(fā)展。

微納電子制造用超高純電子氣體

研究?jī)?nèi)容：研究超高純電子氣體提純/除雜/純化原理與制備方法、特定元素控制技術(shù)及全流程工藝優(yōu)化集成技術(shù)，研制開發(fā)微納電子制造用氯氣、氯化氫、氟化氫等超高純電子氣體，突破5N級(jí)氣體制備技術(shù)及關(guān)鍵裝備技術(shù)、ppm級(jí)氣體雜質(zhì)和ppb級(jí)金屬離子檢測(cè)技術(shù)、生產(chǎn)環(huán)境和顆?？刂萍夹g(shù)以及產(chǎn)品包裝與應(yīng)用技術(shù)。

考核指標(biāo)：超高純氣體氯氣、氯化氫純度5N～7N，其中單種氣體雜質(zhì)（如H2O、O2、CO2、CO、CH4）＜1.0 ppmv，單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw；超高純氣體氟化氫純度不低于5N，其中單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw。

微納電子制造核心材料急需國(guó)產(chǎn)化

微納電子先進(jìn)制程正向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展，對(duì)電子氣體的品質(zhì)也提出更高的要求。Cl?、HCl 和HF 等電子氣體產(chǎn)品是微納電子制造的核心材料，具有強(qiáng)烈嗜水性、腐蝕性和反應(yīng)性，其提純除雜、包裝、檢測(cè)對(duì)材料、設(shè)備的耐蝕性要求嚴(yán)苛，高純制備核心技術(shù)為跨國(guó)公司壟斷并嚴(yán)密封鎖，“國(guó)產(chǎn)化”需求迫切，急需國(guó)內(nèi)有研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化實(shí)力的單位牽頭進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)與工程化開發(fā)。

科技部重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)“微納電子制造用超高純電子氣體”

“微納電子制造用超高純電子氣體”是2017年國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料”專項(xiàng)項(xiàng)目，由巨化集團(tuán)下屬全資子公司浙江博瑞電子科技有限公司牽頭，聯(lián)合浙江師范大學(xué)、浙江氟硅技術(shù)研究院、浙江凱圣氟化學(xué)有限公司、中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司、深圳市華星光電技術(shù)有限公司和浙江工程設(shè)計(jì)有限公司等6家單位共同申報(bào)，并于今年8月獲得國(guó)家科技部立項(xiàng)支持，用以解決Cl?、HCl和HF高純制備中影響氣體純度與一致性的關(guān)鍵共性科學(xué)問(wèn)題和技術(shù)瓶頸為研究目標(biāo)，突破Cl?、HCl和HF的提純除雜、檢測(cè)、包裝工藝，實(shí)現(xiàn)超高純Cl?、HCl和HF電子氣體的工業(yè)化制備和制程應(yīng)用，促進(jìn)微納電子制造用戰(zhàn)略性先進(jìn)材料的國(guó)產(chǎn)化。

專業(yè)刊物《氣體圈子》

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來(lái)源：陽(yáng)光巨化

編輯：氣體圈子

2015年8月至今“中興事件”愈演愈烈，本月起美國(guó)令所有美企禁止向中興出口零部件

。這一事件在輿論場(chǎng)上引發(fā)深入討論，出口禁運(yùn)觸碰到了中國(guó)通信產(chǎn)業(yè)缺乏核心技術(shù)的

痛點(diǎn)?！叭毙旧倩辍钡膯?wèn)題，再次嚴(yán)峻地?cái)[在人們面前。

本次中興通訊的禁運(yùn)事件，對(duì)于通信產(chǎn)業(yè)沖擊較大，也敲響了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的警鐘，自主

可控不僅僅是口號(hào)，而是涉及到國(guó)家安全，國(guó)計(jì)民生的要?jiǎng)?wù)。我們更要支持本土芯片設(shè)

計(jì)公司。而電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)

能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應(yīng)用于薄膜

、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，中國(guó)電子氣體的發(fā)展對(duì)我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起

著至關(guān)重要的作用。

中國(guó)電子氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場(chǎng)需求半導(dǎo)體材料，電子氣體2016年

的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求為48．02億，占比14％。據(jù)全球半導(dǎo)體協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，目前常用的電子氣體

純氣有60多種，混合氣80多種。中國(guó)電子氣體經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展，國(guó)內(nèi)涌現(xiàn)了一些生產(chǎn)

質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣生產(chǎn)企業(yè)，但是，與巨大的、快速發(fā)展的國(guó)

內(nèi)需求相比還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，據(jù)業(yè)內(nèi)不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，從2012年至2016年，國(guó)內(nèi)電子氣體企

業(yè)實(shí)際生產(chǎn)銷售額占中國(guó)晶圓制造電子氣市場(chǎng)需求由3．8％增加至25．0％，預(yù)計(jì)2017

年將增加至28．4％，雖然有了較大的發(fā)展和進(jìn)步，但國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)總量遠(yuǎn)遠(yuǎn)

滿足不了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。

另外目前國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展問(wèn)題具體表現(xiàn)為：A．產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模不大，國(guó)產(chǎn)化率低，企

業(yè)規(guī)模小，缺乏領(lǐng)軍型企業(yè)，容易被受到國(guó)外大企業(yè)排擠和打壓；B．高端制造方面的

新材料技術(shù)不足，技術(shù)門檻低的氣體種類大量重復(fù)建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，無(wú)序競(jìng)爭(zhēng)現(xiàn)象嚴(yán)重；C

．部分電子氣體企業(yè)是從大化工行業(yè)或工業(yè)氣體轉(zhuǎn)型而來(lái)，其品質(zhì)意識(shí)、管理理念和安

全管理水平不到位，造成個(gè)別產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性欠佳。

目前中國(guó)電子氣體產(chǎn)業(yè)目前仍處于發(fā)展的初級(jí)階段，總體產(chǎn)業(yè)規(guī)模較小，個(gè)別企業(yè)實(shí)力

不足，而此時(shí)有中國(guó)制造2025，恰逢新興增長(zhǎng)點(diǎn)的孕育崛起期，因此中國(guó)電子氣體產(chǎn)業(yè)

面臨著前所未有的發(fā)展機(jī)遇。

摘自：卓創(chuàng)資訊工業(yè)氣體

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