使用襯底尺寸200mm*200mm；襯底溫度最高為350℃，溫度均勻性正負(fù)5℃；可用于沉積SiO2，SiNx薄膜；薄膜均勻性正負(fù)5%；可接入6路工藝氣體；傳送腔室最終壓力小于10Pa；反應(yīng)腔室最終壓力小于2Pa。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢(xún)價(jià)
材料名稱(chēng) 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-7500 980×945×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

偉一(V1)

 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-10500 980×1392×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-12000 980×1520×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-3000 490×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-4500 980×566×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-1500 490×380×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-6000 980×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-9000 980×1140×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
材料名稱(chēng) 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2022年3月信息價(jià)
三相消防電源監(jiān)控模塊 智能型 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 韶關(guān)市2021年12月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2021年11月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2022年10月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2022年9月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2022年7月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2022年6月信息價(jià)
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臺(tái) 韶關(guān)市2022年2月信息價(jià)
材料名稱(chēng) 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo) 40層|04.2m層高 1 查看價(jià)格 0 廣東  佛山市 2009-05-12
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-09-29
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-10-15
等離子體空氣凈化消毒機(jī) 等離子體空氣凈化消毒機(jī)1.型式:等離子體空氣凈化消毒機(jī)2.規(guī)格:體積≤60m3|20只 1 查看價(jià)格 廣東岑安機(jī)電有限公司 廣西   2022-07-04
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 參數(shù)配置詳見(jiàn)附件|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 青島聚創(chuàng)環(huán)保集團(tuán)有限公司 全國(guó)   2020-09-21
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱(chēng):光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-20-50(2)規(guī)格:風(fēng)量:8000-14000m3/h功率:20W/220V|5臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱(chēng):光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-20-100(2)規(guī)格:風(fēng)量:14000-26000m3/h功率:20W/220V|10臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱(chēng):光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-08-10(2)規(guī)格:風(fēng)量:300-1000m3/h功率:8W/220V|117臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08

主要用于制備SiO2、SiNx薄膜。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)技術(shù)指標(biāo)常見(jiàn)問(wèn)題

  • 什么是等離子體膜

    等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同，它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性［1，2］．有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多［3，4］，本室已...

  • 低溫等離子體的技術(shù)開(kāi)發(fā)

    國(guó)內(nèi)外企業(yè)利用低溫等離子體技術(shù)在環(huán)保方面開(kāi)發(fā)出了“低溫等離子體有機(jī)廢氣凈化設(shè)備”、“低溫等離子體廢水凈化設(shè)備”及“低溫等離子體汽車(chē)尾氣凈化技術(shù)”。1、低溫等離子體在保鮮、殺菌、除臭等方面產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，目前...

  • 低溫等離子體技術(shù)是什么？

    低溫等離子體物理與技術(shù)經(jīng)歷了一個(gè)由60年代初的空間等離子體研究向80年代和90年代以材料為導(dǎo)向研究領(lǐng)域的大轉(zhuǎn)變，高速發(fā)展的微電子科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、能源與材料科學(xué)等，為低溫等離子體科學(xué)發(fā)展帶來(lái)了新的機(jī)遇和...

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)技術(shù)指標(biāo)文獻(xiàn)

過(guò)濾真空弧等離子體沉積成膜系統(tǒng)的磁過(guò)濾管道傳… 過(guò)濾真空弧等離子體沉積成膜系統(tǒng)的磁過(guò)濾管道傳…

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評(píng)分： 4.5

介紹了采用90°螺旋管的過(guò)濾真空弧等離子體沉成膜系統(tǒng),對(duì)磁過(guò)濾管道的傳輸特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,實(shí)驗(yàn)觀察到,弧源聚焦磁場(chǎng)和過(guò)濾管道正偏壓越高,過(guò)濾管道的傳輸效率越高,但聚焦磁場(chǎng)高過(guò)一定閾值時(shí),會(huì)出現(xiàn)起弧不穩(wěn)現(xiàn)象,此閾值的大小同過(guò)濾管道磁場(chǎng)及偏壓的大小有關(guān),過(guò)濾管道正偏壓在40￣60V范圍內(nèi),管道磁場(chǎng)在7￣11mT時(shí)傳輸效率較高,偏壓越高達(dá)到最佳傳輸效率所需的過(guò)濾管道磁場(chǎng)越高。

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常壓化學(xué)氣相沉積法制備Ti_5Si_3薄膜及其鍍膜玻璃 常壓化學(xué)氣相沉積法制備Ti_5Si_3薄膜及其鍍膜玻璃

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評(píng)分： 4.7

以制備兼具陽(yáng)光控制和低輻射功能的鍍膜玻璃為目的,以硅烷與四氯化鈦為反應(yīng)前驅(qū)體,氮?dú)鉃楸Ｗo(hù)氣體和稀釋氣體,通過(guò)常壓化學(xué)氣相沉積法模擬玻璃浮法在線(xiàn)鍍膜工藝,在玻璃基板上成功制備了Ti5Si3薄膜,用X射線(xiàn)衍射、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、四探針測(cè)阻儀和分光光度計(jì)對(duì)薄膜的相結(jié)構(gòu)、形貌、電學(xué)、光學(xué)性能進(jìn)行了表征。結(jié)果表明:薄膜為六方結(jié)構(gòu)的Ti5Si3晶相,晶相含量較高,晶粒尺寸為23nm,薄膜中的晶粒以200nm左右的多晶顆粒團(tuán)聚體形式存在。薄膜電阻率為122μΩ·cm,與Ti5Si3晶體的本征電阻率相當(dāng)。這種單層鍍膜玻璃的紅外反射率可高達(dá)92.1%,可見(jiàn)光區(qū)的透過(guò)率為25%,兼具陽(yáng)光控制和低輻射功能。

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低溫成膜，溫度對(duì)基片影響小，可制備厚膜，膜層成分均勻；等離子體對(duì)基片有清洗作用；該設(shè)備主要應(yīng)用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)，用來(lái)制作SiO2、SiN4、非品Si等介電、半導(dǎo)體及金屬膜。

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直徑450*H400mm，真空極限優(yōu)于6.7*10-5Pa，頻率13.56MHz.低溫成，溫度對(duì)基片影響小，可制備厚膜，膜層成分均勻，等離子體對(duì)基片有清洗作用。

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薄膜材料。

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