工位

1

2

3

4

5

6

7

8

9

材料

20%NaOH

H2O

2%

NaOH

H2O

20%

HCl

H2O

HF

H2O

H2O

溫度

80℃

室溫

80℃

室溫

室溫

室溫

室溫

室溫

室溫

時間

10m

16m

15m

3m

3m

3m

1m

3m

3m

1. 本工藝步驟是施博士制定的,是可行的具有指導意義的兩步法堿腐蝕工藝。第一步粗拋光去掉硅片的損傷層。第二步細拋光,表面產生出部分反射率較低的織構表面。如果含有[100]晶向的晶粒,就可以長出金字塔體狀的絨面。第五步是通過鹽酸中和殘余的氫氧化鈉,化學反應方程式為: 。第七步氫氟酸絡合掉硅片表面的二氧化硅層,化學反應方程式為: 。

2. 我們就粗拋作過實驗,投入50片硅片:

a. 在20%NaOH溶液中,溫度為80℃,反應了10分鐘,硅片厚度平均去掉了32μm。

b. 在15%NaOH溶液中,溫度為80℃,反應了10分鐘,硅片厚度平均去掉了25μm(此數(shù)據(jù)來源于小片實驗)。

硅片粗拋是放熱反應且反應激烈,反應速度與溫度上升有點正反饋的態(tài)勢:溫度高,濃度高反應就會更激烈。新硅片由于表面粗糙,表面積大一些反應也會激烈一些。

c. 由于每次投片量較大,125×125可投300片,103×103可投400片,因而反應會很激烈,通過積累可以求出在受控條件下最佳濃度和時間。

d. 按照施博士的意見硅片去掉20~25μm的厚度,硅片損傷層也就去除干凈了,這也可以作為檢驗標準。

e. 本反應以125×125的硅片計,每一片每次反應去掉25μm的厚度為準,每片將消耗0.9克硅,也將消耗2.6克氫氧化鈉,300片硅片將消耗780克氫氧化鈉,加上溶液加熱蒸氣帶走一部分氫氧化鈉,先加上1000克氫氧化鈉為宜。

f. 同理,如 e那樣每次生成832克硅酸鈉,反應槽內的溶劑以170千克計,一旦溶液出現(xiàn)明顯白色絮狀硅酸鈉,就應更換氫氧化鈉溶液。

g. 工序3中利用氫氧化鈉對硅腐蝕的各向異性,用2%氫氧化鈉溶液在多晶硅表面產生反射率較低織構表面,在[100]晶向的晶粒表面上會腐蝕出金字塔體的絨面來。多晶硅總會存在著[100]晶向的晶粒,只是多少而已。

h. 溶液配比方法是采取重量百分比法,如20%氫氧化鈉溶液是1000ml純水中加200克氫氧化鈉。

硅片腐蝕造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
(除稅)
工程建議價
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應商 報價日期
PCG改性樹脂耐腐蝕防水中涂 PCG312,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
PCG改性樹脂耐腐蝕防水面涂 PCG316,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
PCG改性樹脂耐腐蝕防水底涂 PCG311,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
PCG改性樹脂耐腐蝕防水底涂 PCG3001,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
PCG改性樹脂耐腐蝕防水面涂 PCG3002,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
PCG改性樹脂耐腐蝕防水中涂(工業(yè)廢水池專用) PCG302、PCG332、PCG352,GBT50046-2018 查看價格 查看價格

東方雨虹

kg 13% 深圳東方雨虹防水工程有限公司
防水防油防腐蝕耐酸堿黃電纜 JHS規(guī)格:2×1;種類:A; 查看價格 查看價格

北方裕橋

100m 13% 北京北方裕橋線纜有限公司洛陽辦事處
防水防油防腐蝕耐酸堿黃電纜 JHS規(guī)格:2×1.5;種類:A; 查看價格 查看價格

北方裕橋

100m 13% 北京北方裕橋線纜有限公司洛陽辦事處
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價
含稅
信息價
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
腐蝕 出口管徑40 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2012年4季度信息價
腐蝕 出口管徑80 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2012年3季度信息價
腐蝕 出口管徑40 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2012年2季度信息價
腐蝕 出口管徑80 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2012年2季度信息價
腐蝕 出口管徑100 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2012年2季度信息價
腐蝕 出口管徑40 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2011年4季度信息價
腐蝕 出口管徑40 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2011年2季度信息價
腐蝕 出口管徑50 查看價格 查看價格

