edi清洗超純水技術(shù)預(yù)處理部分

在半導(dǎo)體行業(yè)中，反滲透部分多采用雙級(jí)反滲透工藝。以確保后續(xù)工藝的安全性。通過雙級(jí)反滲透，可去除水中超過99%的懸浮物、膠體，98%以上的溶解鹽，大部分的微生物、TOC和部分CO。該半導(dǎo)體制造廠也采用雙級(jí)反滲透工藝，同時(shí)將雙級(jí)反滲透拆分成兩個(gè)獨(dú)立的部分，這樣就更加有效地保證了系統(tǒng)的連續(xù)運(yùn)行。即使在更換反滲透膜或在線清洗反滲透膜時(shí).也不會(huì)造成整個(gè)工廠大面積的停水，確保了關(guān)鍵部位的連續(xù)用水。該半導(dǎo)體廠采取在一級(jí)反滲透前增加SBS、MDC加藥裝置。保證了一級(jí)反滲透系統(tǒng)的安全運(yùn)行：在一級(jí)反滲透和二級(jí)反滲透之間增加一套加堿裝置，可提高二級(jí)反滲透系統(tǒng)的脫鹽率。

對(duì)反滲透出水進(jìn)行深度脫鹽。最終產(chǎn)水的電阻率能>15MQ·cm。目前市場(chǎng)上比較常用的電去離子深度除鹽裝置模塊有兩種類型，分別為EDI模塊和CEDI模塊。該半導(dǎo)體制造廠采用CEDI模塊，同時(shí)將CEDI模塊分成獨(dú)立的兩個(gè)部分，在清洗CEDI模塊或更換CEDI模塊時(shí)可以分組進(jìn)行，不會(huì)造成大面積的停水，確保了關(guān)鍵部位的連續(xù)用水。

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工。提供符合RO進(jìn)水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SDI≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI，避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器 活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器 超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分.主要原因如下：

(1)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(≤1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地面積大，而“粗過濾器 超濾裝置”占地面積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。

1、半導(dǎo)體及電子行業(yè)-超純水

2、生物及制藥行業(yè)-純化水

3、發(fā)電廠-鍋爐補(bǔ)給水

4、表面涂裝

5、消費(fèi)呂及化妝品行業(yè)

6、代替各類蒸餾水

7、其它對(duì)水的純度要求高的行業(yè)

EDI(Eiecterodeionization)又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)，是國際上二十世紀(jì)九十年代逐漸興起的純水處理技術(shù)，它科學(xué)地將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)融為一體。

通過陽、陰離子膜對(duì)陽、陰離子的選擇透過作用與離子交換樹脂對(duì)水中離子交換的作用，在電場(chǎng)的作用下實(shí)現(xiàn)水中離子的定向移動(dòng)，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氧離子和氫氧根離子對(duì)裝填樹脂進(jìn)行連續(xù)再生。

所以EDI整個(gè)制水過程不需酸、堿化學(xué)藥品再生而連續(xù)制取高品質(zhì)超純水，它具有先進(jìn)技術(shù)、結(jié)構(gòu)合理、操作簡便的優(yōu)點(diǎn)是綠色環(huán)保產(chǎn)品，可廣泛應(yīng)用于電力、電子、醫(yī)藥、化工、電度和食品等，是水處理最先進(jìn)設(shè)備。

由于半導(dǎo)體制造行業(yè)對(duì)超純水的水質(zhì)要求很高，故在純水箱后輸送管道上增加拋光混床，可保證超純水系統(tǒng)產(chǎn)水的穩(wěn)定性和一致性。實(shí)際應(yīng)用中基本都是采用雙級(jí)拋光混床。2100433B