干涉比長(zhǎng)儀

用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線(xiàn)性測(cè)量 — 最佳操作及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn) 1 簡(jiǎn)介 本文描述的最佳操作步驟及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對(duì)使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車(chē)床、銑床以及 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的線(xiàn)性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測(cè)量方法相 關(guān)的其它項(xiàng)目，如角度、平面度、直線(xiàn)度和平行度測(cè)量不包括在內(nèi)，用于實(shí)現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測(cè)量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測(cè)量單位。（ 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì)，所以肉眼無(wú) 法看到，接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值）。可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用，為用戶(hù)提供了令人滿(mǎn)意的測(cè)量精度。盡管測(cè)量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù)，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍）。實(shí)現(xiàn) 1 微米的測(cè)量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的測(cè)量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高 精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、 高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、 高性能計(jì)算機(jī) 控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速 (約 6 分 鐘)、高精度 (0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡 組可以測(cè)量出線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。 SJ6000 激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范 圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)， 可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析， 滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析， 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析， 導(dǎo)軌 的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度