工位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 |
材料 | 20%NaOH | H2O | 2% NaOH | H2O | 20% HCl | H2O | HF | H2O | H2O |
溫度 | 80℃ | 室溫 | 80℃ | 室溫 | 室溫 | 室溫 | 室溫 | 室溫 | 室溫 |
時(shí)間 | 10m | 16m | 15m | 3m | 3m | 3m | 1m | 3m | 3m |
1. 本工藝步驟是施博士制定的,是可行的具有指導(dǎo)意義的兩步法堿腐蝕工藝。第一步粗拋光去掉硅片的損傷層。第二步細(xì)拋光,表面產(chǎn)生出部分反射率較低的織構(gòu)表面。如果含有[100]晶向的晶粒,就可以長出金字塔體狀的絨面。第五步是通過鹽酸中和殘余的氫氧化鈉,化學(xué)反應(yīng)方程式為: 。第七步氫氟酸絡(luò)合掉硅片表面的二氧化硅層,化學(xué)反應(yīng)方程式為: 。
2. 我們就粗拋?zhàn)鬟^實(shí)驗(yàn),投入50片硅片:
a. 在20%NaOH溶液中,溫度為80℃,反應(yīng)了10分鐘,硅片厚度平均去掉了32μm。
b. 在15%NaOH溶液中,溫度為80℃,反應(yīng)了10分鐘,硅片厚度平均去掉了25μm(此數(shù)據(jù)來源于小片實(shí)驗(yàn))。
硅片粗拋是放熱反應(yīng)且反應(yīng)激烈,反應(yīng)速度與溫度上升有點(diǎn)正反饋的態(tài)勢:溫度高,濃度高反應(yīng)就會(huì)更激烈。新硅片由于表面粗糙,表面積大一些反應(yīng)也會(huì)激烈一些。
c. 由于每次投片量較大,125×125可投300片,103×103可投400片,因而反應(yīng)會(huì)很激烈,通過積累可以求出在受控條件下最佳濃度和時(shí)間。
d. 按照施博士的意見硅片去掉20~25μm的厚度,硅片損傷層也就去除干凈了,這也可以作為檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。
e. 本反應(yīng)以125×125的硅片計(jì),每一片每次反應(yīng)去掉25μm的厚度為準(zhǔn),每片將消耗0.9克硅,也將消耗2.6克氫氧化鈉,300片硅片將消耗780克氫氧化鈉,加上溶液加熱蒸氣帶走一部分氫氧化鈉,先加上1000克氫氧化鈉為宜。
f. 同理,如 e那樣每次生成832克硅酸鈉,反應(yīng)槽內(nèi)的溶劑以170千克計(jì),一旦溶液出現(xiàn)明顯白色絮狀硅酸鈉,就應(yīng)更換氫氧化鈉溶液。
g. 工序3中利用氫氧化鈉對硅腐蝕的各向異性,用2%氫氧化鈉溶液在多晶硅表面產(chǎn)生反射率較低織構(gòu)表面,在[100]晶向的晶粒表面上會(huì)腐蝕出金字塔體的絨面來。多晶硅總會(huì)存在著[100]晶向的晶粒,只是多少而已。
h. 溶液配比方法是采取重量百分比法,如20%氫氧化鈉溶液是1000ml純水中加200克氫氧化鈉。
1. 在工序1和3中氫氧化鈉溶液與硅片反應(yīng)時(shí)會(huì)有堿蒸氣產(chǎn)生,故設(shè)備運(yùn)行時(shí)請關(guān)閉有機(jī)玻璃門。
2. 鹽酸是揮發(fā)性強(qiáng)酸,不不要去聞其味道。
3. 氫氟酸會(huì)腐蝕玻璃,故不與玻璃器械接觸,也不要去聞氫氟酸的味道。
4. 如果酸或堿不小心濺入眼內(nèi)或?yàn)R到臉上,請立即打開洗臉洗眼池上蓋沖洗。
你好,新房墻面一般不用鏟,但前提是手摸墻面時(shí)不掉白(墻灰),再用美巢牌“墻錮”(界面劑)輥涂一遍,舊房就需要鏟掉了,因?yàn)槟觐^太長墻體表面會(huì)粉化,(輥界面劑也不行),這樣跟新刮的膩?zhàn)硬荒苷辰?。注意,鏟掉...
