edi清洗超純水反滲透部分

在半導體行業(yè)中，反滲透部分多采用雙級反滲透工藝。以確保后續(xù)工藝的安全性。通過雙級反滲透，可去除水中超過99%的懸浮物、膠體，98%以上的溶解鹽，大部分的微生物、TOC和部分CO。該半導體制造廠也采用雙級反滲透工藝，同時將雙級反滲透拆分成兩個獨立的部分，這樣就更加有效地保證了系統(tǒng)的連續(xù)運行。即使在更換反滲透膜或在線清洗反滲透膜時.也不會造成整個工廠大面積的停水，確保了關鍵部位的連續(xù)用水。該半導體廠采取在一級反滲透前增加SBS、MDC加藥裝置。保證了一級反滲透系統(tǒng)的安全運行：在一級反滲透和二級反滲透之間增加一套加堿裝置，可提高二級反滲透系統(tǒng)的脫鹽率。

對反滲透出水進行深度脫鹽。最終產(chǎn)水的電阻率能>15MQ·cm。目前市場上比較常用的電去離子深度除鹽裝置模塊有兩種類型，分別為EDI模塊和CEDI模塊。該半導體制造廠采用CEDI模塊，同時將CEDI模塊分成獨立的兩個部分，在清洗CEDI模塊或更換CEDI模塊時可以分組進行，不會造成大面積的停水，確保了關鍵部位的連續(xù)用水。

預處理的作用是對原水進行粗加工。提供符合RO進水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SDI≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機物;降低LSI，避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預處理方式是“多介質(zhì)過濾器 活性炭過濾器”。而該半導體制造廠采用了“粗過濾器 超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預處理部分.主要原因如下：

(1)傳統(tǒng)的預處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(≤1)，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行。

(2)傳統(tǒng)的預處理方式占地面積大，而“粗過濾器 超濾裝置”占地面積小，節(jié)約了基建費用。

(3)與傳統(tǒng)的預處理方式在更換填料時需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運行，而且超濾膜的價格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運行維護費用上跟傳統(tǒng)的預處理方式相比差不多。

1、半導體及電子行業(yè)-超純水

2、生物及制藥行業(yè)-純化水

3、發(fā)電廠-鍋爐補給水

4、表面涂裝

5、消費呂及化妝品行業(yè)

6、代替各類蒸餾水

7、其它對水的純度要求高的行業(yè)

EDI(Eiecterodeionization)又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)，是國際上二十世紀九十年代逐漸興起的純水處理技術(shù)，它科學地將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)融為一體。

通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用與離子交換樹脂對水中離子交換的作用，在電場的作用下實現(xiàn)水中離子的定向移動，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氧離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續(xù)再生。

所以EDI整個制水過程不需酸、堿化學藥品再生而連續(xù)制取高品質(zhì)超純水，它具有先進技術(shù)、結(jié)構(gòu)合理、操作簡便的優(yōu)點是綠色環(huán)保產(chǎn)品，可廣泛應用于電力、電子、醫(yī)藥、化工、電度和食品等，是水處理最先進設備。

由于半導體制造行業(yè)對超純水的水質(zhì)要求很高，故在純水箱后輸送管道上增加拋光混床，可保證超純水系統(tǒng)產(chǎn)水的穩(wěn)定性和一致性。實際應用中基本都是采用雙級拋光混床。2100433B