2019年經(jīng)全國(guó)科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會(huì)審定發(fā)布。
《物理學(xué)名詞》第三版。
干涉原理上來(lái)說(shuō),白光和激光沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別,就是頻率有差別而已 。但目前使用的大部分邁克爾遜干涉儀是 白光式的。
觀察條紋反差起伏周期光程差改變量相干度相干度=平均波平/波差波差=平均波平/相干度原理:假設(shè)反差光程差改變量=(m+1)λ1=mλ2=相干度m=λ1/(λ2-λ1)相干度=mλ...
白光干涉儀是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)...
格式:pdf
大小:250KB
頁(yè)數(shù): 未知
評(píng)分: 4.6
用白光干涉儀自動(dòng)測(cè)量金剛石砂輪表面形貌時(shí),為了獲得更精準(zhǔn)的干涉區(qū)域,在干涉儀所采集到的一系列圖像中,首先通過(guò)計(jì)算相鄰的2張圖像各像素灰度值的變化從而得到一系列新的灰度圖像。然后計(jì)算每幀新圖像的非零點(diǎn)像素的均值和極值,據(jù)此計(jì)算得出用于確定干涉區(qū)域的閾值以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)掃描。實(shí)驗(yàn)表明:此方法運(yùn)算速度較快,而且對(duì)局部區(qū)域的干涉更敏感,可以更精確地搜索出干涉區(qū)間。采用步進(jìn)電機(jī)和壓電陶瓷二級(jí)驅(qū)動(dòng),可以在100 s內(nèi)實(shí)現(xiàn)100μm范圍內(nèi)掃描區(qū)間的自動(dòng)獲取并實(shí)現(xiàn)垂直方向的數(shù)據(jù)采集。
格式:pdf
大?。?span id="51rc5gm" class="single-tag-height">250KB
頁(yè)數(shù): 8頁(yè)
評(píng)分: 4.6
用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測(cè)量 — 最佳操作及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn) 1 簡(jiǎn)介 本文描述的最佳操作步驟及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對(duì)使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的線性精度。但是,文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測(cè)量方法相 關(guān)的其它項(xiàng)目,如角度、平面度、直線度和平行度測(cè)量不包括在內(nèi),用于實(shí)現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測(cè)量的特殊方法(如真空操作)也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測(cè)量單位。( 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì),所以肉眼無(wú) 法看到,接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值)??蓪?shí)現(xiàn)微米級(jí)及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用,為用戶提供了令人滿意的測(cè)量精度。盡管測(cè)量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù),但并不表 明都很精確。(在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍)。實(shí)現(xiàn) 1 微米的測(cè)量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的測(cè)量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文
本規(guī)程適用于新制造、使用中和修理后的激光干涉比長(zhǎng)儀的檢定。
比長(zhǎng)儀是以不接觸光學(xué)定位方法瞄準(zhǔn)被測(cè)長(zhǎng)度,主要用于測(cè)量線紋距離的精密長(zhǎng)度測(cè)量工具。
比長(zhǎng)儀一般采用測(cè)量顯微鏡或光電顯微鏡作為瞄準(zhǔn)定位部件,并以精密線紋尺的刻度或光波波長(zhǎng)作為已知長(zhǎng)度,與被測(cè)長(zhǎng)度比較而確定量值。比長(zhǎng)儀主要用于檢定線紋尺,測(cè)量分劃板上的線距和物理、天文類照相底片上的光波譜線距離,也可用于測(cè)量孔徑。
比長(zhǎng)儀按結(jié)構(gòu)布局分為縱向的和橫向的兩類。縱向比長(zhǎng)儀采用線紋尺作為已知長(zhǎng)度,且結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)符合阿貝原則,稱為阿貝比長(zhǎng)儀。測(cè)量時(shí),先用測(cè)量顯微鏡瞄準(zhǔn)被測(cè)線條,從讀數(shù)顯微鏡讀得一數(shù)值。然后移動(dòng)工作臺(tái),再用測(cè)量顯微鏡瞄準(zhǔn)另一被測(cè)線條,從讀數(shù)顯微鏡讀得另一數(shù)值。這兩個(gè)數(shù)值之差即是被測(cè)兩線條間距離。
橫向比長(zhǎng)儀的被測(cè)長(zhǎng)度和已知長(zhǎng)度是并列布置的,這種布局可以縮短導(dǎo)軌長(zhǎng)度,但要求導(dǎo)軌精度高。采用愛(ài)賓斯坦光學(xué)系統(tǒng),可以補(bǔ)償結(jié)構(gòu)不符合阿貝原則而產(chǎn)生的測(cè)量誤差。以光電顯微鏡代替上述兩種顯微鏡者,稱為光電比長(zhǎng)儀;采用激光或其他單色光波長(zhǎng)作為已知長(zhǎng)度者,分別稱為激光比長(zhǎng)儀和光電光波比長(zhǎng)儀。阿貝比長(zhǎng)儀的測(cè)量精確度為±1~±1.5微米/200毫米,光電比長(zhǎng)儀可達(dá)到±0.5微米/1000毫米,而光電光波比長(zhǎng)儀和激光比長(zhǎng)儀則可達(dá)到±0.2微米/1000毫米。