臺班 汕頭市2011年2季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
(元)
供應商 報價地區(qū) 最新報價時間
場地基本清表 場地基本清表|1場地基本清表 1 查看價格 廣州定額科 廣東  深圳市 2010-06-30
通信基本 3BA00631AA 最大可支持5000個模擬用戶或15000個IP用戶,含系統(tǒng)基本包.|1.0套 0 查看價格 廣州皓粵電子設備有限公司    2015-11-18
WG型抗腐蝕阻銹劑 WG型抗腐蝕阻銹劑|62000kg 1 查看價格 上海武冠新材料有限公司 廣西  南寧市 2011-12-23
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不銹鋼腐蝕牌匾 不銹鋼腐蝕牌匾 50×70cm|1個 1 查看價格 廣州市提莫科技有限公司 廣東  江門市 2021-06-28
基本軟件 LE0SMS219300 V200R001 Quidway S9300|2.0套 1 查看價格 廣州康邁通信科技有限公司    2015-11-18
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摻抗腐蝕增強劑 摻抗腐蝕增強劑|2387.03kg 3 查看價格 廣州工師化工材料有限公司 全國   2022-03-16

1. 在工序1和3中氫氧化鈉溶液與硅片反應時會有堿蒸氣產生,故設備運行時請關閉有機玻璃門。

2. 鹽酸是揮發(fā)性強酸,不不要去聞其味道。

3. 氫氟酸會腐蝕玻璃,故不與玻璃器械接觸,也不要去聞氫氟酸的味道。

4. 如果酸或堿不小心濺入眼內或濺到臉上,請立即打開洗臉洗眼池上蓋沖洗。

硅片腐蝕基本步驟常見問題

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硅片腐蝕基本步驟文獻

地塊策劃幾個基本步驟 地塊策劃幾個基本步驟

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頁數(shù): 3頁

評分: 4.8

一、地產規(guī)劃前期步奏 [準備階段 ] 1、 項目資源條件整合及判斷 負責部門: 策劃部、項目部、會員銷售部、工程部 報告名稱: 《 ** 項目策劃大綱》 中心內容: 資源條件整合 宏觀資料:市場整體、片區(qū)趨勢、基本行情。 地段資料:規(guī)劃要點、坐標。 周邊資料:交通、配套、(種植、康復養(yǎng)老)的規(guī)劃、設計、包裝、銷售。 發(fā)展商資料:背景、關系、資金、技術等的實力情況。 判斷內容:優(yōu)勢、難點、突破口、把握度。 2、 多方案初步規(guī)劃、設計或調整建議 負責部門: 策劃部、項目部、工程部、設計院 報告名稱: 《會議紀要匯總》 《項目概念設計提示》或《項目調整建議》 中心內容: 草圖、立意、說明、交流記錄 [前期策劃階段 ] 3、 地塊內在條件整合及價值分析 負責部門: 策劃部、項目部、財務部 報告名稱: 《項目土地價值與分析報告》 中心內容: 適合的規(guī)則布局和建筑類型及其投入和產出價值比較 4、

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施工組織方案基本步驟 施工組織方案基本步驟

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評分: 4.4

施工組織設計的步驟 由于施工工程項目的大小不同, 所要求編制組織設計的內容也有所不同, 但其方法和步驟基 本大同小異,大致可按以下步驟進行。 (1)收集編制依據(jù)文件和資料 1)工程項目設計施工圖紙。 2)工程項目所要求的施工進度和要求。 3)施工定額、工程概預算及有關技術經濟指標。 4)施工中可配備的勞力、材料和機械裝備情況。 5)施工現(xiàn)場的自然條件和技術經濟資料。 (2)編寫工程概況 主要闡述工程的概貌、特征和特點,以及有關要求等。 (3)選擇施工方案、確定施工方法 主要確定對工程施工的先后順序、 選擇施工機械類型及其合理布置. 明確工程施工的流 向及流水參數(shù)的計算,確定主要項目的施工方法等 (總設計還需先做出施工總體布署方案 )。 (4)制定施工進度計劃 包括對分部 分項工程 量的計算、繪制進度圖表。對進度計劃的調整平衡等。 (5)計算施工現(xiàn)場所需要的各種資源需用量及其供應計劃 (包括

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