二氯硅烷性質(zhì)與穩(wěn)定性

1.用于制造半導(dǎo)體，尤其是在外延法工藝中作為硅源。二氯二氫硅主要用于多晶硅外延生長(zhǎng)以及化學(xué)氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高，二氯二氫硅沉積硅更有效，且淀積溫度比其他氯硅烷低。采用二氯二氫硅在降低溫度下沉積厚層所需時(shí)間大大低于采用硅烷所需時(shí)間。由于二氯二氫硅的沉積速率與采用其他氯硅烷相比對(duì)溫度敏感性小，因此可以采用調(diào)節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來控制沉積速率，而且不會(huì)出現(xiàn)鼓泡所帶來的不準(zhǔn)確性和機(jī)械問題。2.用于甲硅烷基化劑，及合成硅的有機(jī)化合物。[21]

1.將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級(jí)高純二氯二氫硅成品。

2.將27.1g SiHCl3與3.7g Bu3N在常壓下回流40h，即得到產(chǎn)品。產(chǎn)物用置于干冰浴上的接收器收集。產(chǎn)率可達(dá)到7.3%。

3.將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，將得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級(jí)高純二氯二氫硅成品。其反應(yīng)式如下：

儲(chǔ)存注意事項(xiàng)[20] 儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。庫溫不宜超過30℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應(yīng)與氧化劑、堿類、醇類、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲(chǔ)。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄露應(yīng)急處理設(shè)備。

1.性狀：無色氣體，有特征氣味。[1]

2.熔點(diǎn)（℃）：-122[2]

3.沸點(diǎn)（℃）：8.3[3]

4.相對(duì)密度（水=1）：1.26[4]

5.相對(duì)蒸氣密度（空氣=1）：3.48[5]

6.飽和蒸氣壓（kPa）：163.6（20℃）[6]

7.臨界壓力（Mpa）：4.55[7]

8.辛醇/水分配系數(shù)：1.150[8]

9.閃點(diǎn)（℃）：-55[9]

10.引燃溫度（℃）：41~47[10]

11.爆炸上限（%）：96.0[11]

12.爆炸下限（%）：4.1[12]

13.溶解性：溶于苯、乙醚等多數(shù)有機(jī)溶劑。[13]

中文名稱:二氯硅烷

英文名稱:Dichlorosilane

別名:4-甲苯基硫脲 對(duì)甲基苯基硫脲

更多名稱:4-Tolythiourea p-Methylphenylthiourea 4-Methylphenylthiourea

CAS號(hào):4109-96-0

分子式:Cl2Si

分子量:98.9915

中文名稱:烯丙基甲基二氯硅烷

英文名稱:allyldichloromethylsilane

CAS號(hào):1873-92-3

分子式:C4H8Cl2Si

分子量:155.0978

中文名稱 甲基二氯硅烷

CAS NO. 75-54-7

中文別名 二氯甲基硅烷

英文名稱 Dichloromethylsilane

英文別名 Methyldichlorosilane; Methyldichloro Silane;

EINECS 200-877-1物質(zhì)的理化常數(shù)

制作含氫硅油，用于織物處理、防水劑等