計(jì)算應(yīng)該先結(jié)構(gòu),后裝修,先地下,后地上,計(jì)算設(shè)計(jì)圖紙的工程量。
一、設(shè)置繪圖單位選擇[格式]——[單位] :精度由0.000改為0;單位:毫米。二、設(shè)置繪圖界限(既選擇打印紙大?。┻x擇[格式]——[繪圖界限] :如 設(shè)A3:左下角為:0,0 右上角為:420,29...
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一、地產(chǎn)規(guī)劃前期步奏 [準(zhǔn)備階段 ] 1、 項(xiàng)目資源條件整合及判斷 負(fù)責(zé)部門: 策劃部、項(xiàng)目部、會(huì)員銷售部、工程部 報(bào)告名稱: 《 ** 項(xiàng)目策劃大綱》 中心內(nèi)容: 資源條件整合 宏觀資料:市場整體、片區(qū)趨勢、基本行情。 地段資料:規(guī)劃要點(diǎn)、坐標(biāo)。 周邊資料:交通、配套、(種植、康復(fù)養(yǎng)老)的規(guī)劃、設(shè)計(jì)、包裝、銷售。 發(fā)展商資料:背景、關(guān)系、資金、技術(shù)等的實(shí)力情況。 判斷內(nèi)容:優(yōu)勢、難點(diǎn)、突破口、把握度。 2、 多方案初步規(guī)劃、設(shè)計(jì)或調(diào)整建議 負(fù)責(zé)部門: 策劃部、項(xiàng)目部、工程部、設(shè)計(jì)院 報(bào)告名稱: 《會(huì)議紀(jì)要匯總》 《項(xiàng)目概念設(shè)計(jì)提示》或《項(xiàng)目調(diào)整建議》 中心內(nèi)容: 草圖、立意、說明、交流記錄 [前期策劃階段 ] 3、 地塊內(nèi)在條件整合及價(jià)值分析 負(fù)責(zé)部門: 策劃部、項(xiàng)目部、財(cái)務(wù)部 報(bào)告名稱: 《項(xiàng)目土地價(jià)值與分析報(bào)告》 中心內(nèi)容: 適合的規(guī)則布局和建筑類型及其投入和產(chǎn)出價(jià)值比較 4、
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施工組織設(shè)計(jì)的步驟 由于施工工程項(xiàng)目的大小不同, 所要求編制組織設(shè)計(jì)的內(nèi)容也有所不同, 但其方法和步驟基 本大同小異,大致可按以下步驟進(jìn)行。 (1)收集編制依據(jù)文件和資料 1)工程項(xiàng)目設(shè)計(jì)施工圖紙。 2)工程項(xiàng)目所要求的施工進(jìn)度和要求。 3)施工定額、工程概預(yù)算及有關(guān)技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)。 4)施工中可配備的勞力、材料和機(jī)械裝備情況。 5)施工現(xiàn)場的自然條件和技術(shù)經(jīng)濟(jì)資料。 (2)編寫工程概況 主要闡述工程的概貌、特征和特點(diǎn),以及有關(guān)要求等。 (3)選擇施工方案、確定施工方法 主要確定對工程施工的先后順序、 選擇施工機(jī)械類型及其合理布置. 明確工程施工的流 向及流水參數(shù)的計(jì)算,確定主要項(xiàng)目的施工方法等 (總設(shè)計(jì)還需先做出施工總體布署方案 )。 (4)制定施工進(jìn)度計(jì)劃 包括對分部 分項(xiàng)工程 量的計(jì)算、繪制進(jìn)度圖表。對進(jìn)度計(jì)劃的調(diào)整平衡等。 (5)計(jì)算施工現(xiàn)場所需要的各種資源需用量及其供應(yīng)計(jì)劃 (包括