（反應(yīng)耦合等離子體）

ICP（Inductively Coupled Plasma），即電感耦合等離子體。

暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講，等離子清洗實質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝。近期的發(fā)展是在反應(yīng)室的內(nèi)部安裝成擱架形式，這種設(shè)計的是富有彈性的，用戶可以移去架子來配置合適的等離子體的蝕刻方法：反應(yīng)性等離子體（RIE），順流等離子體（downstream），直接等離子體（direction plasma）。

ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer)電感耦合等離子光譜發(fā)生儀，電感耦合等離子體(ICP)是用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發(fā)光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學(xué)干擾少、準(zhǔn)確度和精密度高等分析性能。

中文名

ICP

外文名

Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer

意義

電感耦合等離子光譜發(fā)生儀

方法

用于原子發(fā)射光譜的主要光源

ICP還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).ICP作為原子化器最大的優(yōu)點在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到克服.由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測，光電轉(zhuǎn)換后的電信號在放大后由計算機處理，并報出各元素的分析結(jié)果.不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難溶元素的測定靈敏度不高.2100433B

電感耦合等離子體質(zhì)譜法是擁有極高的分析靈敏度和動態(tài)范圍。

電感耦合等離子體質(zhì)譜法（英語：Inductively coupled plasma mass spectrometry，簡稱ICP-MS），可以分析同位素組成，從Li到U（Ar除外，一般電感耦合等離子體都用Ar做載氣）。

電感耦合等離子體發(fā)光光譜分析（ICP）